无定形全氟化聚合物在用于制备157nm下的透明薄膜中的用途，所述全氟化聚合物不含不稳定离子端基COF、COOH或它们的酰胺酸衍生物、酯类或盐类；所述聚合物由式(IA)的全氟间二氧杂环戊烯衍生而得的环状单元所形成：其中R’F等于RF或ORF，其中RF为具有1-5个碳原子的全氟烷基基团；X1和X2二者相同或不同，为F，CF3；所述聚合物任选地含有由任选含有氧原子的全氟化共聚单体衍生而得的单元；在该聚合物中，由式(IA)的全氟间二氧杂环戊烯衍生的环状单元的量≥95%mol。