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公开(公告)号：CN1688744A
公开(公告)日：2005-10-26
申请号：CN03824587.6
申请日：2003-08-27
申请人： 微米技术有限公司
发明人： B·A·瓦尔茨特拉
IPC分类号： C23C16/40 , H01L21/316 , C23C16/10 , H01L21/00
CPC分类号： H01L21/31645 , C23C16/401 , C23C16/45531 , C23C16/45553 , C23C16/56 , H01L21/02148 , H01L21/02159 , H01L21/02214 , H01L21/0228 , H01L21/02337 , H01L21/3142 , H01L21/31612 , H01L21/31641
摘要： 本发明涉及一种采用气相淀积工艺和一种或多种式Si(OR)4的硅前体化合物与一种或多种式M(NR’R”)4的锆和/或铪前体化合物(其中R、R’和R”各自独立为有机基团，M为锆或铪)在底材(特别是半导体底材或底材组件)上形成含锆和/或铪层的方法及装置。
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公开(公告)号：CN115094397A
公开(公告)日：2022-09-23
申请号：CN202210662427.2
申请日：2022-06-13
申请人： 清华-伯克利深圳学院筹备办公室
摘要： 本发明公开了一种非层状二维材料及其制备方法与应用。所述制备方法为以包含金属化合物和金属单质的金属源为原料，通过化学气相沉积法制备所述非层状二维材料，在化学气相沉积过程中，所述单质和所述化合物通过归中反应调控金属源的挥发速度，其中，所述金属包括过渡金属。本发明中的制备方法具有可控性好的特点。
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公开(公告)号：CN108770361A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201680073228.0
申请日：2016-12-15
申请人： 法马通公司
摘要： 一种用于轻水反应堆的燃料棒包壳(4)，包括：芯(16)，其包括由纯钼或由钼基合金组成的基体；和外保护层(18)，所述外保护层(18)选自：-沉积在所述芯(16)的外表面上的铬基涂布(20)，所述铬基涂布(20)包括由纯铬或由铬基合金组成的至少一个铬基涂布层(24)；-通过将铬从芯(16)的外表面扩散到芯(16)中而获得的铬基扩散层(22)；-一系列的通过将铬从芯(16)的外表面扩散到芯(16)中而获得的铬基扩散层(22)和由沉积在所述芯(16)的外表面上的铬或铬基合金组成的铬基涂布(20)。
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公开(公告)号：CN1459835A
公开(公告)日：2003-12-03
申请号：CN02120225.7
申请日：2002-05-20
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
发明人： 林永斌
IPC分类号： H01L21/316 , C23C16/10
摘要： 一种应用于氧化硅层均质化工艺的上管治具，适用于四乙氧基硅烷工艺使氧化硅层均质化的方法，其中包括一内炉管上管治具，适用于将内炉管与外炉管作同轴对准。另外尚包括一标准程序，可以轻易的解决以四乙氧基硅烷工艺形成的氧化硅层的均匀度的问题，并可大幅提高工艺的稳定性。
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公开(公告)号：CN115094397B
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202210662427.2
申请日：2022-06-13
申请人： 清华-伯克利深圳学院筹备办公室
摘要： 本发明公开了一种非层状二维材料及其制备方法与应用。所述制备方法为以包含金属化合物和金属单质的金属源为原料，通过化学气相沉积法制备所述非层状二维材料，在化学气相沉积过程中，所述单质和所述化合物通过归中反应调控金属源的挥发速度，其中，所述金属包括过渡金属。本发明中的制备方法具有可控性好的特点。
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公开(公告)号：CN1307693C
公开(公告)日：2007-03-28
申请号：CN02120225.7
申请日：2002-05-20
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
发明人： 林永斌
IPC分类号： H01L21/316 , C23C16/10
摘要： 一种应用于氧化硅层均质化工艺的上管工具，适用于四乙氧基硅烷工艺使氧化硅层均质化的方法，其中包括一内炉管上管工具，适用于将内炉管与外炉管作同轴对准。另外尚包括一标准程序，可以轻易的解决以四乙氧基硅烷工艺形成的氧化硅层的均匀度的问题，并可大幅提高工艺的稳定性。
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公开(公告)号：CN116200726A
公开(公告)日：2023-06-02
申请号：CN202211690267.9
申请日：2022-12-28
申请人： 无锡透平叶片有限公司
摘要： 本发明提供了一种镍基高温合金表面化学气相沉积AlCr涂层方法，其可以为高温合金材料表面制备涂层，同时其制备过程绿色无污染，产生的废物易于处理，处理成本低。本发明采用化学气相沉积法制备AlCr涂层为两步法，先渗Cr后渗Al；工艺过程使用纯Al、纯Cr作为原材料，无其他元素杂质引入，涂层纯净度高，同时整个工艺过程均为化学气相沉积，工艺过程是纯气体环境，反应气体均匀流动，涂层制备不受工件尺寸及外形影响，可以对工件的内腔制备相应的涂层，且涂层制备均匀性高。
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公开(公告)号：CN110325666A
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201880012653.8
申请日：2018-01-10
申请人： 西门子股份公司
发明人： J·韦尔斯
IPC分类号： C23C28/00 , C23C16/10 , C23C16/12 , F01D5/28 , C23C16/06 , C23C4/134 , C23C10/10 , C23C10/16
摘要： 一种部件(50)以及一种形成涂层系统(100)的方法，部件(50)包括具有涂层系统(100)的镍基合金基底(102)，涂层系统(100)包括：覆盖镍基合金基底(102)的CrAl层(104)、覆盖CrAl层(104)的NiCrAlY层(106)以及覆盖NiCrAlY层(106)的氧化钇稳定的氧化锆热障涂层(108)，形成涂层系统(100)的方法包括以下步骤：空气等离子喷涂NiCrAlY层(106)、以及空气等离子喷涂氧化钇稳定的氧化锆热障涂层(108)。
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公开(公告)号：CN103975091A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201380004020.X
申请日：2013-03-13
申请人： 奥秘合金设计有限公司
CPC分类号： B32B15/011 , B05D3/0254 , B05D7/14 , B23K35/004 , B23K35/308 , B23K35/3086 , B23K35/365 , B23K35/404 , C22C38/18 , C22C38/40 , C23C16/16 , Y10T428/12965 , Y10T428/12979
摘要： 本文公开了具有不锈钢外部的钢模，该钢模通过了0T-弯曲高级T-弯曲试验。一种钢模具有不锈钢外部；所述钢模包括含有至少55重量％铁的核心区域，所述核心区域冶金结合到由不锈钢区域和结合区域构成的不锈钢涂层。所述不锈钢区域可以具有约1微米至约250微米的厚度和跨越所述不锈钢区域厚度的大约一致的不锈钢组合物。所述不锈钢组合物可以包括铁和约10重量％至约30重量％铬的掺合物。所述结合区域位于所述不锈钢区域和所述核心区域之间，具有大于1微米并且小于所述不锈钢区域厚度的厚度，并且具有结合组合物。所述结合组合物可以包括铁和铬的掺合物，具有大约等于所述不锈钢区域铬浓度的、邻近不锈钢区域的铬浓度，并且具有含有小于约5重量％铬的、邻近核心区域的铬浓度。
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