公开(公告)号：CN102540720A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110394180.2

申请日：2011-11-29

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 米田英司 ,  西信弘 ,  儿玉诚一郎 ,  松本仁成

IPC: G03F7/027 ,  G02B1/04 ,  G02F1/1337 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明涉及一种射线敏感性组合物、显示元件用固化膜、显示元件用固化膜的形成方法以及显示元件，其目的是提供一种即使低温焙烧也具有充分分辨率的射线敏感性树脂组合物，耐热性、耐试剂性、透光性和固化性优良的显示元件用固化膜，以及电压保持率优良的显示元件。本发明是一种射线敏感性树脂组合物，其含有[A]含有0.1摩尔％～35摩尔％(a1)下述式(1)所表示的结构单元的共聚物、[B]具有乙烯性不饱和键的聚合性化合物，和[C]射线敏感性聚合引发剂。

公开(公告)号：CN104950570B

公开(公告)日：2020-06-30

申请号：CN201510144148.7

申请日：2015-03-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 松本仁成 ,  松村信司 ,  志水诚

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/09 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

Abstract: 本发明提供一种硬化膜形成用树脂组合物、硬化膜及其形成方法、以及显示元件。所述显示元件用硬化膜的形成方法是包括下述(1)～(4)的步骤的显示元件用硬化膜的制造方法，其中：步骤(4)后的水对于硬化膜的接触角为80°以上。(1)使用硬化膜形成用树脂组合物，在基板上形成涂膜的步骤；(2)隔着半色调掩模对涂膜进行曝光的步骤；(3)对曝光后的涂膜进行显影的步骤；(4)对经显影的涂膜进行加热的步骤。

公开(公告)号：CN104950570A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510144148.7

申请日：2015-03-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 松本仁成 ,  松村信司 ,  志水诚

IPC: G03F7/00 ,  G03F7/09 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075

Abstract: 本发明提供一种硬化膜形成用树脂组合物、硬化膜及其形成方法、以及显示元件。所述显示元件用硬化膜的形成方法是包括下述(1)～(4)的步骤的显示元件用硬化膜的制造方法，其中：步骤(4)后的水对于硬化膜的接触角为80°以上。(1)使用硬化膜形成用树脂组合物，在基板上形成涂膜的步骤；(2)隔着半色调掩模对涂膜进行曝光的步骤；(3)对曝光后的涂膜进行显影的步骤；(4)对经显影的涂膜进行加热的步骤。