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发明公开
通过采用离子簇源沉积纳米粒子修改原子力显微镜探针无效

公开(公告)号：CN102893165A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201180023368.4

申请日：2011-05-04

申请人： 西班牙高等科研理事会

发明人： E·L·罗曼加西亚 , L·马丁内斯奥雷亚纳 , M·迪亚斯拉戈斯 , Y·胡特尔

IPC分类号： G01Q60/42 , B82Y15/00 , B82B3/00

CPC分类号： G01Q60/38 , B82Y15/00 , B82Y35/00 , C23C14/22 , G01Q60/42 , G01Q60/56

摘要： 本发明涉及一种用于通过采用聚集源沉积纳米粒子形式的材料来覆盖原子力显微镜（AFM）探针的方法。