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公开(公告)号：CN110729159B
公开(公告)日：2022-05-31
申请号：CN201910969392.5
申请日：2019-10-12
Applicant: 武汉新芯集成电路制造有限公司
Inventor： 周华佗
Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，尤其涉及一种离子源的安装装置，离子源包括起弧室的一开口侧设有一阴极电极，阴极电极一端具有开口，灯丝位于开口内并与阴极电极保持一定间距，阴极电极自起弧室的开口侧向内突出，安装装置包括：阴极夹，用于固定阴极电极；两个灯丝夹，分别用于固定灯丝的两端于起弧室外，以使灯丝与阴极电极保持间距；绝缘盘，绝缘盘的正面具有一第一定位结构，阴极夹的一端固定于第一定位结构上；绝缘盘的背面具有一第二定位结构，两个灯丝夹的一端固定于第二定位结构上。有益效果：减少灯丝的安装时间，并且能够防止螺钉松动或受热变形造成的灯丝偏移；便于调节阴极电极和灯丝的位置，从而保证其间距。
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公开(公告)号：CN112086330A
公开(公告)日：2020-12-15
申请号：CN202011080535.6
申请日：2020-10-10
Applicant: 大连交通大学
Abstract: 本发明提供一种高能量离子源。本发明涉及超高真空设备开发领域。高能量离子源主要由离子聚焦机构、离子产生与引导机构、电子发射机构、氩气进入机构和角度可调机构组成。在这个核心构造里要产生氩离子，并完成对离子的加速和聚焦。本发明的离子产生与引导机构是由引出上覆盖栅网构成，该引导孔相对于氩离子处于负电压，电压值在数百至数千伏特之间可调。离子引导孔不仅可以加速氩离子，也可以约束离子束流的指向；本发明的离子聚焦机构采用三个互相绝缘的静电透镜，通过调节中间透镜可变电阻来调节离子束，进行进一步的约束；本发明的角度可调机构采用还可保证进气管与进气孔同轴心调形成团簇原子。本发明能够很好地约束离子束流的指向。
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公开(公告)号：CN107993909B
公开(公告)日：2019-05-14
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 井内裕
Abstract: 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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公开(公告)号：CN111816532A
公开(公告)日：2020-10-23
申请号：CN202010693465.5
申请日：2020-07-17
Applicant: 核工业西南物理研究院
Abstract: 本发明涉及热阴极弧放电离子源技术领域，具体涉及一种用于热阴极弧放电离子源的可更换灯丝组件。本发明包括馈电连接铜杆、陶瓷管、安装法兰、金属保护管、屏蔽陶瓷管、灯丝安装端子、灯丝；安装法兰上设有两个馈穿孔，每个馈穿孔的两侧分别固定连接有陶瓷管和金属保护管，馈电连接铜杆的前端穿过陶瓷管和金属保护管中心进入真空环境，馈电连接铜杆穿出馈穿孔的部分上套有屏蔽陶瓷管，馈电连接铜杆前端连接有灯丝安装端子，灯丝连接在两个灯丝安装端子上。本发明能够保证离子源能够快速更换灯丝，便于维护和维修。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111492458A
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201880081071.5
申请日：2018-11-14
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J3/04 , H01L21/265
Abstract: 本发明描述一种用于将包括惰性气体和含氟气体的气体递送至等离子体浸没枪的气体供应组件，其中所述组件被配置成将体积不超过所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的10％的所述含氟气体递送至所述浸没枪。所述含氟气体可自所述等离子体浸没枪中的材料沉积物产生挥发性反应产物气体，且从而引起所述等离子体浸没枪中等离子体生成细丝的再金属化。与所述气体量组合，所述组件和所述方法可使用气体流动速率以使清理效果优化且减少使用期间细丝材料自所述等离子体浸没枪的损失。
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公开(公告)号：CN107993909A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711317954.5
申请日：2017-12-12
Applicant: 日新离子机器株式会社
Inventor： 井内裕
Abstract: 本发明提供一种离子源，能够实现位于漂移方向侧的丝极的长寿命化，并且能够从通过由该丝极所放出的电子生成的等离子体高效地引出离子束。该离子源具备：长条状的等离子体生成容器(10)；多个磁铁(30)，在等离子体生成容器(10)的内部形成会切磁场(B)；及多个第一丝极(40A)，沿着等离子体生成容器(10)的长度方向设置成列状，并插入到等离子体生成容器(10)的内部。由第一丝极(40A)放出的电子从长度方向的一侧朝着另一侧进行ExB漂移，从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述另一侧的第一丝极(40A)的距离(L2b)，比从等离子体生成容器(10)的长度方向中央至在长度方向上最靠上述一侧的第一丝极(40A)的距离(L1a)短。
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公开(公告)号：CN104091741B
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201410332550.3
申请日：2014-07-14
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明公开了一种多功能离子枪，包括电离室、第一透镜、第二透镜、第一偏转板、第二偏转板、狭缝、四通法兰、过渡法兰和锥形圆筒，所述电离室、第一透镜和第一偏转板位于四通法兰的管道内，且第一透镜位于电离室和第一偏转板之间，所述第一偏转板安装在过渡法兰的近端，电离室安装在过渡法兰的远端，第二透镜、第二偏转板和狭缝位于锥形圆筒内，第二偏转板位于第二透镜和狭缝之间，且第二透镜安装在过渡法兰的近端，狭缝安装在过渡法兰的远端，所述四通法兰和锥形圆筒通过过渡法兰连接。以达到结构紧凑、功能多样、性能稳定且增强离子束传输距离的目的。
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公开(公告)号：CN104091741A
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN201410332550.3
申请日：2014-07-14
Applicant: 兰州大学
Abstract: 本发明公开了一种多功能离子枪，包括电离室、第一透镜、第二透镜、第一偏转板、第二偏转板、狭缝、四通法兰、过渡法兰和锥形圆筒，所述电离室、第一透镜和第一偏转板位于四通法兰的管道内，且第一透镜位于电离室和第一偏转板之间，所述第一偏转板安装在过渡法兰的近端，电离室安装在过渡法兰的远端，第二透镜、第二偏转板和狭缝位于锥形圆筒内，第二偏转板位于第二透镜和狭缝之间，且第二透镜安装在过渡法兰的近端，狭缝安装在过渡法兰的远端，所述四通法兰和锥形圆筒通过过渡法兰连接。以达到结构紧凑、功能多样、性能稳定且增强离子束传输距离的目的。
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公开(公告)号：CN111492458B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN201880081071.5
申请日：2018-11-14
Applicant: 恩特格里斯公司
IPC: H01J37/317 , H01J37/08 , H01J3/04 , H01L21/265
Abstract: 本发明描述一种用于将包括惰性气体和含氟气体的气体递送至等离子体浸没枪的气体供应组件，其中所述组件被配置成将体积不超过所述含氟气体和所述惰性气体的总体积的10％的所述含氟气体递送至所述浸没枪。所述含氟气体可自所述等离子体浸没枪中的材料沉积物产生挥发性反应产物气体，且从而引起所述等离子体浸没枪中等离子体生成细丝的再金属化。与所述气体量组合，所述组件和所述方法可使用气体流动速率以使清理效果优化且减少使用期间细丝材料自所述等离子体浸没枪的损失。
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