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公开(公告)号：CN112313488B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN201980040589.9
申请日：2019-04-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种干涉仪（100），该干涉仪包括：具有致动空隙（108）的保持元件（106）；第一镜面元件（102），该第一镜面元件以与所述致动空隙（108）对置的方式布置或者能够布置在所述保持元件（106）上；以及第二镜面元件（104），该第二镜面元件以镜面间距以与所述第一镜面元件（102）对置的方式布置或者能够布置，以用于形成光学缝隙（112），其中所述第一镜面元件102）布置或者能够布置在所述第二镜面元件104）与所述保持元件（106）之间并且所述光学缝隙（112）通过所述第一镜面元件（102）与所述致动空隙（108）在空间上分开。此外，所述干涉仪100）包括由第一致动电极（114）和第二致动电极（116）构成的电极对，其中所述第一致动电极被限定、布置和/或能够布置在所述第一镜面元件（102）或者（104）之一处或者中，并且其中所述第二致动电极被限定、布置和/或能够布置在所述致动空隙（108）的与第一致动电极（114）对置
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公开(公告)号：CN112840186B
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN201980069520.9
申请日：2019-10-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于在光谱仪（100）中使用的干涉仪元件（125），其中，所述干涉仪元件（125）具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件（FPI1、FPI2），所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件（135）、第二镜元件（140）和第三镜元件（145），所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件（125）的光路（120）中，并且其中，所述第一镜元件（135）与所述第二镜元件（140）之间的第一间距（160）和/或所述第二镜元件（140）与所述第三镜元件（145）之间的第二间距（165）能够被改变。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111630434B
公开(公告)日：2022-06-24
申请号：CN201980011227.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械反射镜装置、一种反射镜系统以及一种用于制造微机械反射镜装置的方法。该反射镜装置构造有：平面地构造的第一反射镜元件（10）；平面地构造的第二反射镜元件（20）；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）基本上平面平行地布置；其中，在所述第一和第二反射镜元件（10、20）之间的中间空间（40）具有比所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）更小的折射率；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）局部地通过至少一个支撑结构（130）彼此间隔开地布置；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）在垂直于所述第一和第二反射镜元件（10、20）布置的轴向方向（A）上与所述第一和第二反射镜元件（10、20）重叠；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）具有如下一种材料或者由如下材料构成，所述材料与构成所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）的材料不同。
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公开(公告)号：CN112840186A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201980069520.9
申请日：2019-10-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种用于在光谱仪（100）中使用的干涉仪元件（125），其中，所述干涉仪元件（125）具有微机械式法布里‑珀罗滤波元件（FPI1、FPI2），所述法布里‑珀罗滤波元件至少具有第一镜元件（135）、第二镜元件（140）和第三镜元件（145），所述第一镜元件、所述第二镜元件和所述第三镜元件串联地布置在所述干涉仪元件（125）的光路（120）中，并且其中，所述第一镜元件（135）与所述第二镜元件（140）之间的第一间距（160）和/或所述第二镜元件（140）与所述第三镜元件（145）之间的第二间距（165）能够被改变。
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公开(公告)号：CN112313488A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN201980040589.9
申请日：2019-04-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种干涉仪（100），该干涉仪包括：具有致动空隙（108）的保持元件（106）；第一镜面元件（102），该第一镜面元件以与所述致动空隙（108）对置的方式布置或者能够布置在所述保持元件（106）上；以及第二镜面元件（104），该第二镜面元件以镜面间距以与所述第一镜面元件（102）对置的方式布置或者能够布置，以用于形成光学缝隙（112），其中所述第一镜面元件（102）布置或者能够布置在所述第二镜面元件（104）与所述保持元件（106）之间并且所述光学缝隙（112）通过所述第一镜面元件（102）与所述致动空隙（108）在空间上分开。此外，所述干涉仪（100）包括由第一致动电极（114）和第二致动电极（116）构成的电极对，其中所述第一致动电极被限定、布置和/或能够布置在所述第一镜面元件（102）或者（104）之一处或者中，并且其中所述第二致动电极被限定、布置和/或能够布置在所述致动空隙（108）的与第一致动电极（114）对置的一侧处。所述镜面间距能够通过将电压加载到所述电极对上这种方式来改变。
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公开(公告)号：CN111630434A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN201980011227.7
申请日：2019-01-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种微机械反射镜装置、一种反射镜系统以及一种用于制造微机械反射镜装置的方法。该反射镜装置构造有：平面地构造的第一反射镜元件（10）；平面地构造的第二反射镜元件（20）；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）基本上平面平行地布置；其中，在所述第一和第二反射镜元件（10、20）之间的中间空间（40）具有比所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）更小的折射率；其中，所述第一和第二反射镜元件（10、20）局部地通过至少一个支撑结构（130）彼此间隔开地布置；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）在垂直于所述第一和第二反射镜元件（10、20）布置的轴向方向（A）上与所述第一和第二反射镜元件（10、20）重叠；并且其中，所述至少一个支撑结构（130）具有如下一种材料或者由如下材料构成，所述材料与构成所述第一和/或第二反射镜元件（10、20）的材料不同。
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公开(公告)号：CN112534222A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201980050931.3
申请日：2019-07-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种光谱仪装置（10），该光谱仪装置包括：法布里珀罗‑干涉仪单元（FP），该法布里珀罗‑干涉仪单元包括第一载体基底（TS1），其中所述第一载体基底（TS1）布置在法布里珀罗‑干涉仪单元（FP）的下侧（U）上并且具有光学孔径（NA）；第一基底（K）和/或第二基底（S），该第一基底布置在法布里珀罗‑干涉仪单元（FP）的背离下侧（U）的上侧（O）上，其中所述第一载体基底（TS1）以下侧（U）布置在第二基底（S）上；布置在第二基底（S）上或中和/或布置在第一基底（K）上或中的光电探测器装置（PD），其中，光电探测器装置（PD）的第一电联接区域（A1）和法布里珀罗‑干涉仪单元（FP）的第二电联接区域（A2）可以从同一方向进行电接触。
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