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公开(公告)号：CN103050129A
公开(公告)日：2013-04-17
申请号：CN201210385082.7
申请日：2012-10-12
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： G01Q60/56 , G01Q60/06 , G01Q60/22 , G01Q60/50 , G11B5/314 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , G11B5/3196 , G11B2005/0021
摘要： 为了测定热辅助磁头发生的近场光和磁场这两者、能进行热辅助磁头检查，将扫描探头显微镜的悬臂构成为具备：在板状的部件材料的前端部形成探针的杆、在杆的探针的表面形成为薄膜状的磁性体膜、形成于磁性体膜的表面的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜，将检查热辅助磁头元件的检查装置构成为具备：所述悬臂、检测悬臂的振动的变位检测单元、检测从近场光发光部发生并有悬臂的探针的贵金属或者含有贵金属的合金的微粒子或者薄膜增强的近场光带来的散射光的近场光检测单元、处理由变位检测单元和近场光检测单元检测而得的信号的处理单元。
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公开(公告)号：CN102893165A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201180023368.4
申请日：2011-05-04
申请人： 西班牙高等科研理事会
发明人： E·L·罗曼加西亚 , L·马丁内斯奥雷亚纳 , M·迪亚斯拉戈斯 , Y·胡特尔
摘要： 本发明涉及一种用于通过采用聚集源沉积纳米粒子形式的材料来覆盖原子力显微镜（AFM）探针的方法。
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公开(公告)号：CN105102989B
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201480016966.2
申请日：2014-03-28
申请人： 国立大学法人秋田大学 , 国立大学法人大阪大学
IPC分类号： G01Q60/50
摘要： 一种磁场测定装置，具备：振动式的探针装置(11)，其具备探针(111)，该探针(111)含有一种以上的具有磁化强度与外部磁场的大小成比例这种性质的材料；探针(111)用的机械振动源(12)；检测探针(111)的振动频率和振幅的振动检测装置(13)；向探针(111)施加频率与探针(111)的机械振动频率不同的交流磁场的交流磁场产生装置(14)；向探针(111)施加直流外部磁场的直流外部磁场产生装置(15)；检测在探针(111)的机械振动中产生的频率调制的频率调制检测装置(16)；对直流外部磁场产生装置向探针(111)施加的机械振动方向的直流外部磁场的大小进行调整的直流外部磁场控制装置(17)；以及直流磁场确定装置(18)，其根据频率调制的大小为极小时的直流外部磁场产生装置的输出值，来确定从观察试样(100)产生的直流磁场的值。
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公开(公告)号：CN105102989A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201480016966.2
申请日：2014-03-28
申请人： 国立大学法人秋田大学 , 国立大学法人大阪大学
IPC分类号： G01Q60/50
摘要： 一种磁场测定装置，具备：振动式的探针装置(11)，其具备探针(111)，该探针(111)含有一种以上的具有磁化强度与外部磁场的大小成比例这种性质的材料；探针(111)用的机械振动源(12)；检测探针(111)的振动频率和振幅的振动检测装置(13)；向探针(111)施加频率与探针(111)的机械振动频率不同的交流磁场产生装置(14)；向探针(111)施加直流外部磁场的直流外部磁场产生装置(15)；检测在探针(111)的机械振动中产生的频率调制检测装置(16)；对直流外部磁场产生装置向探针(111)施加的机械振动方向的直流外部磁场的大小进行调整的直流外部磁场控制装置(17)；以及直流磁场确定装置(18)，其根据频率调制的大小为极小时的直流外部磁场产生装置的输出值，来确定从观察试样(100)产生的直流磁场的值。
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公开(公告)号：CN102778589A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201210140453.5
申请日：2012-05-08
申请人： 株式会社日立高新技术
IPC分类号： G01Q60/54
摘要： 本发明提供磁力显微镜用悬臂及其制造方法。通过在附加了磁性膜的探针外进一步形成保护膜来制造高耐久性的磁力显微镜用悬臂。在磁力显微镜用悬臂的制造方法中，当在磁力显微镜用悬臂（1）的前端的探针（401）上形成磁性膜（2），在探针（401）的周围形成非磁性硬质保护膜（3）时，从磁力显微镜用悬臂（1）的探针（401）的正面以角度15°-45°来形成非磁性硬质保护膜（3），从磁力显微镜用悬臂（1）的探针（401）的背面在角度15°-30°的范围内从两个方向形成非磁性硬质保护膜（3）。
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公开(公告)号：CN1801399A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510135302.0
申请日：2005-12-27
申请人： 独立行政法人产业技术总合研究所 , 精工电子纳米科技有限公司
CPC分类号： G01Q60/56 , G01Q70/12 , Y10S977/84 , Y10S977/842 , Y10T428/30
摘要： 本发明提供一种用于扫描磁力显微镜的探针，它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度的磁性储存介质；一种制备探针的方法，以及在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法。在本发明的内容中，用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管，该铁磁合金膜由Co－Fe和Co－Ni合金中的任何一种组成，其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法，和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法，从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0－2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。
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公开(公告)号：CN106501554A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201611030338.7
申请日：2016-11-16
申请人： 长春理工大学
IPC分类号： G01Q60/56
CPC分类号： G01Q60/56
摘要： 本发明公开一种搬移磁性纳米粒子的操纵方法，将磁性纳米粒子溶液用超声波清洗机震荡；将震荡后分散均匀的磁性纳米粒子溶液滴于云母基底上，洁净环境下自然风干，作为待操纵样品；将制备好的样品放置于磁力显微镜样品台上，使用磁力探针对待操纵样品进行扫描成像；选取待操作区域中的一个磁性纳米粒子作为目标粒子用于搬移操纵，由外向内圈以螺旋线作为操纵路径，最终螺旋线结束在以该粒子为中心的位置；驱动探针接触到云母表面，令探针沿着设计的螺旋线结构路径接近目标磁性纳米粒子；驱动探针抬起，离开云母基底表面；扫描目标区域，确认被操纵粒子是否被搬离云母表面。本发明操作方法简单，能准确将目标磁性纳米粒子搬离原位置。
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公开(公告)号：CN106018883A
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：CN201610181780.3
申请日：2016-03-28
申请人： 株式会社日立高新技术高精细系统
CPC分类号： G01Q60/06 , B82Y20/00 , B82Y35/00 , G01Q60/22 , G01Q60/56 , G11B5/314 , G11B5/3166 , G11B5/3173 , G11B5/3196 , G11B2005/0021
摘要： 本发明提供一种热辅助磁头元件的检查装置及其方法。在热辅助磁头的检查中，即使悬臂的测定探针的直径对于每个悬臂具有偏差，也能够保证进行高精度的检查。热辅助磁头元件的检查装置具备：悬臂；位移检测系统，其检测悬臂的位移；光检测器，其检测来自悬臂的散射光；信号处理部，其接收来自位移检测部的输出信号和来自光检测器的输出信号对信号进行处理；以及控制部，其对整体进行控制，还具备：载置部，其载置近场光产生样本；激光源，其发射激光；激光照射光学系统，其将激光照射到近场光产生样本而产生近场光；以及工作台部，其载置载置部和激光照射光学系统来使近场光产生样本在悬臂正下方与从悬臂离开的位置之间进行移动。
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公开(公告)号：CN1801399B
公开(公告)日：2010-05-05
申请号：CN200510135302.0
申请日：2005-12-27
申请人： 独立行政法人产业技术总合研究所 , 精工电子纳米科技有限公司
CPC分类号： G01Q60/56 , G01Q70/12 , Y10S977/84 , Y10S977/842 , Y10T428/30
摘要： 本发明提供一种用于扫描磁力显微镜的探针，它具有足够的分辨率而能够观察1200kFCI或更高记录密度的磁性储存介质；一种制备探针的方法，以及在碳纳米管上形成铁磁合金膜的方法。在本发明的内容中，用于扫描磁力显微镜的探针包含其表面至少部分涂覆有铁磁合金膜的碳纳米管，该铁磁合金膜由Co-Fe和Co-Ni合金中的任何一种组成，其中铁磁合金膜的表面算术平均粗糙度(Ra 10μm)控制在1.15nm或更小。还公开了一种制备该用于扫描磁力显微镜的探针的方法，和在碳纳米管上形成该铁磁合金膜的方法，从而通过控制铁磁合金膜的生成速率在1.0-2.5nm/min的范围内来达到该平均表面粗糙度。
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