具有多环结构的醚单体和聚合物,和使用其得到的光敏聚合物和抗蚀剂组合物

    公开(公告)号:CN1637027A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200410097396.2

    申请日:2004-11-29

    发明人: 金贤友 禹相均

    IPC分类号: C08F20/22 C08F16/18 G03F7/027

    摘要: 本发明提供多种单体,所述单体适用于通过包括至少一种多环烯基醚和一种α-氟化丙烯酸酯的自由基(阳离子)聚合制造光敏聚合物,所述光敏聚合物又可用于光致抗蚀剂组合物中。得到的光致抗蚀剂组合物表现出可接受的抗干法蚀刻性和透光率,其在光刻法中适用于多种光源,以制造精细的光致抗蚀剂图形,所述光源如KrF准分子激光器、ArF准分子激光器或F2准分子激光器。除了多环烯基醚和α-氟化丙烯酸酯之外,可向所述光敏聚合物引入另外的单体,所述单体包括一种或多种未取代的和取代的环状脂肪族化合物和杂环化合物,特别是二氢吡喃。然后可通过将这些不同的单体单元结合形成共聚物、三元共聚物和更多元的聚合物制造光敏聚合物,所述光敏聚合物的示例性实施方案通常由下式V表示。

    全氟化聚合物
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1550509A

    公开(公告)日:2004-12-01

    申请号:CN200410038792.8

    申请日:2004-04-15

    IPC分类号: C08F34/02 C09D137/00

    CPC分类号: C08F216/1416 C08F34/02

    摘要: 具备式(IA)所示结构的全氟间二氧杂环戊烯的无定形全氟化均聚物和共聚物:如右式其中R’F等于RF或ORF,其中RF是线性或支化的含1-5个碳原子的全氟烷基;X1和X2二者相同或不同,是F、CF3;所述聚合物含有摩尔百分含量≥95%的间二氧杂环戊烯,并具有下述性质的结合:玻璃化转变温度,180℃至195℃,由ASTM3418(DSC)方法测得;特性粘度,13cc/g至100cc/g,在30℃的温度下在全氟庚烷(GaldenD80)中由ASTM D2857-87方法测得。

    无定形的全氟化聚合物
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1542026A

    公开(公告)日:2004-11-03

    申请号:CN200410043001.0

    申请日:2004-04-15

    IPC分类号: C08F34/02 C08J5/18

    CPC分类号: C08F34/02

    摘要: 无定形全氟化聚合物在用于制备157nm下的透明薄膜中的用途,所述全氟化聚合物不含不稳定离子端基COF、COOH或它们的酰胺酸衍生物、酯类或盐类;所述聚合物由式(IA)的全氟间二氧杂环戊烯衍生而得的环状单元所形成,其中R’F等于RF或ORF,其中RF为具有1-5个碳原子的全氟烷基基团;X1和X2二者相同或不同,为F,CF3;所述聚合物任选地含有由任选含有氧原子的全氟化共聚单体衍生而得的单元;在该聚合物中,由式(IA)的全氟间二氧杂环戊烯衍生的环状单元的量≥95%mol。

    具有多环结构的醚单体和聚合物,和使用其得到的光敏聚合物和抗蚀剂组合物

    公开(公告)号:CN100494226C

    公开(公告)日:2009-06-03

    申请号:CN200410097396.2

    申请日:2004-11-29

    发明人: 金贤友 禹相均

    IPC分类号: C08F20/22 C08F16/18 G03F7/027

    摘要: 本发明提供多种单体,所述单体适用于通过包括至少一种多环烯基醚和一种α-氟化丙烯酸酯的自由基(阳离子)聚合制造光敏聚合物,所述光敏聚合物又可用于光致抗蚀剂组合物中。得到的光致抗蚀剂组合物表现出可接受的抗干法蚀刻性和透光率,其在光刻法中适用于多种光源,以制造精细的光致抗蚀剂图形,所述光源如KrF准分子激光器、ArF准分子激光器或F2准分子激光器。除了多环烯基醚和α-氟化丙烯酸酯之外,可向所述光敏聚合物引入另外的单体,所述单体包括一种或多种未取代的和取代的环状脂肪族化合物和杂环化合物,特别是二氢吡喃。然后可通过将这些不同的单体单元结合形成共聚物、三元共聚物和更多元的聚合物制造光敏聚合物,所述光敏聚合物的示例性实施方案通常由式V表示。

    全氟化聚合物
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100349931C

    公开(公告)日:2007-11-21

    申请号:CN200410038792.8

    申请日:2004-04-15

    IPC分类号: C08F34/02 C09D137/00

    CPC分类号: C08F216/1416 C08F34/02

    摘要: 具备式(IA)所示结构的全氟间二氧杂环戊烯的无定形全氟化均聚物和共聚物:其中R’F等于RF或ORF,其中RF是线性或支化的含1-5个碳原子的全氟烷基;X1和X2二者相同或不同,是F、CF3;所述聚合物含有摩尔百分含量≥95%的间二氧杂环戊烯,并具有下述性质的结合:玻璃化转变温度,180℃至195℃,由ASTM 3418(DSC)方法测得;特性粘度,13cc/g至100cc/g,在30℃的温度下在全氟庚烷(GaldenD80)中由ASTM D 2857-87方法测得。

    无定形的全氟化聚合物
    10.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100349932C

    公开(公告)日:2007-11-21

    申请号:CN200410043001.0

    申请日:2004-04-15

    IPC分类号: C08F34/02 C08J5/18

    CPC分类号: C08F34/02

    摘要: 无定形全氟化聚合物在用于制备157nm下的透明薄膜中的用途,所述全氟化聚合物不含不稳定离子端基COF、COOH或它们的酰胺酸衍生物、酯类或盐类;所述聚合物由式(IA)的全氟间二氧杂环戊烯衍生而得的环状单元所形成:其中R’F等于RF或ORF,其中RF为具有1-5个碳原子的全氟烷基基团;X1和X2二者相同或不同,为F,CF3;所述聚合物任选地含有由任选含有氧原子的全氟化共聚单体衍生而得的单元;在该聚合物中,由式(IA)的全氟间二氧杂环戊烯衍生的环状单元的量≥95%mol。