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公开(公告)号：CN101346813A
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200680048550.4
申请日：2006-12-20
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 本发明公开了一种制造成本低、连接可靠性高的晶片检查用电路基板装置、具有该晶片检查用电路基板装置的探针卡和晶片检查装置。该晶片检查用电路具有：基板本体、以及在该基板本体上设置的由多个连接器单元重叠而构成的连接器装置；连接器单元具有：第1各向异性导电性弹性体片、复合导电性片、第2各向异性导电性弹性体片、以及间距变换板；复合导电性片具有：形成有多个贯通孔的绝缘性片、以及在该绝缘性片的各贯通孔中从该绝缘性片的两面分别突出地设置的刚性导体，刚性导体在贯通插入在绝缘性片的贯通孔中的主干部的两端形成有直径比绝缘性片的贯通孔的直径大的端子部，且能够相对于该绝缘性片在其厚度方向上移动。
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公开(公告)号：CN101218514B
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200680025332.9
申请日：2006-07-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R31/2805 , G01R1/0408 , G01R31/2808 , H01R12/523 , H01R13/03 , H01R2201/20
Abstract: 本发明公开了一种即使在大面积的、具有尺寸小的许多被检查电极的电路基板中，也可靠地实现所需要的电连接，可靠地进行高的精度的测定，可以以小的成本制造的电阻测定用连接件、使用它的电路基板的电阻测定装置以及方法。电阻测定用连接件具有：第1电极片；配置在第1电极片的背面上的，与被检查电极对应地形成了贯通孔的各向异性导电性弹性体片；配置在各向异性导电性弹性体片的背面上的第2电极片，第1电极片具有与被检查电极对应地形成了贯通孔的绝缘性片；在绝缘性片的背面上以包围贯通孔的方式形成的多个环形电极；在绝缘性片的背面上形成的中继电极，第2电极片具有：与被检查电极对应地配置的多个检查用芯电极；与中继电极对应地配置的多个连接用芯电极。
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公开(公告)号：CN100379087C
公开(公告)日：2008-04-02
申请号：CN200480006129.8
申请日：2004-04-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/0735 , G01R1/06711 , G01R1/06755 , G01R3/00 , H01R43/007 , Y10T428/24322
Abstract: 本发明公开一种各向异性导电薄片及其制造工艺，和用于电路装置的电气检测设备，通过该各向异性导电薄片，能可靠地实现对各个待连接电极必要的电连接，而与这样的电极的设置图案无关，并能可靠地实现对各个待连接的电极的必要电连接，即使待连接电极是以微小间距高密度设置的，且其可以低成本制造，该电气检测设备装配有各向异性导电薄片和适配器装置。本发明的各向异性导电薄片是这样获得的，即通过使支撑于可释放支撑板上的导电弹性体层受到激光束加工，从而形成按照可释放支撑板上特定图案设置的导电路径形成部件，形成用于绝缘部件的材料层，并使材料层受到固化处理，从而形成绝缘部件，该材料层由经固化变成弹性聚合物质的材料组成。
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公开(公告)号：CN1989664A
公开(公告)日：2007-06-27
申请号：CN200580024233.4
申请日：2005-07-19
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R31/2889 , G01R1/0735 , G01R3/00 , H01L2924/15174 , H01R12/714 , H01R13/2414 , H01R43/007 , H01R2201/20
Abstract: 提出了无论电极的图案，相对于各个电极都能够可靠地达成所需的电连接，即便电极的间距微小且以高密度配置，相对于各个电极也能够可靠地达成所需的电连接，可以用较小的成本制造的各向异性导电性连接器以及其制造方法，具备它的适配器装置和电路装置的电检查装置。本发明的各向异性导电性连接器通过如下的方式得到，即，通过将在被支撑在脱模性支撑板上的弹性高分子物质中将导电性粒子以沿着厚度方向排列的取向状态分散而构成的导电性弹性材料层进行激光加工，形成多个导电路形成部，通过将各个形成在脱模性支撑板上的导电路形成部浸泡在以堵塞框架板的开口的方式形成的、由被固化后成为弹性高分子物质的液状的高分子物质形成材料构成的绝缘部用材料层中，并将绝缘部用材料层进行固化处理，形成绝缘部。
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公开(公告)号：CN100539305C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200680005139.9
申请日：2006-01-11
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/07378 , H01R11/01 , H01R13/03 , H05K3/4046 , H05K2201/10871 , H05K2203/308 , Y10T29/49124
Abstract: 本发明公开了一种在绝缘性薄板的厚度方向上具有可以移动的刚性导体，刚性导体不会从绝缘性薄板上脱落且即使单独的情况下也容易处理的复合导电性薄板及其制造方法，具备了该复合导电性薄板的各向异性导电性连接器、接合器装置以及电路装置的电气检查装置。本发明的复合导电性薄板的特征在于：具有形成了分别在厚度方向上延伸的多个贯通孔的绝缘性薄板；在该绝缘性薄板的贯通孔的各自上配置了从该绝缘性薄板的两面各自突出的刚性导体，上述刚性导体各自在贯通插入到上述绝缘性薄板的贯通孔中的主干部的两端上形成具有直径比该绝缘性薄板的贯通孔的直径大的端子部，相对该绝缘性薄板可以在其厚度方向上移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101120484A
公开(公告)日：2008-02-06
申请号：CN200680005139.9
申请日：2006-01-11
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R3/00 , G01R1/07378 , H01R11/01 , H01R13/03 , H05K3/4046 , H05K2201/10871 , H05K2203/308 , Y10T29/49124
Abstract: 本发明公开了一种在绝缘性薄板的厚度方向上具有可以移动的刚性导体，刚性导体不会从绝缘性薄板上脱落且即使单独的情况下也容易处理的复合导电性薄板及其制造方法，具备了该复合导电性薄板的各向异性导电性连接器、接合器装置以及电路装置的电气检查装置。本发明的复合导电性薄板的特征在于：具有形成了分别在厚度方向上延伸的多个贯通孔的绝缘性薄板；在该绝缘性薄板的贯通孔的各自上配置了从该绝缘性薄板的两面各自突出的刚性导体，上述刚性导体各自在贯通插入到上述绝缘性薄板的贯通孔中的主干部的两端上形成具有直径比该绝缘性薄板的贯通孔的直径大的端子部，相对该绝缘性薄板可以在其厚度方向上移动。
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公开(公告)号：CN100359328C
公开(公告)日：2008-01-02
申请号：CN03809477.0
申请日：2003-04-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R31/2812 , G01R31/2805 , G01R31/2808 , H05K1/0268 , H05K1/116
Abstract: 公开用于测量电阻的连接件、用于电路板的电阻测量设备以及测量电阻的方法，通过它们，即使被检查的电路板面积大并且具有大量小尺寸的被检查的电极，仍可以保证实现对被检查的电路板的必要电气连接，而且可以保证以高精度进行对电阻的预期测量。该用于测量电阻的连接件包括：一块绝缘基板；多个设置在该绝缘基板的前表面上的包括核心电极和环状电极的连接电极对，这些核心电极按照和被检查电路板中的多个被检查电极的图案相对应的图案排列，而这些环状电极在和核心电极电隔离的状态下排列成围绕各个核心电极；以及多个设置在该绝缘基板的后表面上的并且和连接电极对中的核心电极或环状电极之一电气连接的中继电极。
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公开(公告)号：CN1985180A
公开(公告)日：2007-06-20
申请号：CN200580023882.2
申请日：2005-07-14
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: G01R1/07335
Abstract: 提供很好地吸收被检查电路基板的被检查电极的高度不匀，并且即便被检查电极是微细的间距，也能够确保邻接的检查电极之间的绝缘性的电路基板的检查装置以及电路基板的检查方法。在中继销单元31上设置中间保持板36，然后将配置在第1绝缘板34和中间保持板36之间的第1支撑销33的相对于中间保持板的第1触接支撑位置38A，和配置在第2绝缘板35和中间保持板36之间的第2支撑销37的相对于中间保持板36的第2触接支撑位置38B，在中间保持板36的沿着厚度方向投影的中间保持板投影面上，配置在不同的位置上。另外，在间距变换用基板23的被检查电路基板侧，配置以可以沿着该基板的厚度方向移动的方式保持贯通基板的多个刚性导体电极的中继基板29，同时在其两面侧配置较薄的分散型各向异性导电性片22、22，以使得经由分散型各向异性导电性片22、22用中继基板29中继间距变换用基板23和被检查电路基板1的电连接。
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公开(公告)号：CN1764844A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200480007778.X
申请日：2004-03-23
Applicant: JSR株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R1/07314 , G01R1/07378 , G01R31/2831
Abstract: 在此公开了一种用于测量电阻的连接器、用于测量电阻的连接器设备及其制造方法，以及用于电路板的测量装置和测量方法，通过它们，即使当待检查的电路板面积大并具有多个尺寸小的待检查电极时，也一定能实现必要的电连接，以及一定能以高精度地执行期望的电阻测量。根据本发明，用于测量电阻的连接器包括绝缘衬底和根据对应于将要测量其电阻的待检查的电路板中的多个待检查电极的图案的图案，在绝缘衬底的前表面上排列的多个连接电极组。上述连接电极组的每一个由在彼此分开排列的用于电流供应的电极和用于电压测量的电极的至少3个电极组成，这些电极的至少一个是用于电流供应的电极，以及其至少一个是用于电压测量的电极。
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公开(公告)号：CN1650176A
公开(公告)日：2005-08-03
申请号：CN03809477.0
申请日：2003-04-30
Applicant: JSR株式会社
IPC: G01R1/073
CPC classification number: G01R31/2812 , G01R31/2805 , G01R31/2808 , H05K1/0268 , H05K1/116
Abstract: 公开用于测量电阻的连接件、用于电路板的电阻测量设备以及测量电阻的方法，通过它们，即使被检查的电路板面积大并且具有大量小尺寸的被检查的电极，仍可以保证实现对被检查的电路板的必要电气连接，而且可以保证以高精度进行对电阻的预期测量。该用于测量电阻的连接件包括：一块绝缘基板；多个设置在该绝缘基板的前表面上的包括核心电极和环状电极的连接电极对，这些核心电极按照和被检查电路板中的多个被检查电极的图案相对应的图案排列，而这些环状电极在和核心电极电隔离的状态下排列成围绕各个核心电极；以及多个设置在该绝缘基板的后表面上的并且和连接电极对中的核心电极或环状电极之一电气连接的中继电极。
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