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公开(公告)号：CN117909145A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202311652431.1
申请日：2023-12-05
申请人： 中国科学院微小卫星创新研究院 , 上海微小卫星工程中心
IPC分类号： G06F11/22 , G06N3/063 , G06N3/08 , G06N5/04 , G01R31/302 , G01R31/305
摘要： 本发明公开了AI芯片单粒子翻转影响评估方法和系统，该方法采用地面模拟辐照试验结合软件故障注入的方法，包括通过地面辐照试验获取AI芯片存储单元SEU数量和在轨时长关系，以及通过SEU软件故障注入建立AI芯片存储单元SEU数量和其推理准确度退化关系，从而实现评估AI芯片在轨时长与其推理准确度退化之间额关系。采用本方案可将AI芯片SEU影响评估成本降低至辐照试验评估的10％以内，评估时间由2个月缩短至1周；可根据AI模型特点开展尽可能多的重复SEU故障注入，大大提高了获取的AI芯片推理准确度退化数据的置信度；提出的评估方法通用性强，器件类型覆盖基于不同硬件加速器的AI芯片，算法覆盖MLP、CNN、DNN不同类型的神经网络算法。
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公开(公告)号：CN107533103A
公开(公告)日：2018-01-02
申请号：CN201680025510.1
申请日：2016-05-17
申请人： 科磊股份有限公司
发明人： B·达菲
IPC分类号： G01R31/305 , G01R31/307
CPC分类号： G01R31/305 , G01R31/307
摘要： 本发明揭示一种电压对比成像缺陷检测系统，其包含电压对比成像工具及耦合到所述电压对比成像工具的控制器。所述控制器经配置以：针对样本上的一或多个结构产生一或多个电压对比成像度量；基于所述一或多个电压对比成像度量而确定所述样本上的一或多个目标区域；从所述电压对比成像工具接收所述样本上的所述一或多个目标区域的电压对比成像数据集；以及基于所述电压对比成像数据集而检测一或多个缺陷。
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公开(公告)号：CN101460857B
公开(公告)日：2012-07-18
申请号：CN200780020797.X
申请日：2007-04-04
申请人： 应用材料合资公司
发明人： 伯恩哈德·冈特·米勒 , 拉尔夫·施密德 , 麦特瑟斯·波拉纳
IPC分类号： G02F1/1362 , G02F1/13 , G01R31/305
CPC分类号： G02F1/1309 , G02F2001/136254
摘要： 本发明涉及光电模块的光辅助测试，并提供了一种用于测试光电模块(10)的设备(1)，所述设备包括用于生成电磁束或粒子束(15)的第一源(11)、用于照射光电模块(10)的第二源(12)和检测器(13)。还提供了一种用于测试光电模块(10)的方法，所述方法包括照射光电模块(10)、引导电磁束或粒子束(15)和检测光电模块(10)中的缺陷。通过除电磁束或粒子束(15)之外的照射，使在没有照射时无法检测的缺陷可见。
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公开(公告)号：CN102353890A
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：CN201110162098.7
申请日：2007-03-12
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： G01R31/305
CPC分类号： G01R31/305 , G09G3/006 , G09G3/3648 , H01J37/28 , H01J2237/2594
摘要： 本发明揭示一种用以减少或消除多个电子束之间串扰的方法与设备。多个电子束在大面积基板上产生多个相邻的测试区域，其中来自一测试区域的二次电子可以在一相邻的测试区域中被检测出。在一实施例中，主要束发射以及来自该主要束的二次电子的检测的定时被控制，以消除或减少来自另一主要束的二次电子的检测的可能性。
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公开(公告)号：CN100427883C
公开(公告)日：2008-10-22
申请号：CN200480025993.2
申请日：2004-07-12
申请人： 应用材料以色列公司
IPC分类号： G01B15/04 , H01J37/28 , G01R31/305
CPC分类号： H01J37/1478 , G01B15/04 , G01N23/2251 , G01R31/307 , H01J37/28 , H01J2237/24578 , H01J2237/2487 , H01J2237/2611 , H01J2237/2814 , H01J2237/2816 , H01J2237/2817
摘要： 本发明涉及一种系统和方法，其用于测定具有次微米横断面的被测元件的横断面特征，该横断面是由位于第一断面(first traverse section)及第二断面(first traverse section)之间的中间面(intermediate section)所定义。该方法的第一步骤是以第一倾斜状态扫描一参考结构元件的第一部分及被测元件的至少第一断面，用以决定该参考结构元件与该第一断面之间的第一关系。第二步骤是以第二倾斜状态扫描参考结构元件的第二部分，及扫描被测元件的至少第二断面，用以决定该参考结构元件与该第二断面之间的第二关系。第三步骤为根据该第一及第二关系决定该被测元件的横断面特征。
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公开(公告)号：CN101116000A
公开(公告)日：2008-01-30
申请号：CN200680003804.0
申请日：2006-01-24
申请人： 法商柏奈德公司
发明人： 迪拉布格·吉瑞
IPC分类号： G01R31/305 , G01R31/308
CPC分类号： G01R31/308 , G01R31/305 , G01R31/307 , G01R31/311 , Y10T29/49004
摘要： 本发明涉及一种为以测试或测量电气元件的方法，其中将一粒子束(6)经施加于电气元件(2、3)的位置；在施加上述这些粒子束(6)的效应下释放出电荷；由一收集器(9)收集所释放的电荷；测量所收集的电荷值；并且自所收集电荷值的测量结果推导出该电气元件的电气特性。本发明特别是适用于印刷电路的电阻及/或电容测量作业，并且适用于任何型态之基体，像是平面屏幕、配备以各构件之电路，以及半导体芯片。
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公开(公告)号：CN109283456B
公开(公告)日：2021-02-09
申请号：CN201811075380.X
申请日：2018-09-14
申请人： 西安空间无线电技术研究所
IPC分类号： G01R31/305
摘要： 一种基于粒子滤波模型的单粒子功能中断截面评估方法，通过下述方式实现：进行重粒子加速辐照试验，统计对应LET0值离子辐照下，平均一次功能中断的离子注量率L0和平均一次功能中断累积辐照总注量N0，并作为基准数据；同时，利用配置存储区回读机制，统计平均试验中平均翻转的bit数，记为i0；假设在预评估LET1值下，辐照试验的重离子注量率设为L1，建立粒子滤波模型，预估发生SEU次数的期望值定义系统等效的功能耦合因子为λ，λ表示系统发生任意单bit翻转时候，造成系统功能出错的概率；根据λ的定义，对系统功能中断截面σsys进行等效；根据上述预估的发生SEU次数的期望值以及基准数据，评估未知LET1值下的系统功能中断截面。
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公开(公告)号：CN109283456A
公开(公告)日：2019-01-29
申请号：CN201811075380.X
申请日：2018-09-14
申请人： 西安空间无线电技术研究所
IPC分类号： G01R31/305
摘要： 一种基于粒子滤波模型的单粒子功能中断截面评估方法，通过下述方式实现：进行重粒子加速辐照试验，统计对应LET0值离子辐照下，平均一次功能中断的离子注量率L0和平均一次功能中断累积辐照总注量N0，并作为基准数据；同时，利用配置存储区回读机制，统计平均试验中平均翻转的bit数，记为i0；假设在预评估LET1值下，辐照试验的重离子注量率设为L1，建立粒子滤波模型，预估发生SEU次数的期望值定义系统等效的功能耦合因子为λ，λ表示系统发生任意单bit翻转时候，造成系统功能出错的概率；根据λ的定义，对系统功能中断截面σsys进行等效；根据上述预估的发生SEU次数的期望值以及基准数据，评估未知LET1值下的系统功能中断截面。
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公开(公告)号：CN101577079B
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN200910139189.1
申请日：2009-05-11
申请人： NLT科技股份有限公司
发明人： 高取宪一
IPC分类号： G09G3/00 , G01R31/305
CPC分类号： G09G3/006
摘要： 提供一种显示装置的检查方法和检查装置、显示装置用基板和显示装置，上述显示装置的检查方法和检查装置能够高效且高精度地检查具有非矩形显示区域的显示装置。用具有非矩形显示区域的显示装置的设计信息，指定检查区域及分析区域。并且用设计信息求出寄生电容等，对检查数据或进行优劣判断的阈值进行加权运算而进行检查。
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公开(公告)号：CN1656598B
公开(公告)日：2011-12-07
申请号：CN03811722.3
申请日：2003-05-21
申请人： 应用材料股份有限公司
发明人： 马蒂亚斯·布伦纳 , 栗田新一 , 温德尔·T·布伦尼格 , 埃德加·克尔贝格
IPC分类号： H01L21/00 , G01R31/305
CPC分类号： H01L21/67748 , G01R31/01 , H01L21/67288 , H01L21/682
摘要： 本发明主要提供一种测试基材的系统与方法。在一个实施例中，用于测试基材的测试系统包含负载锁定处理室、传送处理室与测试站。负载锁定处理室与测试站彼此堆栈，并耦接至传送处理室。传送处理室包含设在负载锁定处理室与测试站间传送基材的机器人手臂，其中负载锁定处理室位于第一举升高度，而测试站位于第二举升高度。在另一实施例中，提供一个测试站，该测试站具有用来旋转基材的转盘。转盘可实质地缩减测试基材所需的移动范围并有助于基材的完整测试与/或检查。
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