公开(公告)号：CN108291307B

公开(公告)日：2020-02-14

申请号：CN201680069145.4

申请日：2016-11-28

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 安德烈亚斯·韦尔特 ,  克里斯托夫·舒恩特伦克 ,  托马斯·贝克 ,  格哈德·施泰因贝格尔 ,  霍尔格·贝拉 ,  海科·布鲁纳 ,  贝恩德·弗勒泽

IPC分类号： C23C18/44 ,  H01L21/288 ,  H05K3/24

摘要： 本发明涉及用于通过化学浸镀将钯层沉积到基板上的水性镀浴组合物和方法。根据本发明的水性镀浴组合物包含钯离子的源、钯离子的还原剂和不饱和化合物。根据本发明的水性镀浴组合物在将钯的沉积速率保持在期望的满意值的同时，由于所述不饱和化合物而相对于不希望的分解具有改善的稳定性。所述水性镀浴组合物也具有延长的使用寿命。本发明的不饱和化合物使得能够在所述浴的使用寿命期间将沉积速率调节至满意范围并且使得能够在较低温度下化学沉积钯层。

公开(公告)号：CN108291306A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680069121.9

申请日：2016-11-28

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 安德烈亚斯·韦尔特 ,  克里斯托夫·舒恩特伦克 ,  托马斯·贝克 ,  格哈德·施泰因贝格尔 ,  霍尔格·贝拉 ,  海科·布鲁纳 ,  斯文·吕克布罗德

IPC分类号： C23C18/44 ,  H01L21/288 ,  H05K3/24

摘要： 本发明涉及用于通过化学浸镀在基板上沉积钯层的水性镀浴组合物和方法。根据本发明的水性镀浴组合物包含钯离子的源、用于钯离子的还原剂和含氰化物基团的芳香族化合物。根据本发明的水性镀浴组合物在将钯的沉积速率保持在期望的满意值的同时，由于所述含氰化物基团的芳香族化合物而相对于不希望的分解具有改善的稳定性。所述水性镀浴组合物还具有延长的使用寿命。本发明的含氰化物基团的芳香族化合物使得能够在所述浴的使用寿命期间将所述沉积速率调节到满意范围，并使得能够在较低温度下化学沉积钯层。

公开(公告)号：CN1232677C

公开(公告)日：2005-12-21

申请号：CN02813582.2

申请日：2002-06-17

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 托马斯·贝克 ,  汉斯-于尔根·施赖埃尔 ,  斯文·兰普雷希特 ,  罗尔夫·舍德尔 ,  凯-延斯·马特杰特

IPC分类号： C23C18/16

CPC分类号： C23C18/1617

摘要： 本发明涉及一种沉积金属层的方法及含高氧化态金属离子的溶液的再生方法。为了再生由金属沉积所消耗的锡电镀液的锡离子，在现有技术中已知将电镀液带至金属锡上以导致锡(II)离子形成。然而，因此包含于再生浴中的锡量缓慢并连续地增加。对此问题的解决方式是使用电解再生电池，其提供至少一个辅助阴极及至少一个辅助阳极。用于再生的锡从溶液中被电解沉积到电解再生电池中的至少一个辅助阴极上。将该溶液带至用于再生的锡上，以减少锡(IV)离子形成锡(II)离子。

公开(公告)号：CN107109653B

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：CN201580068788.2

申请日：2015-12-17

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 托马斯·贝克 ,  格哈德·施泰因贝格尔 ,  安德烈亚斯·韦尔特

IPC分类号： C23C18/44

摘要： 本发明涉及用于通过化学镀将钯层沉积在衬底上的水性镀浴组合物和方法。根据本发明的水性镀浴组合物包含钯离子源、用于钯离子的还原剂和醛化合物。所述水性镀浴组合物对钯具有高的沉积速率，并同时维持镀浴稳定性。所述水性镀浴组合物还具有延长的寿命。本发明的醛化合物使得能够在镀浴寿命内将沉积速率调节到恒定范围，并使得能够在较低温度下化学沉积钯层。本发明的醛化合物活化沉积速率低的化学钯镀浴并再活化老化的化学钯镀浴。

公开(公告)号：CN108291306B

公开(公告)日：2019-12-27

申请号：CN201680069121.9

申请日：2016-11-28

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 安德烈亚斯·韦尔特 ,  克里斯托夫·舒恩特伦克 ,  托马斯·贝克 ,  格哈德·施泰因贝格尔 ,  霍尔格·贝拉 ,  海科·布鲁纳 ,  斯文·吕克布罗德

IPC分类号： C23C18/44 ,  H01L21/288 ,  H05K3/24

摘要： 本发明涉及用于通过化学浸镀在基板上沉积钯层的水性镀浴组合物和方法。根据本发明的水性镀浴组合物包含钯离子的源、用于钯离子的还原剂和含氰化物基团的芳香族化合物。根据本发明的水性镀浴组合物在将钯的沉积速率保持在期望的满意值的同时，由于所述含氰化物基团的芳香族化合物而相对于不希望的分解具有改善的稳定性。所述水性镀浴组合物还具有延长的使用寿命。本发明的含氰化物基团的芳香族化合物使得能够在所述浴的使用寿命期间将所述沉积速率调节到满意范围，并使得能够在较低温度下化学沉积钯层。

公开(公告)号：CN107109653A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580068788.2

申请日：2015-12-17

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 托马斯·贝克 ,  格哈德·施泰因贝格尔 ,  安德烈亚斯·韦尔特

IPC分类号： C23C18/44

摘要： 本发明涉及用于通过化学镀将钯层沉积在衬底上的水性镀浴组合物和方法。根据本发明的水性镀浴组合物包含钯离子源、用于钯离子的还原剂和醛化合物。所述水性镀浴组合物对钯具有高的沉积速率，并同时维持镀浴稳定性。所述水性镀浴组合物还具有延长的寿命。本发明的醛化合物使得能够在镀浴寿命内将沉积速率调节到恒定范围，并使得能够在较低温度下化学沉积钯层。本发明的醛化合物活化沉积速率低的化学钯镀浴并再活化老化的化学钯镀浴。

公开(公告)号：CN108291307A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201680069145.4

申请日：2016-11-28

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 安德烈亚斯·韦尔特 ,  克里斯托夫·舒恩特伦克 ,  托马斯·贝克 ,  格哈德·施泰因贝格尔 ,  霍尔格·贝拉 ,  海科·布鲁纳 ,  贝恩德·弗勒泽

IPC分类号： C23C18/44 ,  H01L21/288 ,  H05K3/24

摘要： 本发明涉及用于通过化学浸镀将钯层沉积到基板上的水性镀浴组合物和方法。根据本发明的水性镀浴组合物包含钯离子的源、钯离子的还原剂和不饱和化合物。根据本发明的水性镀浴组合物在将钯的沉积速率保持在期望的满意值的同时，由于所述不饱和化合物而相对于不希望的分解具有改善的稳定性。所述水性镀浴组合物也具有延长的使用寿命。本发明的不饱和化合物使得能够在所述浴的使用寿命期间将沉积速率调节至满意范围并且使得能够在较低温度下化学沉积钯层。

公开(公告)号：CN1524132A

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：CN02813582.2

申请日：2002-06-17

申请人： 埃托特克德国有限公司

发明人： 托马斯·贝克 ,  汉斯-于尔根·施赖埃尔 ,  斯文·兰普雷希特 ,  罗尔夫·舍德尔 ,  凯-延斯·马特杰特

IPC分类号： C23C18/16

CPC分类号： C23C18/1617

摘要： 本发明涉及一种沉积金属层的方法及含高氧化态金属离子的溶液的再生方法。为了再生由金属沉积所消耗的锡电镀液的锡离子，在现有技术中已知将电镀液带至金属锡上以导致锡(II)离子形成。然而，因此包含于再生浴中的锡量缓慢并连续地增加。对此问题的解决方式是使用电解再生电池，其提供至少一个辅助阴极及至少一个辅助阳极。用于再生的锡从溶液中被电解沉积到电解再生电池中的至少一个辅助阴极上。将该溶液带至用于再生的锡上，以减少锡(IV)离子形成锡(II)离子。