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公开(公告)号：CN102333797B
公开(公告)日：2014-08-13
申请号：CN201080008657.2
申请日：2010-02-23
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C07C69/96 , C07C68/06 , C07C2601/14 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及通式(1)(其中，R0为碳原子数1～10的(n+1)价的直链状或支链状脂肪族烃基等，R1为氢原子、甲基或三氟甲基，R2为单键等，R3为碳原子数1～4的直链状或支链状烷基等，X为碳原子数1～10的直链状或支链状氟代亚烷基，n为1～5的整数)表示的化合物。
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公开(公告)号：CN102804065A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201080026410.3
申请日：2010-06-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F220/18 , C09K3/00 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C08F8/34 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/38 , G03F7/0046 , G03F7/029 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/12 , Y10S430/122 , Y10S430/126
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有(A)含有酸解离性基团的树脂和(C)通式(i)表示的化合物(通式(i)中，R1表示氢原子等；R2表示单键等；R3表示氢原子的一部分或全部可以被氟原子取代的、碳原子数为1～10的直链状的1价烃基等；X+表示阳离子)。
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公开(公告)号：CN104950570B
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201510144148.7
申请日：2015-03-30
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种硬化膜形成用树脂组合物、硬化膜及其形成方法、以及显示元件。所述显示元件用硬化膜的形成方法是包括下述(1)～(4)的步骤的显示元件用硬化膜的制造方法，其中：步骤(4)后的水对于硬化膜的接触角为80°以上。(1)使用硬化膜形成用树脂组合物，在基板上形成涂膜的步骤；(2)隔着半色调掩模对涂膜进行曝光的步骤；(3)对曝光后的涂膜进行显影的步骤；(4)对经显影的涂膜进行加热的步骤。
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公开(公告)号：CN102804065B
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201080026410.3
申请日：2010-06-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/004 , C08F220/18 , C09K3/00 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0045 , C08F8/34 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F220/38 , G03F7/0046 , G03F7/029 , G03F7/039 , G03F7/0392 , G03F7/0397 , Y10S430/111 , Y10S430/12 , Y10S430/122 , Y10S430/126
Abstract: 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其特征在于，含有(A)含有酸解离性基团的树脂和(C)通式(i)表示的化合物(通式(i)中，R1表示氢原子等；R2表示单键等；R3表示氢原子的一部分或全部可以被氟原子取代的、碳原子数为1～10的直链状的1价烃基等；X+表示阳离子)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111352301A
公开(公告)日：2020-06-30
申请号：CN201911299890.X
申请日：2019-12-17
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种如下的感放射线性树脂组合物以及使用其的微透镜的形成方法，即使进行140℃以下的加热处理也能够形成具有良好形状的微透镜，且灵敏度、保存稳定性、以及所形成的微透镜的耐化学品性及透明性也良好。本发明是一种感放射线性树脂组合物，含有如下聚合体、及感放射线性酸产生剂，所述聚合体具有：结构单元(a1)，含有选自由环状醚结构及环状碳酸酯结构所组成的群组中的至少一种；结构单元(a2)，含有选自由酚性羟基及下述式(1)所表示的基团所组成的群组中的至少一种；及结构单元(a3)，含有碳数为8以上且20以下的链状或环状的烷基，被用于全部形成工序中的最大加热温度为140℃以下的微透镜的形成。
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公开(公告)号：CN104950570A
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201510144148.7
申请日：2015-03-30
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明提供一种硬化膜形成用树脂组合物、硬化膜及其形成方法、以及显示元件。所述显示元件用硬化膜的形成方法是包括下述(1)～(4)的步骤的显示元件用硬化膜的制造方法，其中：步骤(4)后的水对于硬化膜的接触角为80°以上。(1)使用硬化膜形成用树脂组合物，在基板上形成涂膜的步骤；(2)隔着半色调掩模对涂膜进行曝光的步骤；(3)对曝光后的涂膜进行显影的步骤；(4)对经显影的涂膜进行加热的步骤。
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公开(公告)号：CN103376649A
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201310131736.8
申请日：2013-04-16
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明的目的在于提供一种具有更高的感度且能够形成表面硬度、耐溶剂性、耐热性以及电压保持率优异的显示元件用层间绝缘膜的感放射线性组合物，使用该感放射线性组合物而形成的显示元件用层间绝缘膜以及其形成方法。本发明的感放射线性组合物含有：[A]具有含有酸解离性基的结构单元(I)、含有聚合性基的结构单元(II)以及下述式(1)所表示的结构单元(III)的聚合物；以及[B]感放射线性酸产生剂。
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公开(公告)号：CN102333797A
公开(公告)日：2012-01-25
申请号：CN201080008657.2
申请日：2010-02-23
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C07C69/96 , C07C68/06 , C07C2601/14 , C08F220/30 , G03F7/0046 , G03F7/0392
Abstract: 本发明涉及通式(1)(其中，R0为碳原子数1～10的(n+1)价的直链状或支链状脂肪族烃基等，R1为氢原子、甲基或三氟甲基，R2为单键等，R3为碳原子数1～4的直链状或支链状烷基等，X为碳原子数1～10的直链状或支链状氟代亚烷基，n为1～5的整数)表示的化合物。
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公开(公告)号：CN102037030A
公开(公告)日：2011-04-27
申请号：CN200980117928.5
申请日：2009-05-18
Applicant: JSR株式会社
IPC: C08F20/28 , C07C69/96 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC classification number: C07C69/96 , C08F220/18 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041 , C08F220/28 , C08F220/22
Abstract: 本发明的目的在于，提供一种液浸曝光用放射线敏感性树脂组合物、聚合物及抗蚀剂图案形成方法，其中，所述液浸曝光用放射线敏感性树脂组合物对放射线的透明性高、灵敏度等作为抗蚀剂的基本物性优异、同时最小倒塌尺寸(倒塌)优异、且液浸曝光工艺中的图案形状的参差不齐得到改善。本发明的液浸曝光用放射线敏感性树脂组合物含有(A)树脂成分、(B)放射线敏感性产酸剂和(C)溶剂，其中，(A)树脂成分在将该(A)树脂成分设定为100质量％时含有超过50质量％的含酸离解性基团树脂(A1)，所述含酸离解性基团树脂(A1)包含在侧链具有氟原子和酸离解性基团的重复单元(a1)。
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