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公开(公告)号：CN1539074A
公开(公告)日：2004-10-20
申请号：CN02815429.0
申请日：2002-08-07
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 阿部伸也
CPC分类号： G01B11/0608 , G01D5/305 , G03F9/7026 , G11B7/00 , G11B7/261 , H01J37/3045
摘要： 将两束光束从相互对置侧的斜上方入射到测定对象(105)表面的同一位置，反射光束入射规定的各检测面的位置由位置检测器(102、104)检测出，并作为位置检测信号分别输出。通过求出各位置检测信号的差或和，检测出测定对象表面的位移，以便抵消包含在各位置检测信号中且表示相对基准位置的变化的成分中的、相互反向的成分。
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公开(公告)号：CN105683851B
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201380080451.4
申请日：2013-11-05
申请人： 株式会社安川电机
发明人： 松谷泰裕
IPC分类号： G05B19/416
CPC分类号： G05B19/416 , G01D5/305 , G01D5/341 , G05B2219/33218 , H02K11/22 , H02P6/16
摘要： 本发明所要解决的问题在于防止编码器的机型变大。本发明的伺服系统(S)包括：马达(M)，所述马达(M)被构成为动子相对于定子移动；编码器(100)，所述编码器(100)被构成为检测所述动子的位置以及速度中的至少一者；以及控制装置(CT)，所述控制装置(CT)被构成为：基于编码器(100)的检测结果，控制马达(M)的动作，控制装置(CT)具有第一指令发送部(210A)，所述第一指令发送部(210A)被构成为以第一速度将变更命令发送给编码器(100)，所述变更命令将编码器侧通信速度变更为比当前的第一速度快的第二速度，编码器(100)具有速度设定部(111)，所述速度设定部(111)被构成为在接收到变更命令的情况下，将编码器侧通信速度变更为第二速度。
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公开(公告)号：CN100416221C
公开(公告)日：2008-09-03
申请号：CN03815949.X
申请日：2003-07-07
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 大卫·罗伯茨·麦克默特里 , 雷蒙·约翰·钱尼 , 马克·阿德里安·文森特·查普曼 , 史蒂芬·马克·安古德
CPC分类号： G01B11/272 , G01D5/262 , G01D5/305
摘要： 一种用于测量第一物体与第二物体间相对运动中运动轨迹偏离直线的偏差的装置，包括：安装于一个物体上的发射器单元；安装于另一物体上的光学单元。其中，该发射器单元将至少一束光束指引向该光学元件，使两束或多束光束进入光学元件。发射器单元和光学单元的其中之一装有两个或多个探测器，以探测两束或多束发射到光学单元或从光学单元反射回来的光束。探测器上的光束的位置用于在至少一个自由度上计算一个物体相对于另一物体的运动轨迹与直线的偏差。这使得能够测量直线度、俯仰、滚转、平摆和垂直度。
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公开(公告)号：CN101203730A
公开(公告)日：2008-06-18
申请号：CN200680022308.X
申请日：2006-06-23
申请人： FARO科技有限公司
发明人： 西蒙·拉布
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01S17/66 , G01B21/04 , G01D5/305 , G01D18/004 , G05B2219/33263 , G05B2219/37193 , G05B2219/40233 , G05B2219/45061
摘要： 本发明描述一种用于测量物体的测量设备、系统和方法，其可以轻易地绕着所述物体重新定位。该系统使用铰接臂式坐标测量机(CMM)(200)和激光跟踪仪(400)。与激光跟踪仪一起使用的回射器(310、312)设置在铰接臂坐标测量机(CMM)的臂上。公共坐标参考系可以确定用于CMM和激光跟踪仪，使得CMM可以移动。而且，可以使用例如CMM测量隐藏于激光跟踪仪的点。
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公开(公告)号：CN105683851A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201380080451.4
申请日：2013-11-05
申请人： 株式会社安川电机
发明人： 松谷泰裕
IPC分类号： G05B19/416
CPC分类号： G05B19/416 , G01D5/305 , G01D5/341 , G05B2219/33218 , H02K11/22 , H02P6/16
摘要： 本发明所要解决的问题在于防止编码器的机型变大。本发明的伺服系统(S)包括：马达(M)，所述马达(M)被构成为动子相对于定子移动；编码器(100)，所述编码器(100)被构成为检测所述动子的位置以及速度中的至少一者；以及控制装置(CT)，所述控制装置(CT)被构成为：基于编码器(100)的检测结果，控制马达(M)的动作，控制装置(CT)具有第一指令发送部(210A)，所述第一指令发送部(210A)被构成为以第一速度将变更命令发送给编码器(100)，所述变更命令将编码器侧通信速度变更为比当前的第一速度快的第二速度，编码器(100)具有速度设定部(111)，所述速度设定部(111)被构成为在接收到变更命令的情况下，将编码器侧通信速度变更为第二速度。
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公开(公告)号：CN100414258C
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200510084788.X
申请日：2005-07-21
申请人： 夏普株式会社
IPC分类号： G01D5/36
CPC分类号： H01L31/167 , G01D5/305 , G01D5/34 , H01L31/02325 , H01L2224/48091 , H01L2924/1815 , H01L2924/3025 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 在反射编码器的实施例中，反射编码器设置：光发射部分，其具有能够发光的光发射元件和用于覆盖和保护光发射元件的光发射侧透明树脂体；光检测部分，其具有用于检测从光发射元件发射并被编码轮的反射区反射的光的光接收元件；用于覆盖和保护光接收元件的光接收侧透明树脂体；和遮光体，其设置在光发射侧透明树脂体和光接收侧透明树脂体之间，用于分隔光发射部分和光检测部分。
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公开(公告)号：CN1727850A
公开(公告)日：2006-02-01
申请号：CN200510084788.X
申请日：2005-07-21
申请人： 夏普株式会社
IPC分类号： G01D5/36
CPC分类号： H01L31/167 , G01D5/305 , G01D5/34 , H01L31/02325 , H01L2224/48091 , H01L2924/1815 , H01L2924/3025 , H01L2924/00014 , H01L2924/00
摘要： 在反射编码器的实施例中，反射编码器设置：光发射部分，其具有能够发光的光发射元件和用于覆盖和保护光发射元件的光发射侧透明树脂体；光检测部分，其具有用于检测从光发射元件发射并被编码轮的反射区反射的光的光接收元件；用于覆盖和保护光接收元件的光接收侧透明树脂体；和遮光体，其设置在光发射侧透明树脂体和光接收侧透明树脂体之间，用于分隔光发射部分和光检测部分。
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公开(公告)号：CN101203730B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200680022308.X
申请日：2006-06-23
申请人： FARO科技有限公司
发明人： 西蒙·拉布
IPC分类号： G01B21/04
CPC分类号： G01S17/66 , G01B21/04 , G01D5/305 , G01D18/004 , G05B2219/33263 , G05B2219/37193 , G05B2219/40233 , G05B2219/45061
摘要： 本发明描述一种用于测量物体的测量设备、系统和方法，其可以轻易地绕着所述物体重新定位。该系统使用铰接臂式坐标测量机(CMM)(200)和激光跟踪仪(400)。与激光跟踪仪一起使用的回射器(310、312)设置在铰接臂坐标测量机(CMM)的臂上。公共坐标参考系可以确定用于CMM和激光跟踪仪，使得CMM可以移动。而且，可以使用例如CMM测量隐藏于激光跟踪仪的点。
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公开(公告)号：CN101476883A
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200810132704.9
申请日：2003-07-07
申请人： 瑞尼斯豪公司
发明人： 大卫·罗伯茨·麦克默特里 , 雷蒙·约翰·钱尼 , 马克·阿德里安·文森特·查普曼 , 史蒂芬·马克·安古德
CPC分类号： G01B11/272 , G01D5/262 , G01D5/305
摘要： 本发明涉及一种激光校准仪。一种用于测量第一物体与第二物体间相对运动中运动轨迹偏离直线的偏差的装置，包括：安装于一个物体上的发射器单元；安装于另一物体上的光学单元。其中，该发射器单元将至少一束光束指引向该光学元件，使两束或多束光束进入光学元件。发射器单元和光学单元的其中之一装有两个或多个探测器，以探测两束或多束发射到光学单元或从光学单元反射回来的光束。探测器上的光束的位置用于在至少一个自由度上计算一个物体相对于另一物体的运动轨迹与直线的偏差。这使得能够测量直线度、俯仰、滚转、平摆和垂直度。
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公开(公告)号：CN1296925C
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN02815429.0
申请日：2002-08-07
申请人： 松下电器产业株式会社
发明人： 阿部伸也
CPC分类号： G01B11/0608 , G01D5/305 , G03F9/7026 , G11B7/00 , G11B7/261 , H01J37/3045
摘要： 本发明提供可以去除倾斜影响而检测出基板盘片表面位移的位移检测方法、及位移检测装置。将两束光束从相互对置侧的斜上方入射到测定对象(105)表面的同一位置，反射光束入射规定的各检测面的位置由位置检测器(102、104)检测出，并作为位置检测信号分别输出。通过求出各位置检测信号的差或和，检测出测定对象表面的位移，以便抵消包含在各位置检测信号中且表示相对基准位置的变化的成分中的、相互反向的成分。
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