干涉仪元件、光谱仪和用于运行干涉仪的方法

    公开(公告)号:CN112840186B

    公开(公告)日:2024-06-07

    申请号:CN201980069520.9

    申请日:2019-10-22

    摘要: 本发明涉及一种用于在光谱仪(100)中使用的干涉仪元件(125),其中,所述干涉仪元件(125)具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件(FPI1、FPI2),所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件(135)、第二镜元件(140)和第三镜元件(145),所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件(125)的光路(120)中,并且其中,所述第一镜元件(135)与所述第二镜元件(140)之间的第一间距(160)和/或所述第二镜元件(140)与所述第三镜元件(145)之间的第二间距(165)能够被改变。

    自参考光谱仪
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111936831B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN201980023882.4

    申请日:2019-03-29

    申请人: 斯维尔系统

    摘要: 本公开的各方面涉及一种自参考光谱仪,其用于提供对背景或参考光谱密度以及样品或其他光谱密度的同时测量。自参考光谱仪包括干涉仪,该干涉仪被光耦合以接收输入光束,并且沿第一光路引导输入光束以产生第一干涉光束,并且沿第二光路引导输入光束以产生第二干涉光束,其中每个干涉光束是在干涉仪的输出之前被产生的。光谱仪还包括检测器,其被光耦合以同时检测从第一干涉光束产生的第一干涉信号和从第二干涉光束产生的第二干涉信号,以及处理器,其被配置为处理第一干涉信号和第二干涉信号,并且在处理第一干涉信号时将第二干涉信号用作参考信号。

    干涉仪移动镜位置测定装置和傅里叶变换红外分光光谱仪

    公开(公告)号:CN112567196B

    公开(公告)日:2023-07-11

    申请号:CN201880096674.2

    申请日:2018-09-03

    发明人: 村松尚

    摘要: 干涉仪移动镜位置测定装置(10)用于确定具有分束器(22)、固定镜(23)以及移动镜(24)的干涉仪的移动镜(24)的位置,干涉仪移动镜位置测定装置(10)具备:激光光源(11);相位分离光学系统(1/8波片(15)、偏振分束器(16)),其能够将相位互不相同的第一光和第二光进行分离并进行检测,第一光和第二光是激光光源(11)的光被固定镜(23)和移动镜(24)反射而生成的;信号变换部,其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光,来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号;信号变换部(第一光检测器(17A)、第二光检测器(17B)),其与移动镜(24)的位置同步地分别检测第一光和第二光,来生成第一正弦波信号和第二正弦波信号;相位计算部(18),其在针对第一正弦波信号和第二正弦波信号分别进行了标准化及相位差校正后,计算在各时间点的第一正弦波信号或者第二正弦波信号的相位;以及移动镜位置确定部(19),其基于移动镜(24)的位置与相位的关系,根据在特定的时间点的相位来确定在该时间点的移动镜(24)的位置。

    光谱仪中的噪声抑制
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111033195B

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN201880055887.0

    申请日:2018-06-21

    IPC分类号: G01J3/18 G01J3/28 G01J3/453

    摘要: 公开了用于检测样本辐射的一个或多个波长分量的光谱仪。该光谱仪包括:检测器,该检测器包括像素的二维直线阵列,用于基于收集的样本辐射生成代表图像的信号;一个或多个光学组件,该一个或多个光学组件被布置成基于样本辐射的光谱特征形成空间图案,该空间图案包括多个对准的基本平行的条纹,该多个条纹的取向相对于二维直线阵列具有非零歪斜角;以及分析器,该分析器被布置成接收信号并提供与一个或多个波长有关的输出。该光谱仪抑制检测器中的列/行噪声。还公开了在从检测器阵列提取并处理信号时抑制噪声的方法。

    包括主动的再调整的回归干涉仪

    公开(公告)号:CN111971521B

    公开(公告)日:2021-12-03

    申请号:CN201980025503.5

    申请日:2019-04-18

    发明人: A·肯斯

    IPC分类号: G01B9/02 G01J3/453

    摘要: 本发明涉及一种干涉仪布置结构(1),具有:用于可用光(3)的输入端;分束器(8);用于建立两个干涉仪臂(13、14)的两个回归反射器(15、16);驱动装置(24),其用于使所述回归反射器(15、16)中的至少一个回归反射器运动,以便改变干涉仪臂(13、14)之间的光学的光程差;用于相干的参考光的参考光源(5);用于可用光(21)的输出端;以及参考光探测器(19),其特征在于,参考光探测器(19)具有至少三个探测器面(19a‑19d),其中第一对探测器面(19a、19b)的探测器面沿第一方向(ER)排列,并且第二对探测器面(19a、19c)的探测器面沿第二方向(ZR)排列,并且第一方向(ER)、第二方向(ZR)和参考光(17)在参考光探测器(19)上的中间的传播方向线性独立,并且干涉仪布置结构(1)此外具有:‑用于参考光(17)的会聚元件(18),所述会聚元件设置在分束器(8)和参考光探测器(19)之间,以用于对来自分束器(8)的参考光(17)聚焦;‑至少两个促动器(9、10),以用于在至少两个自由度方面改变两个由干涉仪臂(13、14)往回反射的并且在分束器(8)上再次叠加的参考光子光束(11、12)之间的横向的切变;‑以及调节电子装置(38),以用于依赖于在参考光探测器(19)的探测器面(19a‑19d)上的信号(Sa‑Sc)操控促动器(9、10)。本发明提供一种基于回归反射器的干涉仪布置结构,利用其可以保证较高的可评估的并且较稳定的可用光强度。

    用于补偿反射器相对于光源的不正确对准的光学装置

    公开(公告)号:CN109477760B

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:CN201780043932.6

    申请日:2017-07-13

    发明人: F·基利希

    摘要: 在光学装置(1)的情况下,其具有光源(2),光源在第一光轴(4)的方向上发射光束(3),其中,第一光轴(4)的空间取向相对于光源(2)的机械结构(5)限定;其具有用于光束(3)的第一反射器(6),第一反射器布置在距光源(2)一定距离处;并且其具有第二反射器(12),用于由第一反射器(6)反射的光束(3'),第一反射器(6)是后向反射器(7),其与第一光轴(4)横向偏移布置,使得它在第二光轴(11)的方向上反射光束(3),第二光轴在横向偏移的横向方向上具有相对于第一光轴(4)的横向偏移的两倍的平行偏移。第二反射器(12)固定在光源(2)的机械结构(5)上,并在第三光轴(13)的方向上将由第一反射器(6)反射的光束(3)反射回第一反射器(6),其中,第三光轴(13)相对于第二光轴(11)在固定的横向方向上平行偏移固定量(14)。因此,光束(3)由第一反射器(6)沿第四光轴(15)的方向反射,第四光轴(15)相对于第一光轴(4)与固定的横向方向相反地平行偏移固定量(14)。

    成像装置和方法
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN106456070B

    公开(公告)日:2021-01-12

    申请号:CN201580027058.8

    申请日:2015-06-17

    申请人: 索尼公司

    发明人: 小泽谦

    摘要: 本发明提供了一种成像装置和成像方法。将来自被摄体的光作为多个光束集提供至具有多个元件的相位差阵列。所述相位差阵列被配置成针对多个光束集中的至少一些光束集内所包括的光提供不同的光路。在成像元件阵列处接收来自所述相位差阵列的光。所述成像元件阵列包括多个成像元件。可以显示基于所述成像元件阵列的输出信号根据高光谱成像数据所获得的信息。

    用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期扰动的光谱仪系统和方法

    公开(公告)号:CN107407601B

    公开(公告)日:2021-01-05

    申请号:CN201580070440.7

    申请日:2015-02-02

    IPC分类号: G01J3/45 G01J3/453

    摘要: 光谱仪系统和用于补偿由光谱仪系统产生的干涉图的时间周期性扰动的方法。光谱仪系统(2)包括:扫描干涉仪(4);驱动系统(6),其机械耦合到扫描干涉仪(4)的可移动反射器元件(14)并且可操作以实现多个,优选地多于两个,例如三个不同的扫描速度下可移动反射器元件(14)的往复运动;检测器装置(8),被配置为以等距时间间隔对由扫描干涉仪(2)形成的干涉图进行采样以产生采样干涉图;以及数据处理器(10),适于在所述多个不同扫描速度中的每一个处获取采样的干涉图,并且执行如此获取的多个采样干涉图的内容的相对比较。