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公开(公告)号：CN104395248B
公开(公告)日：2019-08-16
申请号：CN201380034214.4
申请日：2013-06-27
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/00 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B19/1476 , C03B19/1492 , C03B23/0013 , C03B23/0496 , C03B32/005 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52
Abstract: SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104395248A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201380034214.4
申请日：2013-06-27
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/00 , C03B19/1453 , C03B19/1469 , C03B19/1476 , C03B19/1492 , C03B23/0013 , C03B23/0496 , C03B32/005 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03C3/04 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , C03C2203/52
Abstract: SiO2－TiO2系玻璃的制造方法通过直接法在靶上制造SiO2－TiO2系玻璃，其包括：第一工序，预先加热靶；第二工序，使规定长度的SiO2－TiO2系玻璃坯料在被预先加热了的靶上成长；在第一工序中对靶加热，以使得在第二工序中玻璃坯料的成长面的温度维持在规定的下限温度以上。
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公开(公告)号：CN102067036A
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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公开(公告)号：CN104703929B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201380048244.0
申请日：2013-09-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 吉成俊雄
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/08 , C03B19/1469 , C03B23/0493 , C03B32/005 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/80 , C03B2215/44 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , G03F1/60
Abstract: 一种SiO2-TiO2系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO2-TiO2系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在靶上成长出规定长度的SiO2-TiO2系玻璃坯锭，该坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着SiO2-TiO2系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加钛化合物的供给量相对于硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在第1工序中比率达到规定的值后，在将比率保持在恒定的情况下使SiO2-TiO2系玻璃坯锭成长。
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公开(公告)号：CN104703929A
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201380048244.0
申请日：2013-09-12
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 吉成俊雄
CPC classification number: C03B19/1415 , C03B11/08 , C03B19/1469 , C03B23/0493 , C03B32/005 , C03B2201/42 , C03B2207/70 , C03B2207/80 , C03B2215/44 , C03C3/06 , C03C2201/42 , C03C2203/44 , G03F1/60
Abstract: 一种SiO2-TiO2系玻璃的制造方法，其通过直接法在靶上制造SiO2-TiO2系玻璃，其中，该制造方法包括坯锭成长工序，即将硅化合物和钛化合物供给至氢氧火焰中进行火焰水解，由此在靶上成长出规定长度的SiO2-TiO2系玻璃坯锭，该坯锭成长工序具有：第1工序，其中，随着SiO2-TiO2系玻璃坯锭的成长而缓慢地增加钛化合物的供给量相对于硅化合物的供给量的比率直到达到规定的值；和第2工序，其中，在第1工序中比率达到规定的值后，在将比率保持在恒定的情况下使SiO2-TiO2系玻璃坯锭成长。
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公开(公告)号：CN102067036B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN200980123604.2
申请日：2009-07-23
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: C03B19/1469 , C03B19/1453 , C03B2201/07 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/30 , C03C2201/32 , C03C2201/42 , C03C2201/50 , C03C2203/40 , C03C2203/42 , C03C2203/54 , G03F1/50
Abstract: 本发明涉及光掩模用光学构件，其为在合成石英玻璃中添加了TiO2的光学构件。含有3.0～6.5重量％的TiO2。本发明还涉及光掩模用光学构件的制造方法，其在合成了石英玻璃铸锭后，成形为平板状的所定形状，之后，在氧化气氛中进行退火。通过退火使石英玻璃铸锭中的Ti3+变化成Ti4+，可降低Ti3+导致的光的吸收。由于对波长365nm的光之透射率为90％以上，因此即使在波长365nm附近也具有实用上充分的透射率，且与石英玻璃相比不易热膨胀。
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