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公开(公告)号:CN100347333C
公开(公告)日:2007-11-07
申请号:CN02819627.9
申请日:2002-09-30
Applicant: TOTO株式会社 , 株式会社东京大学TLO
CPC classification number: C01B13/145 , C01P2002/01 , C01P2004/03 , C23C8/02 , C23C8/36 , C23C14/08 , C23C14/083 , C23C14/086 , C23C14/5826 , C23C18/14 , C23C26/00 , H01L21/02175 , H01L21/02186 , H01L21/02197 , H01L21/02266 , H01L21/02282 , H01L21/02337 , H01L21/0234 , H01L21/02348 , H01L21/02356 , H01L21/31604 , H01L21/31616 , H01L21/31691 , H01L31/022466 , H01L31/1884
Abstract: 本发明提供一种形成主要由非晶质构成的金属氧化物膜后,作为后处理,在温度180℃以下,在高频电场中,暴露于低温等离子体中,从而制造结晶性的金属氧化物薄膜的方法;以及采用该方法制造的结晶性金属氧化物薄膜。根据该制造方法,不伴有积极的加热处理,可在低温下在基材上形成致密而均匀的结晶金属氧化物薄膜,因此即使对于耐热性比较低的基材,也不会损害基材的特性,能够形成所需特性的金属氧化物薄膜。
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公开(公告)号:CN1626280A
公开(公告)日:2005-06-15
申请号:CN200410076670.8
申请日:2004-06-18
Applicant: 富士通株式会社 , 株式会社东京大学TLO
CPC classification number: C03C17/22 , C03C17/25 , C03C2204/02 , C03C2217/212 , C03C2217/228 , C03C2217/23 , C03C2217/24 , C03C2217/28 , C03C2217/71 , C03C2218/111 , C03C2218/113 , Y10T428/12729
Abstract: 一种具有光催化活性的含磷灰石的薄膜通过一种方法来制备,该方法包括以下步骤:制备含有含Ca化合物和含P化合物的液体混合物;使液体混合物反应以制备磷灰石前体组合物;将磷灰石前体组合物施加到基底上;以及干燥所施加的磷灰石前体组合物。该方法在干燥步骤之后还包含加热步骤。含磷灰石前体组合物优选为溶胶状。
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公开(公告)号:CN100378038C
公开(公告)日:2008-04-02
申请号:CN200510072941.7
申请日:1994-12-09
Applicant: TOTO株式会社
Abstract: 本发明的多功能材料分为在基材1的表面上直接设置具有光催化功能的光催化剂层2的多功能材料和通过粘结剂层6在基材1的表面上间接设置光催化剂层2的多功能材料;构成光催化剂层2的光催化剂颗粒的结合形态,有利用表面能结合和利用固相烧结结合的情况,此外光催化剂层2的结构,有在光催化剂颗粒间的间隙中填充细小颗粒的结构和不填充细小颗粒的结构,还有在光催化剂颗粒的表面固定Ag 和 Pt 等金属的结构和不固定 Ag 和 Pt 等金属的结构。
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