曝光系统、曝光方法及显示用面板基板的制造方法

    公开(公告)号:CN109765761A

    公开(公告)日:2019-05-17

    申请号:CN201811324621.X

    申请日:2018-11-08

    Abstract: 本发明提供一种不大幅增加设备或步骤,于单片基板将尺寸相异的图样以高位置精度曝光的曝光系统,包含于经涂布于基板的光阻,以指定的间隔形成多个基板标记的标记装置、及多个曝光装置。多个曝光装置分别自图像取得装置所取得的屏蔽标记及基板标记的图像,检测出屏蔽标记与基板标记的偏移量,使用激光测量装置,检测平台位置,对应检测出的该偏移量,进行屏蔽标记与基板标记的位置校准,进行屏蔽与基板的相对位置定位,基于激光测量装置的检测结果,控制图样于基板曝光的位置,于基板进行图样的曝光,将尺寸相异的图样于基板曝光。

    架空线测定装置及架空线测定方法

    公开(公告)号:CN105393080B

    公开(公告)日:2018-10-19

    申请号:CN201480039911.3

    申请日:2014-09-01

    Inventor: 渡边正久

    Abstract: 能够基于行驶的车辆简单地测定架空线的磨损部的形状。将狭缝状的激光束L1、L2从车辆9的车顶上相对于车辆前进方向大致垂直地照射到架空线1。通过照射激光束,在架空线1的包括侧面在内的下侧生成光切割图像。通过利用照相机等从斜下方接收该光切割图像,获取表示架空线1的包括侧面在内的下侧的形状的图像,即架空线1的光切割图像的轮廓d0。将这样的光投射部和光接收部设置两套于沿架空线1的偏移左右方向分离的位置,并分别测定激光束L1、L2照射到的部分的形状,通过对其进行图像处理,生成表示架空线1的滑动面和左右侧面的剖面形状的数据。基于生成的表示架空线1的滑动面和左右侧面的剖面形状的数据,测定架空线1的侧面的剩余量和磨损量。

    架空线测定装置及架空线测定方法

    公开(公告)号:CN105393080A

    公开(公告)日:2016-03-09

    申请号:CN201480039911.3

    申请日:2014-09-01

    Inventor: 渡边正久

    CPC classification number: B60M1/28 G01B11/245 G01B11/25 G01B2210/52

    Abstract: 能够基于行驶的车辆简单地测定架空线的磨损部的形状。将狭缝状的激光束L1、L2从车辆9的车顶上相对于车辆前进方向大致垂直地照射到架空线1。通过照射激光束,在架空线1的包括侧面在内的下侧生成光切割图像。通过利用照相机等从斜下方接收该光切割图像,获取表示架空线1的包括侧面在内的下侧的形状的图像,即架空线1的光切割图像的轮廓d0。将这样的光投射部和光接收部设置两套于沿架空线1的偏移左右方向分离的位置,并分别测定激光束L1、L2照射到的部分的形状,通过对其进行图像处理,生成表示架空线1的滑动面和左右侧面的剖面形状的数据。基于生成的表示架空线1的滑动面和左右侧面的剖面形状的数据,测定架空线1的侧面的剩余量和磨损量。

    曝光系统、曝光方法及显示用面板基板的制造方法

    公开(公告)号:CN109765761B

    公开(公告)日:2021-09-28

    申请号:CN201811324621.X

    申请日:2018-11-08

    Abstract: 本发明提供一种不大幅增加设备或步骤,于单片基板将尺寸相异的图样以高位置精度曝光的曝光系统,包含于经涂布于基板的光阻,以指定的间隔形成多个基板标记的标记装置、及多个曝光装置。多个曝光装置分别自图像取得装置所取得的屏蔽标记及基板标记的图像,检测出屏蔽标记与基板标记的偏移量,使用激光测量装置,检测平台位置,对应检测出的该偏移量,进行屏蔽标记与基板标记的位置校准,进行屏蔽与基板的相对位置定位,基于激光测量装置的检测结果,控制图样于基板曝光的位置,于基板进行图样的曝光,将尺寸相异的图样于基板曝光。

    隔板用粉体、隔板用浆料、锂离子电池及其制造方法

    公开(公告)号:CN109314208A

    公开(公告)日:2019-02-05

    申请号:CN201780035343.3

    申请日:2017-05-30

    Abstract: 使锂离子电池所使用的隔板的特性提高。使负极用浆料S(Nb)以及隔板用浆料S(SPn)干燥,在金属箔Na上形成负极片NS,该负极片NS具有由负极用浆料S(Nb)形成的负极层Nb、以及在负极层Nb上通过隔板用浆料S(SPn)形成的隔板SPn。上述隔板用浆料S(SPn)具有第一无机氧化物颗粒、形状与第一无机氧化物颗粒不同的第二无机氧化物颗粒、使第一无机氧化物颗粒以及第二无机氧化物颗粒的混合物中的颗粒粘结的粘结剂、以及溶解粘结剂的溶剂。例如,第一无机氧化物颗粒为球状二氧化硅,第二无机氧化物颗粒为不定形二氧化硅。相对于球状二氧化硅和不定形二氧化硅的混合重量,不定形二氧化硅的比例为25重量%以上75重量%以下。

Patent Agency Ranking