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发明公开
环状运动加强型离子源审中-实审

公开(公告)号：CN118382904A

公开(公告)日：2024-07-23

申请号：CN202280082383.4

申请日：2022-11-29

Applicant: 应用材料股份有限公司

Inventor： 金俊荣 , 崔眞荣 , 黄镛锡 , 郑卿在 , 具本雄

IPC: H01J27/02 , H01J27/20 , H01J37/08

Abstract: 公开一种具有增加的等离子体电位的间热式阴极离子源。在某些实施例中，提取板在比电弧腔室的主体更高的电压处偏置以实现较高等离子体电位。屏蔽电极可用以去除偏置提取板与等离子体之间的相互作用。电弧腔室的横截面可为圆形或接近圆形以促进电子在腔室中的旋转。在另一实施例中，偏置电极可在高度方向上在腔室中安置在提取孔的相对侧上。在一些实施例中，仅电极中的一个在大于电弧腔室的主体的电压处偏置。

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