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公开(公告)号：CN103991838A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201410056864.5
申请日：2014-02-19
Applicant: 法国原子能及替代能源委员会
Inventor： 埃里克·奥利耶
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00515 , B81C1/00206 , B81C1/00412 , B81C1/00626 , B81C2201/0114 , B81C2201/0115 , B81C2201/038
Abstract: 本发明提供了一种用于制造包括多孔表面的微米和/或纳米机械结构的方法。该方法包括由包含支撑基板和牺牲层的元件开始的以下步骤：a）形成第一层，所述第一层的至少一部分是多孔的，b）在所述第一层上形成提供结构的机械特性的由一种（或多种）材料制成的层，称为中间层，c）在所述中间层上形成第二层，所述第二层的至少一部分是多孔的，d）在由所述第一层、中间层和第二层构成的堆叠中形成所述结构，e）通过至少部分地去除所述牺牲层来剥离所述结构。
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公开(公告)号：CN104240731A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410437147.7
申请日：2009-11-13
Applicant: 希捷科技有限公司
CPC classification number: G11B5/855 , B81C1/00111 , B81C2201/0154 , B81C2201/038 , Y10T428/2457 , Y10T428/26
Abstract: 本发明涉及用于二嵌段聚合物的超薄对准壁。根据本发明的一种方法包括提供具有厚壁阵列的预规则化衬底、在预规则化衬底上沉积共形层、从厚壁和壁之间的间隔的顶部蚀刻共形层，并蚀刻厚壁同时留下共形层的薄壁。
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公开(公告)号：CN107406249A
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201580076079.9
申请日：2015-12-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81C99/008 , B81B7/0058 , B81B7/02 , B81B2201/0264 , B81C2201/038 , B81C2201/056 , G01L9/0005 , G01L19/144 , G01L19/147 , G01L1/14 , G01L9/12
Abstract: 一种MEMS装置，例如柔性MEMS压力传感器，通过将牺牲层（诸如光致抗蚀剂）设置在衬底上而形成。第一柔性支撑层设置在衬底上，且第一导电层设置在第一支撑层的一部分上。一种液体或凝胶分离部（诸如硅油）被设置在第一导电层的内部区域上。第二柔性支撑层封装第一导电层和分离部。设置在第二支撑层上的第二导电层至少部分地与第一导电层重叠并形成平行板电容器。第三柔性支撑层封装第二导电层和第二支撑层。将传感器浸泡在热水中将传感器从牺牲层释放。
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公开(公告)号：CN102325717A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN200980157357.8
申请日：2009-12-18
Applicant: 西尔特克特拉有限责任公司
Inventor： L.利希滕斯泰格
CPC classification number: B28D1/221 , B81C1/00634 , B81C2201/038 , H01L21/304 , H01L21/76251 , Y10T225/10
Abstract: 公开了一种印刷方法，其包括步骤：提供具有至少一个曝露表面的固态材料；施加辅助层到该曝露表面上来形成复合结构，该辅助层具有应力图案；使得该复合结构经历这样的条件，该条件促进了该固态材料沿着其中某深度的平面断裂；和除去该辅助层，以及随之一起除去在断裂深度处终止的固体材料层，所除去的固态材料层的曝露表面具有对应于所述应力图案的表面拓扑。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102216987A
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200980145649.X
申请日：2009-11-13
Applicant: 希捷科技有限公司
CPC classification number: G11B5/855 , B81C1/00111 , B81C2201/0154 , B81C2201/038 , Y10T428/2457 , Y10T428/26
Abstract: 方法包括提供具有厚壁阵列的预规则化衬底、在预规则化衬底上沉积共形层、从厚壁和壁之间的间隔的顶部蚀刻共形层，并蚀刻厚壁同时留下共形层的薄壁。
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公开(公告)号：CN103991838B
公开(公告)日：2017-06-06
申请号：CN201410056864.5
申请日：2014-02-19
Applicant: 法国原子能及替代能源委员会
Inventor： 埃里克·奥利耶
IPC: B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00515 , B81C1/00206 , B81C1/00412 , B81C1/00626 , B81C2201/0114 , B81C2201/0115 , B81C2201/038
Abstract: 本发明提供了一种用于制造包括多孔表面的微米和/或纳米机械结构的方法。该方法包括由包含支撑基板和牺牲层的元件开始的以下步骤：a）形成第一层，所述第一层的至少一部分是多孔的，b）在所述第一层上形成提供结构的机械特性的由一种（或多种）材料制成的层，称为中间层，c）在所述中间层上形成第二层，所述第二层的至少一部分是多孔的，d）在由所述第一层、中间层和第二层构成的堆叠中形成所述结构，e）通过至少部分地去除所述牺牲层来剥离所述结构。
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公开(公告)号：CN102325717B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN200980157357.8
申请日：2009-12-18
Applicant: 西尔特克特拉有限责任公司
Inventor： L.利希滕斯泰格
CPC classification number: B28D1/221 , B81C1/00634 , B81C2201/038 , H01L21/304 , H01L21/76251 , Y10T225/10
Abstract: 公开了一种印刷方法，其包括步骤：提供具有至少一个曝露表面的固态材料；施加辅助层到该曝露表面上来形成复合结构，该辅助层具有应力图案；使得该复合结构经历这样的条件，该条件促进了该固态材料沿着其中某深度的平面断裂；和除去该辅助层，以及随之一起除去在断裂深度处终止的固体材料层，所除去的固态材料层的曝露表面具有对应于所述应力图案的表面拓扑。
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公开(公告)号：CN102216987B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN200980145649.X
申请日：2009-11-13
Applicant: 希捷科技有限公司
CPC classification number: G11B5/855 , B81C1/00111 , B81C2201/0154 , B81C2201/038 , Y10T428/2457 , Y10T428/26
Abstract: 方法包括提供具有厚壁阵列的预规则化衬底、在预规则化衬底上沉积共形层、从厚壁和壁之间的间隔的顶部蚀刻共形层，并蚀刻厚壁同时留下共形层的薄壁。
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公开(公告)号：CN103827019A
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：CN201280047105.1
申请日：2012-08-27
Applicant: 高通MEMS科技公司
Inventor： 菲利普·贾森·斯蒂法诺 , 安娜·兰格洛瓦·隆德甘 , 叶夫根尼·彼得罗维奇·古塞夫 , 拉温德拉·瓦曼·谢诺伊
CPC classification number: B81C1/0038 , B81B2203/0392 , B81C2201/0107 , B81C2201/0188 , B81C2201/038 , C23C18/1653 , C25D5/10 , C25D5/18 , C25D5/48 , C25D7/00 , Y10T428/12493 , Y10T428/24612
Abstract: 本发明提供高表面区域堆叠层金属结构、装置、设备、系统及相关方法的实施方案。可从包含第一金属及第二金属的电镀槽来制造位于衬底上的多个堆叠层。经调制的电镀电流可沉积交替的第一金属层及合金层，所述合金层包含所述第一金属及所述第二金属。可通过选择性地蚀刻第一金属层的一些部分以界定堆叠层结构来形成合金层之间的间隙。堆叠层结构可在用以形成电容器、电感器、催化反应器、热转移管、非线性弹簧、过滤器、蓄电池及重金属净化器的应用中有用。
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