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公开(公告)号：CN101533224A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN200910126173.7
申请日：2003-10-23
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由通式(I－1)表示的重复单元(1－1)、以及、由通式(I－2)表示的重复单元(1－2)或由通式(I－5)表示的重复单元(1－5)，为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕感放射线性酸发生剂；其中，上述树脂中没有内酯环，在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔％的情况下，上述重复单元(1－1)的含有比例为40～90摩尔％。
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公开(公告)号：CN1708728A
公开(公告)日：2005-12-14
申请号：CN200380102382.9
申请日：2003-10-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由下述通式(I－1)表示的重复单元(1－1)的树脂、〔B〕感放射线性酸发生剂(1－(4－正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟－正丁磺酸酯等)。进而，还可以含有〔C〕酸扩散控制剂(苯基苯并咪唑等)。
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公开(公告)号：CN1708728B
公开(公告)日：2011-03-16
申请号：CN200380102382.9
申请日：2003-10-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/039
Abstract: 本发明提供一种感放射线性树脂组合物，该树脂组合物在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的感放射线性树脂组合物含有〔A〕含有由下述通式(I-1)表示的重复单元(1-1)的树脂、〔B〕感放射线性酸发生剂(1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟-正丁磺酸酯等)。进而，还可以含有〔C〕酸扩散控制剂(苯基苯并咪唑等)。
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公开(公告)号：CN1780813B
公开(公告)日：2010-09-22
申请号：CN200480011348.5
申请日：2004-02-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07C309/23 , C07C381/12 , C07D207/46 , C08K5/41 , C08L101/12 , G03F7/004
CPC classification number: C07C309/19 , C07C309/17 , C07C309/23 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , C07D207/46 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/0757 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/115 , Y10S430/122 , Y10S430/126
Abstract: 本发明提供一种新型产酸剂，其在可燃性和人体内积累方面没有问题，可产生高酸度、高沸点、在抗蚀涂膜内的扩散长度适度短的酸，而且可形成对掩模图案密度的依赖性低而平滑度好的抗蚀图；由该产酸剂产生的磺酸；适合在所述产酸剂的合成中作为原料的磺酰卤化合物；和包含所述产酸剂的辐射敏感树脂组合物。所述产酸剂有通式(I)所示结构，其中R1为一价取代基如烷氧羰基、烷磺酰基、或烷氧磺酰基；R2至R4均为氢或烷基；k为0或更大的整数，n为0至5的整数。所述辐射敏感树脂组合物中，正性的除上述产酸剂之外还包含有可酸解离基团的树脂，而负性的除所述产酸剂之外还包含碱溶性树脂和交联剂。
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公开(公告)号：CN100430828C
公开(公告)日：2008-11-05
申请号：CN02802574.1
申请日：2002-07-25
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/36 , C08L101/00 , H01L21/312 , H01L23/12
CPC classification number: H05K1/162 , G03F7/001 , G03F7/0045 , G03F7/0047 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0757 , G03F7/26 , G03F7/38 , H01L21/02126 , H01L21/02186 , H01L21/02282 , H01L21/02343 , H01L21/02348 , H01L21/312 , H05K1/0286 , H05K2201/0116 , H05K2201/0187 , H05K2203/107 , H05K2203/1163 , Y10S430/106
Abstract: 一种放射线敏感性电容率变化性组合物，含有(A)分解性化合物、(B)非分解性化合物、(C)感放射线分解剂和(D)稳定剂。该组合物通过简便的方法可以进行材料的电容率变化，同时该变化的电容率差为充分大的数值，而且不因随后的使用条件变化，可以给予稳定的电容率图案或光学材料。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113544191A
公开(公告)日：2021-10-22
申请号：CN202080017248.2
申请日：2020-02-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可制造减少高频电路中的电信号的传输损失、且平滑性优异的电路基板的高频电路用层叠体。本发明的高频电路用层叠体中，玻璃化温度为150℃以上的膜层与树脂层相接并层叠，所述树脂层含有具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的聚合物，所述树脂层的弹性系数为0.1GPa～3.0GPa，在23℃下所述树脂层的频率10GHz下的介电损耗正切为0.001～0.01，且相对介电常数为2.0～3.0。
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公开(公告)号：CN111108816A
公开(公告)日：2020-05-05
申请号：CN201880058828.9
申请日：2018-09-10
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种平滑性优异、且可减少高频的电信号的传输损失的电路基板。本发明的电路基板的特征在于：包括配线部与非配线部，所述配线部具有金属层及树脂层，所述非配线部具有树脂层，在23℃下所述树脂层的频率10GHz下的相对介电常数为2～3，在将所述配线部中的厚度的最大值设为A(μm)、所述非配线部中的厚度的最小值设为B(μm)时，满足(A-B)/B≤0.1的关系。
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公开(公告)号：CN111093975A
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201880059040.X
申请日：2018-09-10
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可制造减少高频电路中的电信号的传输损失、且平滑性优异的电路基板的高频电路用层叠体。本发明的高频电路用层叠体的特征在于：金属层与树脂层相接并进行层叠，所述树脂层的弹性系数为0.1GPa～3GPa，在23℃下所述树脂层的频率10GHz下的介电损耗正切为0.001～0.01，且相对介电常数为2～3。
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公开(公告)号：CN1780813A
公开(公告)日：2006-05-31
申请号：CN200480011348.5
申请日：2004-02-20
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07C309/23 , C07C381/12 , C07D207/46 , C08K5/41 , C08L101/12 , G03F7/004
CPC classification number: C07C309/19 , C07C309/17 , C07C309/23 , C07C381/12 , C07C2602/42 , C07C2603/86 , C07D207/46 , G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , G03F7/0757 , Y10S430/106 , Y10S430/111 , Y10S430/115 , Y10S430/122 , Y10S430/126
Abstract: 本发明提供一种新型产酸剂，其在可燃性和人体内积累方面没有问题，可产生高酸度、高沸点、在抗蚀涂膜内的扩散长度适度短的酸而且可形成对掩模图案密度的依赖性低而平滑度好的抗蚀图；由该产酸剂产生的磺酸；适合在所述产酸剂的合成中作为原料的磺酰卤化合物；和包含所述产酸剂的辐射敏感树脂组合物。所述产酸剂有通式(I)所示结构，其中R1为一价取代基如烷氧羰基、烷磺酰基、或烷氧磺酰基；R2至R4均为氢或烷基；k为0或更大的整数，n为0至5的整数。所述辐射敏感树脂组合物中，正性的除上述产酸剂之外还包含有可酸解离基团的树脂，而负性的除所述产酸剂之外还包含碱溶性树脂和交联剂。
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公开(公告)号：CN113544191B
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202080017248.2
申请日：2020-02-19
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种可制造减少高频电路中的电信号的传输损失、且平滑性优异的电路基板的高频电路用层叠体及其制造方法、柔性印刷基板、B阶片、以及层叠体卷绕体。本发明的高频电路用层叠体中，玻璃化温度为150℃以上的膜层与树脂层相接并层叠，所述树脂层含有具有由下述通式(1‑1)、通式(1‑2)及通式(1‑3)所表示的重复单元中的至少一种重复单元的聚合物，所述树脂层的弹性系数为0.1GPa～3.0GPa，在23℃下所述树脂层的频率10GHz下的介电损耗正切为0.001～0.01，且相对介电常数为2.0～3.0。#imgabs0#
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