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公开(公告)号：CN119213306A
公开(公告)日：2024-12-27
申请号：CN202280091988.X
申请日：2022-12-13
Applicant: 英福康公司
Abstract: 一种供用于质谱仪中的电子轰击离子源组件，其包括阳极，该阳极沿着轴线延伸并且环绕电离体积。至少两个灯丝被各自配置成热离子地发射电子，并且定位在电离体积外部且接近于阳极。该至少两个灯丝各自包括椭圆形地成形部分和在该椭圆形地成形部分的两端上的非椭圆形部分。该非椭圆形地成形部分被配置成相对于阳极安装在固定位置，以维持该椭圆形地成形部分与该阳极之间的恒定距离。该椭圆形地成形部分沿着平面延伸，该平面以非零角度与垂直于该阳极的轴线的平面相交。
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公开(公告)号：CN118382904A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202280082383.4
申请日：2022-11-29
Applicant: 应用材料股份有限公司
Abstract: 公开一种具有增加的等离子体电位的间热式阴极离子源。在某些实施例中，提取板在比电弧腔室的主体更高的电压处偏置以实现较高等离子体电位。屏蔽电极可用以去除偏置提取板与等离子体之间的相互作用。电弧腔室的横截面可为圆形或接近圆形以促进电子在腔室中的旋转。在另一实施例中，偏置电极可在高度方向上在腔室中安置在提取孔的相对侧上。在一些实施例中，仅电极中的一个在大于电弧腔室的主体的电压处偏置。
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公开(公告)号：CN117832043A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202410043704.0
申请日：2024-01-11
Applicant: 北方工业大学
Abstract: 本发明公开了一种基于直流空心电极放电的离子源装置，包括腔体，腔体的底壁设有前端支撑件，前端支撑件上依次设有阳极板、阴极板、离子出口电极和透镜组，还包括配套的直流电源；阳极板和阴极板都是空心状的电极片构成的空心电极；透镜组包括圆环电极片、绝缘垫片、透镜出口；阳极板的外部中心处开有气体进样孔；腔体的侧壁设有馈入件接口。该离子源装置在低真空(10‑2Pa)的环境下利用高压电场形成的辉光放电所产生的电子轰击样品分子以产生气体阳离子，避免了样品前处理繁琐以及额外的载气进样，使得整个检测过程快捷，高效，实时。
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公开(公告)号：CN113838728B
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202111032009.7
申请日：2021-09-03
Applicant: 奕瑞影像科技成都有限公司
Abstract: 本发明提供一种离子源灯丝组件及其焊接方法，该灯丝组件包括：灯丝基座、固定柱、灯丝电极和灯丝，固定柱焊接于灯丝基座上；两个灯丝电极分别焊接在固定柱上；灯丝的两端焊接于两个灯丝电极上。焊接方法具体为：提供灯丝组件和焊接工装，焊接工装包括工装基座、金属压片和紧固螺钉；将灯丝电极穿过固定柱，并缠绕焊料；将灯丝电极和固定柱插入工装基座；在固定柱与灯丝基座的接触面放置焊料，将灯丝基座穿过固定柱；通过金属压片和紧固螺钉将灯丝基座和固定柱压紧；将组装好的待焊接件进行钎焊。本发明中的离子源灯丝组件结构及采用焊接工装进行焊接的方法，大大提高了灯丝组件的稳定性和焊接强度，该焊接工装还可用于灯丝组件的批量化制造。
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公开(公告)号：CN111108577B
公开(公告)日：2023-07-28
申请号：CN201880049056.2
申请日：2018-07-27
Applicant: 新加坡国立大学
Inventor： 吉荣·安东·范卡恩 , 许新鑫 , 桑塔那·拉曼·帕塔比拉曼 , 冯锐迪
IPC: H01J27/20 , H01J37/317 , H01J49/14 , H01J37/08
Abstract: 电离室芯片、纳米孔离子源、质子束写入系统以及制造电离室芯片的方法。该方法包括以下步骤：提供第一基板，该第一基板包括在其背面形成的第一凹陷；提供附接在第一基板的背面的背衬元件，使得形成至少包括第一凹陷的腔室；在第一基板中形成与腔室流体连通的气体入口；在第一基板中形成与腔室流体连通的第一孔结构。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109119311A
公开(公告)日：2019-01-01
申请号：CN201810986147.0
申请日：2018-08-28
Applicant: 中国科学技术大学
Abstract: 本发明提供了一种相干电磁辐射产生系统及方法，金属板上至少具有第一亚波长孔阵列，第一亚波长孔阵列至少包括沿第一方向、第二方向阵列排布的多个矩形孔，电子注产生装置产生沿特定方向运动的薄片状的电子注，并使电子注从第一亚波长孔阵列上掠过，形成在三维空间特定方向上的相干电磁辐射。由于矩形孔的尺寸在毫米量级至微米量级范围内，因此，亚波长孔阵列可以应用在毫米波频段及太赫兹波频段内，并产生在三维空间特定方向上的相干电磁辐射，从而提供了一种在毫米波频段及太赫兹波频段内的亚波长阵列的新的应用方式。
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公开(公告)号：CN107749388A
公开(公告)日：2018-03-02
申请号：CN201710946904.7
申请日：2017-10-12
Applicant: 中国原子能科学研究院
CPC classification number: H01J27/205 , H01J27/26
Abstract: 本发明公开了可同时实现电子束碰撞电离和表面电离的离子源结构，属于加速器技术领域，其包括有靶、阴极、阳极、放电室、励磁线圈以及引出电极，其中所述靶、阴极、阳极和引出电极依次水平放置，所述放电室设置在所述阴极和阳极之间，所述励磁线圈布置在所述放电室外围，所述靶、阴极和阳极处于高温工作环境中；该离子源采用一台离子源可同时实现电子束碰撞电离和表面电离两种电离模式的切换，从而保证离子源对多种核素均具有较高的电离效率，该离子源的效果非常的明显，即减少了离子源研发的费用和放射性废物的产生，又可大幅度的减少离子源的更换频次，提高加速器的运行效率，一台离子源实现了两台离子源的功能。
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公开(公告)号：CN105390355B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201510804064.1
申请日：2015-11-20
Applicant: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
Abstract: 本发明公开了一种反射电极结构件及离子源，其反射电极结构件包括高熔点金属材料制备的对置反射电极和低熔点金属材料制备的被溅射件，所述对置反射电极的前端设有安装槽，所述被溅射件嵌装于安装槽内，与安装槽的内壁邻接。本发明的反射电极结构件，被溅射件嵌装于安装槽内，可以通过增大安装槽的尺寸直接增大被溅射件的面积，增加离子束中的离子含量，此结构无需其他辅助部件安装，简化结构，便于更换被溅射件来补偿同一种类的金属材质在溅射过程中的消耗，也可以根据所需的离子束种类更换成为对应的金属材质，适应性好。
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公开(公告)号：CN105051857A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480009237.4
申请日：2014-02-19
Applicant: 麦克斯国际有限公司
Inventor： 皮埃尔·沙恩
CPC classification number: H01J49/147 , H01J27/205 , H01J49/0027 , H01J49/40
Abstract: 用于质谱分析法的分析设备(1)，其包括电子碰撞离子发生器，该电子碰撞离子发生器包括电子发射器(22)和电离目标区域(18)。目标区域(18)被布置以用待被电离用于分析的物质进行填充。电子提取元件(36)与定义在电子发射器(22)和电离目标区域(18)之间的电子路径(34)对齐。电子提取元件(36)被配置以使电子沿着发射器(22)和提取元件(36)之间的电子路径(34)加速远离发射器(22)并使电子沿着提取元件(36)和电离目标区域(18)之间的电子路径(34)减速以启动软电离同时避免在电子源(22)的库伦斥力的影响。
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公开(公告)号：CN117981036A
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202280061677.9
申请日：2022-08-18
Applicant: 应用材料股份有限公司
Abstract: 公开一种能够提取具有改进的均匀性的带状离子束的离子源。离子源的壁中的一个在其面向腔室的内部表面上具有突起。突起产生用作自由电子和离子的接收器的损失区域。这引起突起附近的等离子体密度降低，且可通过修改突起附近的束电流来改进从离子源提取的带状离子束的均匀性。可修改突起的形状以实现所要均匀性。突起还可与圆柱形离子源一起利用。在某些实施例中，突起由多个机械可调节突起元件产生。
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