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公开(公告)号:CN101426836A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200780014660.3
申请日:2007-04-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C07C49/84 , C07C45/71 , C07C255/54 , C07C2603/18 , C08G65/40 , C08G65/4012 , C08G65/4031 , C08J5/2231 , C08J2365/02 , H01M8/0289 , H01M8/1025 , H01M8/1027 , H01M8/103 , H01M8/1032 , H01M8/1039 , Y02E60/523
Abstract: 本发明提供具有优异的加工性和耐甲醇性的磺化聚合物。芳香族化合物,其特征在于:由通式(1)表示。[式(1)中,A、D、E表示直接键合、选自-O-、-S-、-CO-、-SO2-、-SO-、-CONH-、-COO-、-(CF2)f-(f为1~10的整数)、-(CH2)h-(h为1~10的整数)、-CR’2-(R’表示脂肪族烃基、芳香族烃基和卤代烃基)、环己叉基、芴叉基中的至少1种结构。B独立地表示氧原子或硫原子,X表示选自不包括氟在内的卤素原子、-OSO2CH3和-OSO2CF3中的原子或基团。R1~R28彼此相同或不同,表示选自氢原子、氟原子、烷基、一部分或全部被卤代的卤代烷基、烯丙基、芳基、硝基和腈基中的至少1种原子或基团。l、o表示0~4的整数,m表示1~4的整数,q表示2以上的整数。n、p表示各单元的组成比,取0~1的值,n+p=1。其中,n取0以外的值]。
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公开(公告)号:CN1318475C
公开(公告)日:2007-05-30
申请号:CN200510097614.7
申请日:2003-08-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 揭示了通式(1)所示的芳族磺酸酯衍生物;式中,X是选自除氟以外的卤原子、-OSO3CH3和-OSO3CF3的原子或基团,A是二价吸电子基团,B是二价供电子基团或者直接连接,Ra是1-20个碳原子的烃基,Ar是具有由-SO3Rb表示的取代基的芳基(其中,Rb是1-20个碳原子的烃基),m是0-10之间的整数,n是0-10之间的整数,k是1-4的整数。也揭示了用于制备具有磺酸基的聚亚芳基的方法,所述方法包括以下步骤:偶合聚合所述包含通式(1)所示衍生物的芳族化合物,制备聚亚芳基,并水解所述聚亚芳基,且所述方法安全性高,容易控制引入聚合物中的磺酸基的量及其引入的位置。
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公开(公告)号:CN101426836B
公开(公告)日:2011-08-31
申请号:CN200780014660.3
申请日:2007-04-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: C07C49/84 , C07C45/71 , C07C255/54 , C07C2603/18 , C08G65/40 , C08G65/4012 , C08G65/4031 , C08J5/2231 , C08J2365/02 , H01M8/0289 , H01M8/1025 , H01M8/1027 , H01M8/103 , H01M8/1032 , H01M8/1039 , Y02E60/523
Abstract: 本发明提供具有优异的加工性和耐甲醇性的磺化聚合物。芳香族化合物,其特征在于:由通式(1)表示。式(1)中,A、D、E表示直接键合、选自-O-、-S-、-CO-、-SO2-、-SO-、-CONH-、-COO-、-(CF2)f-(f为1~10的整数)、-(CH2)h-(h为1~10的整数)、-CR’2-(R’表示脂肪族烃基、芳香族烃基和卤代烃基)、环己叉基、芴叉基中的至少1种结构。B独立地表示氧原子或硫原子,X表示选自不包括氟在内的卤素原子、-OSO2CH3和-OSO2CF3中的原子或基团。R1~R28彼此相同或不同,表示选自氢原子、氟原子、烷基、一部分或全部被卤代的卤代烷基、烯丙基、芳基、硝基和腈基中的至少1种原子或基团。l、o表示0~4的整数,m表示1~4的整数,q表示2以上的整数。n、p表示各单元的组成比,取0~1的值,n+p=1。其中,n取0以外的值。
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公开(公告)号:CN101427183A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200780014538.6
申请日:2007-03-14
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/091 , G03F7/094 , G03F7/11 , Y10S430/106
Abstract: 本发明提供一种下层膜形成用组合物,其中,含有具有下述通式(1)所示的萘衍生物结构单元的聚合物(A),通式(1)中,R1表示羟基等,X表示碳原子数为1~20的可以取代的亚烷基等,n是0~6的整数,m是1~8的整数,n+m是1~8的整数,多个R1和X可以相同也可以不同。
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公开(公告)号:CN101563652A
公开(公告)日:2009-10-21
申请号:CN200780046971.8
申请日:2007-11-19
Applicant: JSR株式会社
IPC: G03F7/11 , H01L21/027
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂下层膜形成用组合物,含有在富勒烯骨架中至少键合有一个氨基的(A)氨基化富勒烯和(B)溶剂,蚀刻耐性优异,且在干蚀刻工艺中下层膜图案难以折曲,可以将抗蚀剂图案忠实地、再现性良好地转印在被加工基板上。
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公开(公告)号:CN1737032A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200510097614.7
申请日:2003-08-22
Applicant: JSR株式会社
Abstract: 揭示了通式(1)所示的芳族磺酸酯衍生物;式中,X是选自除氟以外的卤原子、-OSO3CH3和-OSO3CF3的原子或基团,A是二价吸电子基团,B是二价供电子基团或者直接连接,Ra是1-20个碳原子的烃基,Ar是具有由-SO3Rb表示的取代基的芳基(其中,Rb是1-20个碳原子的烃基),m是0-10之间的整数,n是0-10之间的整数,k是1-4的整数。也揭示了用于制备具有磺酸基的聚亚芳基的方法,所述方法包括以下步骤:偶合聚合所述包含通式(1)所示衍生物的芳族化合物,制备聚亚芳基,并水解所述聚亚芳基,且所述方法安全性高,容易控制引入聚合物中的磺酸基的量及其引入的位置。
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公开(公告)号:CN1495159A
公开(公告)日:2004-05-12
申请号:CN03155160.2
申请日:2003-08-22
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07C309/73 , C08F132/06 , H01M8/02
CPC classification number: C08G61/12 , C07C309/73 , C07C309/75
Abstract: 揭示了通式(1)所示的芳族磺酸酯衍生物;如右图式中,X是选自除氟以外的卤原子、-OSO3CH3和-OSO3CF3的原子或基团,A是二价吸电子基团,B是二价供电子基团或者直接连接,Ra是1-20个碳原子的烃基,Ar是具有由-SO3Rb表示的取代基的芳基(其中,Rb是1-20个碳原子的烃基),m是0-10之间的整数,n是0-10之间的整数,k是1-4的整数。也揭示了用于制备具有磺酸基的聚亚芳基的方法,所述方法包括以下步骤:偶合聚合所述包含通式(1)所示衍生物的芳族化合物,制备聚亚芳基,并水解所述聚亚芳基,且所述方法安全性高,容易控制引入聚合物中的磺酸基的量及其引入的位置。
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公开(公告)号:CN101426832A
公开(公告)日:2009-05-06
申请号:CN200780014673.0
申请日:2007-04-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01B1/122 , C08G65/4012 , H01M8/1025 , H01M8/1027 , H01M8/103 , H01M8/1032 , H01M8/1039
Abstract: 本发明提供具有优异的加工性和耐甲醇性的具有磺酸基的聚芳撑。本发明的聚芳撑,含有所述通式(2-2)所示的结构单元(S)和所述通式(2-3)所示的结构单元(T),该结构单元(S)的比例s为95~50摩尔%,该结构单元(T)的比例t为5~50摩尔%(其中,s+t=100摩尔%)。(式中,A各自独立地表示-CO-或-SO2-所示的2价连接基,R1~R4各自独立地表示氢原子、氟原子、烷基或芳基)。
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公开(公告)号:CN101426832B
公开(公告)日:2011-12-21
申请号:CN200780014673.0
申请日:2007-04-24
Applicant: JSR株式会社
CPC classification number: H01B1/122 , C08G65/4012 , H01M8/1025 , H01M8/1027 , H01M8/103 , H01M8/1032 , H01M8/1039
Abstract: 本发明提供具有优异的加工性和耐甲醇性的具有磺酸基的聚芳撑。本发明的聚芳撑,含有下述通式(2-2)所示的结构单元(S)和下述通式(2-3)所示的结构单元(T),该结构单元(S)的比例s为95~50摩尔%,该结构单元(T)的比例t为5~50摩尔%(其中,s+t=100摩尔%)。(式中,A各自独立地表示-CO-或-SO2-所示的2价连接基,R1~R4各自独立地表示氢原子、氟原子、烷基或芳基)。
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公开(公告)号:CN1272315C
公开(公告)日:2006-08-30
申请号:CN03155160.2
申请日:2003-08-22
Applicant: JSR株式会社
IPC: C07C309/73 , C08F132/06 , H01M8/02
CPC classification number: C08G61/12 , C07C309/73 , C07C309/75
Abstract: 揭示了通式(1)所示的芳族磺酸酯衍生物;式中,X是选自除氟以外的卤原子、-OSO3CH3和-OSO3CF3的原子或基团,A是二价吸电子基团,B是二价供电子基团或者直接连接,Ra是1-20个碳原子的烃基,Ar是具有由-SO3Rb表示的取代基的芳基(其中,Rb是1-20个碳原子的烃基),m是0-10之间的整数,n是0-10之间的整数,k是1-4的整数。也揭示了用于制备具有磺酸基的聚亚芳基的方法,所述方法包括以下步骤:偶合聚合所述包含通式(1)所示衍生物的芳族化合物,制备聚亚芳基,并水解所述聚亚芳基,且所述方法安全性高,容易控制引入聚合物中的磺酸基的量及其引入的位置。
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