公开(公告)号：CN105264669A

公开(公告)日：2016-01-20

申请号：CN201480031761.1

申请日：2014-06-05

申请人： H·C·施塔克公司

发明人： 孙树伟 ,  D·弗朗索瓦-查尔斯 ,  M·阿布阿夫 ,  P·霍根 ,  张起

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/335

CPC分类号： H01L27/1244 ,  B81C1/00 ,  B81C1/00031 ,  B81C1/00404 ,  B81C1/00523 ,  B81C1/00547 ,  C21D1/00 ,  C21D9/00 ,  C21D2201/00 ,  C21D2211/00 ,  C21D2251/00 ,  C22F1/00 ,  C22F1/04 ,  C22F1/08 ,  C22F1/14 ,  G06F3/041 ,  G06F3/0412 ,  G06F3/044 ,  G06F2203/04103 ,  H01B1/026 ,  H01L23/53238 ,  H01L29/4908 ,  H01L29/6675 ,  H01L29/78603 ,  H01L29/78666 ,  H01L2924/0002 ,  Y10T428/12611 ,  Y10T428/1266 ,  Y10T428/12681 ,  Y10T428/12687 ,  Y10T428/12694 ,  Y10T428/12708 ,  Y10T428/12715 ,  Y10T428/12722 ,  Y10T428/12743 ,  Y10T428/1275 ,  Y10T428/12806 ,  Y10T428/12812 ,  Y10T428/12819 ,  Y10T428/12826 ,  Y10T428/1284 ,  Y10T428/12847 ,  Y10T428/12861 ,  Y10T428/12868 ,  Y10T428/12875 ,  Y10T428/12882 ,  Y10T428/12889 ,  Y10T428/12896 ,  Y10T428/12903 ,  Y10T428/1291 ,  Y10T428/12931 ,  H01L2924/00

摘要： 在多个实施例中，诸如薄膜晶体管和/或触摸面板显示器的电子装置包括电极和/或互连，所述互连特征为：导体层，以及布置在导体层上方或下方的覆盖层和/或阻挡层，所述覆盖层和/或阻挡层包括Cu与选自由Ta、Nb、Mo、W、Zr、Hf、Re、Os、Ru、Rh、Ti、V、Cr以及Ni组成的组合的一种或多种难熔金属元素的合金。