用于大型基板的水平湿式化学处理的设备的处理模块及其处理方法和用途

    公开(公告)号:CN106030777B

    公开(公告)日:2019-01-01

    申请号:CN201580008807.2

    申请日:2015-10-30

    IPC分类号: H01L21/67

    摘要: 本发明涉及一种用于对大型基板、特别地玻璃基板进行水平湿式化学处理的设备的处理模块,其包括:外壳,其带有外壳盖;传输装置,其包括用于水平处理大型基板的多个传输元件,其中处理模块进一步包括在处理模块的入口处布置在大型基板的传输高度上方的至少第一液体喷嘴和至少气体喷嘴,以及在处理模块的出口处布置在大型基板的传输高度上方的、用于累积处理模块内的处理液体的至少另一第一液体喷嘴和至少另一气体喷嘴,其中各气体喷嘴比相应的第一液体喷嘴更靠外地布置;至少液体堰,其在大型基板的传输高度下方布置在各第一液体喷嘴下方;其中处理模块进一步包括用于调整处理模块的传输装置和液体堰的至少一调整装置。本发明进一步涉及一种用于在尤其包括这种处理模块的水平设备中处理大型基板的方法。

    用于垂直沉积电镀金属的基板保持器

    公开(公告)号:CN107109682A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201580068840.4

    申请日:2015-12-16

    IPC分类号: C25D17/06 C25D17/00

    摘要: 本发明涉及一种用于将电镀金属、优选地铜垂直沉积在待处理基板上的基板保持器,所述基板保持器包括第一基板保持器部件和第二基板保持器部件,其中两个基板保持器部件都包括内部含金属部分和外部非金属部分,其特征在于,所述基板保持器还包括:i)在每个基板保持器部件中的至少一个悬置元件,用于将基板保持器机械地连接至处理容器,ii)在每个基板保持器部件中的至少一个第一密封元件,所述第一密封元件被布置在待处理基板和相应的基板保持器部件之间,iii)用于整个基板保持器的至少一个第二密封元件,所述第二密封元件被布置在基板保持器的内部含金属部分和基板保持器的外部非金属部分之间,iv)至少一个紧固系统,用于将两个基板保持器部件可拆卸地彼此紧固以保持待处理基板,v)在每个基板保持器部件中的至少一个第一接触元件,用于将电流从外部源通过悬置元件传送到至少第二接触元件,以及vi)在每个基板保持器部件中的至少一个第二接触元件,用于将电流从至少第一接触元件传送到待处理基板。

    用来在衬底上电镀金属的方法及设备

    公开(公告)号:CN107109677A

    公开(公告)日:2017-08-29

    申请号:CN201580064963.0

    申请日:2015-12-02

    IPC分类号: C25D5/18 C25D7/12

    摘要: 为了改善衬底表面上和孔中的金属沉淀的均匀性,提供了一个在平坦衬底上电镀金属的方法。所述方法包含下列步骤:(a)提供衬底P,其具有相反的第一衬底表面P1和第二衬底表面P2、包含至少一个反电极120、130;220、230的电镀设备100、200以及电镀液L;(b)使各衬底P以及至少一个反电极120、130;220、230与电镀液L接触;(c)通过向第一衬底表面P1馈送至少一个均由连续的第一正向‑反向脉冲周期组成的第一正向‑反向脉冲电流序列以及向第二衬底表面P2馈送至少一个均由连续的第二正向‑反向脉冲周期组成的第二正向‑反向脉冲电流序列,使所述衬底P的第一衬底表面P1和第二衬底表面P2电极化,以实现将金属沉积到第一衬底表面P1和第二衬底表面P2上;(d)在连续第一正向‑反向脉冲周期的每个周期中,所述至少一个第一正向‑反向脉冲电流序列中的每一个至少包括在第一正向脉冲持续时间tf1期间在第一衬底表面P1处产生第一阴极电流的第一正向脉冲以及在第一反向脉冲持续时间tr1期间在第一衬底表面P1处产生第一阳极电流的第一反向脉冲,所述第一正向脉冲具有第一正向脉冲峰值电流if1,所述第一反向脉冲具有第一反向脉冲峰值电流ir1,并且在连续第二正向‑反向脉冲周期的每个周期中,所述至少一个第二正向‑反向脉冲电流序列中的每一个至少包括在第二正向脉冲持续时间tf2期间在第二衬底表面P2处产生第二阴极电流的第二正向脉冲以及在第二反向脉冲持续时间tr2期间在第二衬底表面处产生第二阳极电流的第二反向脉冲,所述第二正向脉冲具有第二正向脉冲峰值电流if2,所述第二反向脉冲具有第二反向脉冲峰值电流ir2;其中所述第一和第二正向脉冲还叠加上有相应的第一或第二叠加阴极脉冲,所述相应的第一或第二叠加阴极脉冲具有小于所述相应的第一或第二正向脉冲持续时间tf1、tf2的相应的第一或第二叠加阴极脉冲持续时间tc1、tc2。