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公开(公告)号：CN108642496A
公开(公告)日：2018-10-12
申请号：CN201810361991.4
申请日：2018-04-20
申请人： 吴伟华
摘要： 本发明公开了一种不锈钢制品专用固体抛光剂的制备方法，属于金属加工助剂技术领域。本发明先将包覆改性氧化铝和无水乙醇混合后超声分散，再用聚乙烯吡咯烷酮进行处理，制得包覆改性氧化铝分散液，再将包覆改性氧化铝分散液和单体丙烯酰胺混合，在交联剂和引发剂作用下，使单体聚合形成三维胶料网络凝胶体，再辅以多巴胺，反映结束后，真空干燥，制得干凝胶，随后将干硬脂酸、亚油酸、柠檬酸和草酸混合后，加热熔融，再加入干凝胶，搅拌混合后，注模，冷却成型，脱模，即得不锈钢制品专用固体抛光剂。本发明所得不锈钢制品专用固体抛光剂具有优异的抛光效果，光泽度得到了有效提高。
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公开(公告)号：CN108350319A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680063558.1
申请日：2016-10-21
申请人： 嘉柏微电子材料股份公司
IPC分类号： C09G1/02 , C09K3/14 , H01L21/306 , H01L21/321
摘要： 描述了用于对含有钨的基板的表面进行平面化的化学机械抛光组合物以及所述组合物的使用方法，所述组合物含有氧化硅研磨剂颗粒及阳离子型表面活性剂。
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公开(公告)号：CN108350318A
公开(公告)日：2018-07-31
申请号：CN201680062494.3
申请日：2016-10-21
申请人： 嘉柏微电子材料股份公司
IPC分类号： C09G1/02 , C09G1/04 , C09K3/14 , B01J23/745
摘要： 描述了用于对含有钨的基板的表面进行化学-机械抛光(或平面化)的化学-机械抛光组合物(例如浆料)以及所述浆料的使用方法，所述组合物含有阳离子型表面活性剂及环糊精。
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公开(公告)号：CN107148496A
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：CN201580057443.7
申请日：2015-10-21
申请人： 嘉柏微电子材料股份公司
摘要： 本发明提供抑制含有金属的基板的腐蚀的方法。该基板可呈任何适合的形式。在一些实施方式中，该金属为钴。在一些实施方式中，所述方法可用于半导体晶片。本发明还提供抛光基板的化学机械抛光组合物及方法。可在本文所公开的所述方法及组合物中使用腐蚀抑制剂。该抑制剂包含两性表面活性剂、磺酸酯、膦酸酯、羧酸酯、氨基酸衍生物、磷酸酯、羟乙基磺酸酯、硫酸酯、磺基丁二酸酯、磺基肉桂酸酯、或其任意组合。
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公开(公告)号：CN106467970A
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201610758435.1
申请日：2016-08-30
申请人： 宁波市鄞州伴佰精密机械有限公司
发明人： 沈振德
IPC分类号： C23F3/04
CPC分类号： C23F3/04
摘要： 本发明公开了 一种用于精密机械不锈钢零件的抛光液的制备方法，包括以下具体步骤：1）按以下重量百分比计的配比称取各原料：铝酸钙 2.5-3.6%；1，2，3- 苯并三唑 1.2-2.3％；十六烷基磺酸钠 2-3％；立方氮化硼2.5-4％；木质纤维素2.5-5％；碳化硅 3-6％；二甲基硅油 0.6-0.8％；余量为水；本发明方法制备的抛光液可有效改善不锈钢的表面光滑度及有效将不锈钢表面的氧化物及油污去除而不会影响或损伤不锈钢零件抛光后的表面平整度。
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公开(公告)号：CN106222662A
公开(公告)日：2016-12-14
申请号：CN201610699792.5
申请日：2016-08-22
申请人： 青岛文创科技有限公司
发明人： 苏建丽
摘要： 本发明公开了一种镀镁铝锌材抛光剂，以质量份计，包括如下原料：1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸钠5-14份、羟基乙叉二膦酸12-18份、硅酸铵6-10份、聚乙醇胺10-20份、丙三醇15--25份、去离子水60-70份。所述的镀镁铝锌材抛光剂的使用方法如下：1）将1-丁基-3-甲基咪唑六氟磷酸钠、羟基乙叉二膦酸、硅酸铵、聚乙醇胺、丙三醇依次加入去离子水中，温度为55-60℃，搅拌均匀；2）将待处理的镀镁铝锌材件表面进行砂纸磨平和喷砂处理；3）将步骤1）处理的镀镁铝锌材件放入冷却至55-60℃的抛光剂中，放入时间为15-30min；4）将镀镁铝锌材件取出，降温清洗后即可。
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公开(公告)号：CN106118495A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610545107.3
申请日：2016-07-12
申请人： 河北工业大学
摘要： 本发明涉及一种用于抑制铜钌阻挡层电偶腐蚀的碱性抛光液及其制备方法，所述抛光液中各组分按重量百分比计：H2O2 0.3％,β‑羟已基乙二胺0.5‑5％,乙二胺四乙酸‑四‑四羟乙基乙二胺0.1‑0.3％,FA/0型表面活性剂0.1‑5％，pH无机酸调节剂0.8‑1.5％,余量为去离子水；所述碱性抛光液的pH值为9‑10；通过混合方式获得，不需要加入抑制剂，易清洗，有效克服了Ru与Cu之间的电位差，减小了电偶腐蚀电流密度，解决了它们之间严重电偶腐蚀问题，Ru与Cu之间的电偶腐蚀得到了很好的抑制。
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公开(公告)号：CN106086897A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610419669.3
申请日：2016-06-14
申请人： 吴江创源新材料科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种不锈钢导光板抛光液及其制备方法和应用，抛光液按重量百分比包括二氧化硅溶胶(固含量10‑40%)；pH调节剂1‑5%；缓蚀剂0.05‑1%；光亮剂0.05‑0.5%；其它磨料0.01‑1%；余量为去离子水。本发明的抛光液是化学机械抛光，其中的碱性pH调节剂起了化学腐蚀的作用；而氧化硅磨料和其它磨料起机械摩擦的作用；缓蚀剂起一个缓冲的作用；三者相辅相成，最后形成原子层级的表面抛光效果；传统加工不锈钢导光板是用固结磨料抛光轮，以机械抛光为主，如果导光板面积较大，抛光轮的面积不可能全覆盖整个不锈钢导光板，因此整个不锈钢导光板的抛光不均匀；而我们的抛光液是在大盘直径1.4米，大盘上贴有聚氨酯抛光布的平面抛光，整个抛光过程中不锈钢导光板均匀抛光。
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公开(公告)号：CN105463466A
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201510806959.9
申请日：2015-11-22
申请人： 全椒县志宏机电设备设计有限公司
发明人： 谭志银
IPC分类号： C23F3/04
CPC分类号： C23F3/04
摘要： 本发明公开了一种用于不锈钢材质的机械设备的抛光液及其制备方法，该抛光液由以下按照重量份的原料组成：烷基酚聚氧乙烯醚5-18份、柠檬酸8-22份、乳化硅油25-35份、三氯乙酸1-8份、二乙基二硫代氨基甲酸钠5-15份。将三氯乙酸置入二乙基二硫代氨基甲酸钠中，微波处理得混合液A；将烷基酚聚氧乙烯醚、柠檬酸置入乳化硅油中，密封加热后再降温，加入混合液A，密封搅拌后，降至室温即得用于不锈钢材质的机械设备的抛光液。本发明润滑性能、价格低廉、冷却、浸透性能好、防腐效果好，适用不锈钢材质的机械设备的镜面抛光，能使其表面达到8k镜面光洁度。
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公开(公告)号：CN104745088A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201310727947.8
申请日：2013-12-25
申请人： 安集微电子(上海)有限公司
IPC分类号： C09G1/02 , C23F3/04 , H01L21/321 , H01L21/3105
CPC分类号： C09G1/02 , C23F3/04 , H01L21/3105 , H01L21/321
摘要： 本发明公开了一种用于阻挡层平坦化的化学机械抛光液，该抛光液含有研磨颗粒、腐蚀抑制剂、铜表面保护剂、络合剂、聚乙烯吡咯烷酮，氧化剂和水。本发明的化学机械抛光液可以满足阻挡层抛光过程中对各种材料的抛光速率和选择比要求，对半导体器件表面的缺陷有很强的矫正能力，快速实现平坦化，且可防止金属抛光过程中产生的局部和整体腐蚀，提高工作效率，降低生产成本。
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