发明公开
- 专利标题： 具有阳离子型表面活性剂及环糊精的加工钨的浆料
-
申请号： CN201680062494.3申请日： 2016-10-21
-
公开(公告)号： CN108350318A公开(公告)日： 2018-07-31
- 发明人: K.多克里 , 黄禾琳 , 富琳 , 李常怡
- 申请人： 嘉柏微电子材料股份公司
- 申请人地址： 美国伊利诺伊州
- 专利权人： 嘉柏微电子材料股份公司
- 当前专利权人： 嘉柏微电子材料股份公司
- 当前专利权人地址： 美国伊利诺伊州
- 代理机构： 北京市柳沈律师事务所
- 代理商 邢岳
- 优先权： 14/924,997 2015.10.28 US
- 国际申请： PCT/US2016/058036 2016.10.21
- 国际公布： WO2017/074800 EN 2017.05.04
- 进入国家日期： 2018-04-25
- 主分类号： C09G1/02
- IPC分类号： C09G1/02 ; C09G1/04 ; C09K3/14 ; B01J23/745
摘要：
描述了用于对含有钨的基板的表面进行化学-机械抛光(或平面化)的化学-机械抛光组合物(例如浆料)以及所述浆料的使用方法，所述组合物含有阳离子型表面活性剂及环糊精。
