公开(公告)号：CN100430828C

公开(公告)日：2008-11-05

申请号：CN02802574.1

申请日：2002-07-25

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 西村功 ,  别所信夫 ,  熊野厚司 ,  山田宪司

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/36 ,  C08L101/00 ,  H01L21/312 ,  H01L23/12

CPC classification number: H05K1/162 ,  G03F7/001 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/0047 ,  G03F7/039 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/0757 ,  G03F7/26 ,  G03F7/38 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02186 ,  H01L21/02282 ,  H01L21/02343 ,  H01L21/02348 ,  H01L21/312 ,  H05K1/0286 ,  H05K2201/0116 ,  H05K2201/0187 ,  H05K2203/107 ,  H05K2203/1163 ,  Y10S430/106

Abstract: 一种放射线敏感性电容率变化性组合物，含有(A)分解性化合物、(B)非分解性化合物、(C)感放射线分解剂和(D)稳定剂。该组合物通过简便的方法可以进行材料的电容率变化，同时该变化的电容率差为充分大的数值，而且不因随后的使用条件变化，可以给予稳定的电容率图案或光学材料。