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公开(公告)号：CN106062933B
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201580011133.1
申请日：2015-01-21
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/66
CPC分类号： B24B49/105 , B24B37/013 , B24B49/02 , B24B49/04 , B24B49/14
摘要： 本发明描述了一种在抛光工艺期间控制抛光的方法等。所述方法包括以下步骤：在时刻t处从原位监测系统接收经历抛光的基板的导电层的厚度的测量thick(t)；在时刻t处接收与导电层相关联的所测量的温度T(t)；计算在所测量的温度T(t)下的导电层的电阻率ρT；使用计算出电阻率ρT调整厚度的测量以生成经调整的所测量的厚度；以及基于经调整的所测量的厚度来检测抛光终点或对抛光参数的调整。
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公开(公告)号：CN108381366A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810277376.5
申请日：2018-03-30
申请人： 广东知识城运营服务有限公司
发明人： 罗燕美
CPC分类号： B24B29/02 , B24B41/007 , B24B49/04 , B24B51/00 , B24B57/02
摘要： 本发明公开了一种抛光设备，包括操作台，所述操作台的侧表面设有PLC控制器，PLC控制器的输入端与外置电源的输出端电连接，操作台的内部设有第一电机，第一电机的输出轴穿出操作台的上表面并与抛光盘连接，操作台的侧边上表面设有安装架，安装架的下表面设有电动伸缩杆。本抛光设备，可以自动检测抛光零件的粗糙程度，不需要取下零件检测或肉眼观察，提升了工作效率，提高了检测精确度，第一电机用于带动抛光盘转动，对零件进行抛光，电动伸缩杆可以通过卡盘带动零件升降，测距传感器用于检测卡盘的移动距离，并通过PLC控制器智能控制电动伸缩杆的开关，适用于不同的零件，提高了智能化程度。
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公开(公告)号：CN107984374A
公开(公告)日：2018-05-04
申请号：CN201711242825.4
申请日：2017-11-30
申请人： 上海华力微电子有限公司
发明人： 陈智
IPC分类号： B24B37/005 , B24B49/04 , B24B49/12
CPC分类号： B24B37/005 , B24B49/04 , B24B49/12
摘要： 本发明公开了一种化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置，包括底座、固定于底座上表面的研磨垫和设置于所述研磨垫上方的研磨垫修整器，所述研磨垫修整器包括修整头、与修整头连接的修整器摇臂和与所述修整器摇臂连接的修整器转轴，还包括一小研磨头；一检测窗；一激光光源；一激光探测器。以及一种采用本发明的化学机械抛光研磨速率的实时侦测装置的实时侦测方法。本发明利用小晶圆结合终点检测的方法测量研磨速率，可在生产的过程中研磨或修整研磨垫时测量速率，避免停机测量对产能的浪费，而且测量的速率可用于下一片即将研磨的产品片，滞后较小，所测速率更能准确反映实际产品片速率的快慢，从而得到准确的研磨时间和厚度。
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公开(公告)号：CN107052944A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710071213.7
申请日：2017-02-09
申请人： 阿克隆特种机械公司
CPC分类号： B29C37/02 , B24B5/366 , B24B49/12 , B29D30/0681 , B29K2021/00 , B29K2105/258 , B29L2030/002 , B24B9/20 , B24B27/0076 , B24B41/06 , B24B47/12 , B24B49/04
摘要： 本发明公开了一种用于从轮胎去除飞边的装置，其包括激光传感器，该激光传感器在轮胎旋转时沿着轮胎的胎肩和胎面区域的外轮廓移动以检测轮胎的轮廓。当轮胎不旋转时，第一砂磨组件通过根据检测到的胎面区域轮廓水平和垂直地移动以从胎面区域去除飞边。第二砂磨组件根据检测到的胎肩区域轮廓在轮胎旋转时通过水平、垂直和枢转地移动以从胎肩区域去除飞边。
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公开(公告)号：CN107009228A
公开(公告)日：2017-08-04
申请号：CN201710231970.6
申请日：2017-04-11
申请人： 东南大学
摘要： 本发明公开了一种曲轴随动磨削在线测量仪，包括测量仪底座，在所述测量仪底座上滑动地支承有摆臂支座，在摆臂支座上铰支有测量摆臂，在油缸支架顶端与测量摆臂之间连接有摆臂油缸；在测量摆臂的伸出端部固定设置有中心固定齿轮，在测量摆臂的伸出端还安装有可摆动的跟随摆动架，安装于跟随摆动电机输出轴端的行星摆动齿轮与中心固定齿轮相啮合；测具跟随摆臂上固定安装有测具支架，该测具支架上安装有两块测量卡块和一位移传感器，两测量卡块分别位于V形基准面的两斜面上，位移传感器位于V形基准面的对称线上，该V形基准面的斜面夹角α=68°—72°。本发明不仅能够实现实时在线连接测量，而且检测灵敏和加工精度高。
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公开(公告)号：CN106881667A
公开(公告)日：2017-06-23
申请号：CN201710204767.X
申请日：2017-03-30
申请人： 佛山市业鹏机械有限公司
发明人： 何家悦
摘要： 本发明公开了一种钻石底面研磨角度调整装置，其特征在于，它包括设置在钻石研磨工作头上的夹头组件、微测头千分尺、固定座、连接座和微测头千分尺顶座，固定座外接悬置钻石研磨工作头的悬臂组件，连接座与固定座铰接，固定座与夹头组件连接固定，微测头千分尺铰接于连接座上，微测头千分尺顶座固定于夹头组件上，微测头千分尺的端部与微测头千分尺顶座活动顶压配合；利用三角函数原理，以1个锐角交点作为旋转中心，通过微测头千分尺调整锐角对边长度控制研磨角度。本发明结构简单，使用调节方便。
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公开(公告)号：CN106715048A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201580052164.1
申请日：2015-07-17
申请人： 富士胶片株式会社
IPC分类号： B24B13/005 , B24B41/06
CPC分类号： B24B13/01 , B24B13/005 , B24B41/06 , B24B49/04 , B24B49/06
摘要： 本发明提供一种能够制造具有优异的光学透射性能的透镜的透镜制造方法、具有优异的光学透射性能的透镜及这种透镜的制造中所使用的透镜保持装置。透镜制造方法包括将透镜保持在透镜保持工具的保持工序及对所保持的透镜的加工对象面进行加工的加工工序，其中，加工对象面的背面以第1面形状误差来加工成非平面形状，透镜保持工具的透镜保持面以小于第1面形状误差的第2面形状误差来加工成与非平面形状相同的形状，在保持工序中，通过使背面与保持面顺应地面接触，对透镜的形状进行矫正以使背面沿着保持面，在加工工序中，以通过保持工序已进行矫正的状态对加工对象面进行加工。
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公开(公告)号：CN104023914B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201280064388.0
申请日：2012-12-19
申请人： NTN株式会社
摘要： 本发明提供一种磨床的带有测定异常判断功能的加工直径测定装置，其在加工时的直径尺寸测定中，可通过区分异物啮入等异常导致的尺寸确定装置的输出变化与修整时等的输出变化，由此正确地进行异常检测，即使在细微的异物啮入等造成的测定异常的情况下，仍可进行检测。该加工直径测定装置包括尺寸确定装置(2)，其具有检测工件(W)中的在直径方向离开的两个部位的测定头(2X、2Y)。根据这些测定头(2X、2Y)的测定值，通过尺寸运算机构(32)，对直径尺寸进行运算。针对异常检测，通过测定异常判断机构(34)求出两个测定头(2X、2Y)的测定值(G1、G2)的差，在该测定值差(Δα)脱离设定允许范围时，判断为发生测定异常。
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公开(公告)号：CN106625103A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201710126463.6
申请日：2017-03-03
申请人： 刘琳
发明人： 刘琳
摘要： 本发明公开了一种仿型石材磨边机构，包括机架(1)、拖板移动装置(2)、磨具旋转装置(3)，所述拖板移动装置的支撑架(5)通过纵向螺杆(8)与升降电机(9)相连，所述拖板移动装置的横向螺杆(6)与移动电机(7)相连；在所述支撑架上通过调节座(13)装有电光眼(14)，在所述机架上、并在该电光眼的上方处装有靠模(15)，旋转电机、升降电机、移动电机、电光眼分别与微电脑控制装置(16)相连。本发明根据电光眼感应到靠模的外形，由微电脑控制装置控制升降电机、移动电机工作，根据靠模形状要求由磨具对石材实现精确磨削。本发明结构简单可行、操作方便灵活，提高了磨削工作的稳定性和精准性，提升了石材的磨边成型质量。
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