公开(公告)号：CN105189377A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201480008373.1

申请日：2014-02-07

申请人： 贺利氏石英玻璃有限两合公司

发明人： 海因茨·费边 ,  斯蒂芬·托马斯

IPC分类号： C03B19/14

CPC分类号： C03B19/1415 ,  C03B19/14 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40

摘要： 用于制造钛掺杂合成石英玻璃的已知方法，包括以下工序步骤：(A)提供液态SiO2原材料(105)，其包含大于60重量％的聚烷基硅氧烷D4；(B)蒸发所述液态SiO2原材料(105)，以产生气态SiO2原料气(107)；(C)蒸发液态TiO2原材料(205)，以产生气态TiO2原料气(207)；(D)分别将SiO2原料气(107)和TiO2原料气转化为SiO2颗粒和TiO2颗粒；(E)将所述SiO2颗粒和TiO2颗粒沉积在沉积表面(160)上，同时形成钛掺杂的SiO2烟灰体(200)；(F)玻璃化所述钛掺杂的SiO2烟灰体，同时形成合成石英玻璃，其中所述合成石英玻璃的TiO2浓度在5重量％至11重量％之间。根据本发明的范围，液态SiO2原材料(105)包括至少一种由聚烷基硅氧烷D3构成的额外组分，其重量分数为mD3，以及一种由聚烷基硅氧烷D5构成的额外组分，其重量分数为mD5，重量比mD3/mD5的范围在0.01至1之间，并且所提供的液态SiO2原材料(105)被蒸发，同时保持重量比mD3/mD5，并且其至少99重量％被蒸发以形成气态SiO2原料气(107)。

公开(公告)号：CN101509988A

公开(公告)日：2009-08-19

申请号：CN200910126788.X

申请日：2009-02-12

申请人： 德雷卡通信技术公司

发明人： E·比罗夫 ,  A·帕斯图雷特 ,  L·加斯卡 ,  C·科莱

IPC分类号： G02B6/02 ,  G02F1/35 ,  H01S3/063 ,  H01S3/067 ,  G01N21/63

CPC分类号： H01S3/06754 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/58 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C13/045 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/40 ,  H01S3/06708 ,  H01S3/06716 ,  Y02P40/57

摘要： 一种放大器光纤，包括介质基体的中心纤芯，掺杂有至少一种元素，以确保在光纤中传送的光信号的放大；以及环绕中心纤芯的包层，适于限制在纤芯中传送的光信号。该光纤还包括金属纳米结构，用于在中心纤芯的介质基体中产生电子表面共振，所述电子表面共振的波长对应于该元素的激发能级，以确保放大。这样的光纤可以构成放大器光纤，激光器或光学传感器。

公开(公告)号：CN1265082A

公开(公告)日：2000-08-30

申请号：CN98807654.3

申请日：1998-07-07

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： J·L·布莱克韦尔 ,  富晓东 ,  D·W·豪特 ,  D·R·鲍尔斯

IPC分类号： C03B37/014 ,  C03B19/14 ,  C03B19/10

CPC分类号： B01J19/26 ,  B01J2219/00157 ,  B01J2219/00159 ,  C01B33/183 ,  C03B19/106 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1423 ,  C03B37/01413 ,  C03B37/0142 ,  C03B2201/06 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/14 ,  C03B2207/20 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/34 ,  C03B2207/42 ,  C03C1/00 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/06 ,  C03C2203/40 ,  Y02P40/57

摘要： 本发明涉及制造二氧化硅的方法。提供能通过热氧化分解转化为SiO2的不含卤素的含硅化合物液态原料,将该化合物转化为二氧化硅,从而形成细分散的无定形烟尘。该烟尘在转化和/或淀积部位汽化,在转化和/或淀积部位,通过用氧气、或氧气和如氮气的其它气体的混合物雾化该液体使其转化为二氧化硅。无定形烟尘淀积在接受器表面,在几乎淀积的同时或在淀积以后玻璃化成为熔凝二氧化硅玻璃体,如光导纤维预制品。

公开(公告)号：CN108698886A

公开(公告)日：2018-10-23

申请号：CN201680082012.0

申请日：2016-12-16

申请人： 贺利氏石英玻璃有限两合公司

发明人： M·欧特 ,  W·莱曼 ,  M·胡乃曼 ,  N·C·尼尔森 ,  N·R·惠比 ,  B·格罗曼 ,  A-G·柯佩巴尼 ,  T·凯瑟

IPC分类号： C03B20/00 ,  C03C3/06 ,  C03B37/012 ,  C03C1/02 ,  C03B19/10 ,  C03B17/04

CPC分类号： C01B33/181 ,  C01P2004/51 ,  C01P2004/61 ,  C01P2006/10 ,  C01P2006/11 ,  C01P2006/12 ,  C01P2006/80 ,  C03B17/04 ,  C03B19/106 ,  C03B19/1095 ,  C03B20/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/075 ,  C03B2207/32 ,  C03B2207/36 ,  C03C1/022 ,  C03C3/06 ,  C03C12/00 ,  C03C2201/02 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/26 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/54 ,  C03C2203/10 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/50 ,  G02B6/12

摘要： 本发明涉及一种制备石英玻璃体的方法，其包含方法步骤i.)提供二氧化硅颗粒，其中所述提供包含至少以下步骤：I.提供二氧化硅粉末；和II.加工所述二氧化硅粉末以获得二氧化硅颗粒，其中所述二氧化硅颗粒的粒径大于所述二氧化硅粉末，其中所述加工包含以下步骤：1)加工所述二氧化硅粉末以获得二氧化硅颗粒I，其中所述二氧化硅颗粒I具有第一碳含量wC(1)，2)用反应物处理所述二氧化硅颗粒I以获得具有另一碳含量wC(2)的二氧化硅颗粒II，其中所述另一碳含量wC(2)小于所述第一碳含量wC(1)，ii.)从所述二氧化硅颗粒制造玻璃熔体，和iii.)从至少一部分所述玻璃熔体制造石英玻璃体。本发明进一步涉及一种可通过此方法获得的石英玻璃体。本发明进一步涉及一种光导、一种照明体和一种成型体，其中的每一种可通过进一步加工所述石英玻璃体获得。本发明还涉及一种可以作为根据本发明的方法的中间产物获得的二氧化硅颗粒II。

公开(公告)号：CN103570225A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310466661.9

申请日：2013-07-09

申请人： 信越化学工业株式会社

发明人： 毎田繁 ,  大塚久利

IPC分类号： C03B20/00

CPC分类号： C03C3/04 ,  B29C33/38 ,  C03B19/1453 ,  C03B20/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/52 ,  Y02P40/57

摘要： 通过使提供硅的原料在氢氧焰中进行火焰水解来制备二氧化硅微细颗粒，将所述二氧化硅微细颗粒沉积在旋转石英玻璃靶上的同时使它们熔融并且玻璃化，从而形成合成石英玻璃锭，成型，退火，并且在至少600℃温度和最多5Pa压力下保持至少12小时进行脱氢处理。该合成石英玻璃具备高氦气渗透性并且适合行成纳米压印模具。

公开(公告)号：CN102067036A

公开(公告)日：2011-05-18

申请号：CN200980123604.2

申请日：2009-07-23

申请人： 株式会社尼康

发明人： 吉成俊雄 ,  安住美菜子 ,  木村幸泰

IPC分类号： G03F1/14 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03B19/1469 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/42 ,  C03C2201/50 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/42 ,  C03C2203/54 ,  G03F1/50

摘要： 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。

公开(公告)号：CN101933200A

公开(公告)日：2010-12-29

申请号：CN200980103858.8

申请日：2009-01-27

申请人： 阿尔卡特朗讯

发明人： 爱卡特里娜·布洛夫 ,  阿兰·帕斯图雷 ,  克里斯蒂安·西蒙尼奥 ,  克里斯蒂娜·科莱 ,  洛朗·加斯卡

IPC分类号： H01S3/067 ,  G02B6/02 ,  H01S3/0933 ,  C03B37/012

CPC分类号： G02B6/0229 ,  B82Y20/00 ,  B82Y30/00 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03B2201/58 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C13/045 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/30 ,  C03C2201/34 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/40 ,  H01S3/06716 ,  H01S3/06754 ,  H01S3/0933 ,  H01S3/094003 ,  H01S3/1608 ,  H01S3/169

摘要： 本发明涉及一种光波导，具体地是一种包括芯部的光纤，芯部由基于稀土离子掺杂二氧化硅的材料构成并且覆盖有光学包层。将纳米颗粒散布在芯部的材料中，至少一部分纳米颗粒是金属纳米颗粒。诸如特别是光放大器之类的光学器件包括光纤和泵浦源，光纤包括：芯部，由基于稀土离子掺杂二氧化硅的材料构成并且覆盖有光学包层；纳米颗粒，散布在芯部的材料中，至少一部分纳米颗粒是金属纳米颗粒；以及泵浦源传送电磁激励辐射，电磁激励辐射传播到芯部中。

公开(公告)号：CN1345295A

公开(公告)日：2002-04-17

申请号：CN00805475.4

申请日：2000-03-07

申请人： 康宁股份有限公司

发明人： E·M·德利索 ,  C·E·莱西 ,  D·L·玛拉蒂

IPC分类号： C03B37/012

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B37/01211 ,  C03B37/01446 ,  C03B2201/12 ,  C03B2203/26 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/40 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/46

摘要： 一种使用氟掺杂剂气体控制折射率的方法,它使用CF4作为掺杂剂气体,使用CF4掺杂粉末预制棒(12),掺杂的时间和温度足以使最靠近与CF4接触的表面具有低的氟掺杂量。预制棒(12)安装在手柄(11)上,该手柄熔合到手柄(14)上并且组件(20)在马弗炉膛(15)中加热。CF4如箭头(17)所示流过炉膛(15),它较好含有稀释气体如氦。在多个实例中任选的由氦组成的中央气体(16)可流过轴线孔(18)。多孔预制棒(12)的顶端可任选地包括毛细管(19)以防止炉膛气体(17)进入预制棒。

公开(公告)号：CN102087378B

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201010564715.1

申请日：2010-11-15

申请人： 德雷卡通信技术公司

发明人： 大卫·博易文 ,  阿兰·帕斯托特 ,  艾卡特丽娜·伯罗乌 ,  锡德里克·戈奈特

IPC分类号： G02B6/02 ,  G02F1/39 ,  C03B37/018

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B37/01838 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/31 ,  C03B2201/34 ,  C03B2201/36 ,  C03C4/0071 ,  C03C4/10 ,  C03C4/12 ,  C03C13/046 ,  C03C14/004 ,  C03C14/006 ,  C03C2201/31 ,  C03C2201/32 ,  C03C2201/3476 ,  C03C2201/3482 ,  C03C2201/3488 ,  C03C2201/36 ,  C03C2203/40 ,  H01S3/06729

摘要： 本发明涉及一种放大光纤，其包括适于传送和放大光信号的中央纤芯；以及包围中央纤芯并适于将传送的光信号限制在中央纤芯内的包层。中央纤芯由包含纳米粒子的纤芯基质形成，纳米粒子包括纳米粒子基质和稀土掺杂元素。纤芯基质还包括附加掺杂物。此外，中央纤芯中的稀土掺杂元素的浓度以重量计位于200ppm至1000ppm范围内，中央纤芯中的纳米粒子基质的浓度以重量计位于0.5wt％至5wt％范围内，优选地位于1.5wt％至4wt％范围内，并且中央纤芯中的附加掺杂物的浓度以重量计位于1wt％至10wt％范围内。

公开(公告)号：CN1226212C

公开(公告)日：2005-11-09

申请号：CN02801814.1

申请日：2002-04-19

申请人： 株式会社尼康

发明人： 小峰典男 ,  吉田明子 ,  神保宏树 ,  藤原诚志

IPC分类号： C03C3/06 ,  G02B1/00 ,  H01L21/027

CPC分类号： C03C4/0071 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1492 ,  C03B2201/07 ,  C03B2201/21 ,  C03B2201/23 ,  C03B2207/00 ,  C03C3/06 ,  C03C2201/11 ,  C03C2201/21 ,  C03C2201/23 ,  C03C2203/40 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/46 ,  C03C2203/52 ,  C03C2203/54 ,  G02B1/02 ,  G02B13/143 ,  G03F7/70241 ,  G03F7/70958

摘要： 本发明的石英玻璃元件是其中当其组成被表示为SiOx时，x不小于1.85，不大于1.95，其中其所包含的氢分子的浓度不小于1×1016分子/cm3，不大于5×1018分子/cm3，并且其中用1×104个ArF准分子激光脉冲、平均一个脉冲能量密度为2mJ/cm2照射结束之前立即测得的吸收系数A，与用该ArF准分子激光照射停止之后600秒的第二吸收系数B之间的差A-B，不大于0.002cm-1。当将该石英玻璃元件应用于投影曝光装置中的照明光学系统和/或投影光学系统时，能够实现均匀曝光，同时减小掩模原版表面以及晶片上曝光区域中的照度改变。