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公开(公告)号：CN108779864A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780015954.1
申请日：2017-03-30
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 切换流体的流路的流路切换阀具备：阀体31，在预定面31上形成有沿预定方向以预定长度开口的开口流路32；主体41，沿预定方向以比预定长度短的间隔排列形成有多个开孔，所述多个开孔在与预定面相对的相对面41a上开口，并且所述主体形成有与多个开孔分别连接的连接流路42、43、44。流路切换阀具备：板簧51和致动器，所述板簧51在预定方向上分别安装于阀体的两端部，支撑阀体使得在预定面与相对面之间形成有预定间隙，根据阀体沿预定方向移动的移动量而对阀体施加弹力，所述致动器沿预定方向往复驱动阀体。
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公开(公告)号：CN101737552A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910223602.2
申请日：2009-11-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: F16K11/07 , F16K31/082 , Y10T137/8671
Abstract: 本发明提供可缩短其在阀芯的轴线方向上的长度的流体控制阀。该流体控制阀包括可滑动地容纳在套筒部件(10)内的阀芯(20)和在滑动方向上对阀芯(20)施加推力的弹簧(23a、23b)，还包括：沿阀芯的轴线方向延伸形成于阀芯(20)上的中间部(20c)(强磁体部分)；夹着中间部(20c)相向配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上、相互之间形成沿轴线方向排列且彼此反向的磁场、并且在阀芯(20)的轴线方向上被形成为比中间部(20c)长的永磁体(50a、50b)；相对于永磁体(50a、50b)配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上且通电后将产生穿过相向的永磁体(50a、50b)的磁场的线圈(40a、40b)。
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公开(公告)号：CN108779864B
公开(公告)日：2021-07-27
申请号：CN201780015954.1
申请日：2017-03-30
Applicant: CKD株式会社
Abstract: 切换流体的流路的流路切换阀具备：阀体31，在预定面31上形成有沿预定方向以预定长度开口的开口流路32；主体41，沿预定方向以比预定长度短的间隔排列形成有多个开孔，所述多个开孔在与预定面相对的相对面41a上开口，并且所述主体形成有与多个开孔分别连接的连接流路42、43、44。流路切换阀具备：板簧51和致动器，所述板簧51在预定方向上分别安装于阀体的两端部，支撑阀体使得在预定面与相对面之间形成有预定间隙，根据阀体沿预定方向移动的移动量而对阀体施加弹力，所述致动器沿预定方向往复驱动阀体。
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公开(公告)号：CN101737552B
公开(公告)日：2013-06-19
申请号：CN200910223602.2
申请日：2009-11-16
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: F16K11/07 , F16K31/082 , Y10T137/8671
Abstract: 本发明提供可缩短其在阀芯的轴线方向上的长度的流体控制阀。该流体控制阀包括可滑动地容纳在套筒部件(10)内的阀芯(20)和在滑动方向上对阀芯(20)施加推力的弹簧(23a、23b)，还包括：沿阀芯的轴线方向延伸形成于阀芯(20)上的中间部(20c)(强磁体部分)；夹着中间部(20c)相向配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上、相互之间形成沿轴线方向排列且彼此反向的磁场、并且在阀芯(20)的轴线方向上被形成为比中间部(20c)长的永磁体(50a、50b)；相对于永磁体(50a、50b)配置在与阀芯(20)的轴线方向垂直的方向上且通电后将产生穿过相向的永磁体(50a、50b)的磁场的线圈(40a、40b)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101739036A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910206680.1
申请日：2009-10-28
Applicant: CKD株式会社 , 东京毅力科创株式会社
Abstract: 一种温度控制装置，通过在配置于被控对象附近的调温部(11)使流体循环来预期地控制被控对象的温度，其包括容纳在支撑被控对象的调温板(10)的内部且循环有流体的调温部(11)、以及使流体冷却并循环的冷却通路(20)、使调温部(11)下游侧的流体原样地再次循环到调温部(11)的旁通路(30)、和使流体加热并循环的加热通路(40)，且这些通路连接到调温部(11)。还包括对从加热通路、冷却通路及旁通路提供到调温部的流体的流量比进行调节的调节装置以及使流体流动以使流体循环的流动装置，加热通路中设置有用于加热流体的加热部，流动装置设置在流体的循环路径中的加热部的下游侧。
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公开(公告)号：CN104620080B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201380047335.2
申请日：2013-09-27
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B7/00 , G01B7/003 , G01D5/2412
Abstract: 一种静电电容式位移传感器，包括：柱状部件31，由绝缘材料形成；筒状部件33，由金属制成，其内部中插入预定范围的柱状部件31，并且随着阀芯22的位移而进行移动；一对固定电极40A、40B，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；补偿电极41、42，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；静电屏蔽部件37，在与固定电极40A、40B、筒状部件33以及补偿电极41、42绝缘的状态下覆盖上述电极并接地；以及固定电极端子和补偿电极端子，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上，与电极40A、40B、41、42分别连接，以及在与静电屏蔽部件37绝缘的状态下在长度方向延伸至静电屏蔽部件37的外部。
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公开(公告)号：CN103930843B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201280056275.6
申请日：2012-11-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC classification number: H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248
Abstract: 本发明提供一种温度控制系统(1)，其中，该温度控制系统(1)包括：第1调温单元，其用于贮藏第1温度的液体；第2调温单元，其用于贮藏比第1温度高的第2温度的液体；低温流路(76)，其供来自第1调温单元的流体流动；高温流路(77)，其供来自第2调温单元的流体流动；旁路流路(73)，其用于使流体循环；结合流路(71)，其供在合流部(PA)处使来自低温流路、高温流路以及旁路流路这三个流路的流体合流后的流体流动；调温部(70)，其供来自结合流路的流体流动，对在半导体制造装置(100)中使用的构件进行冷却或加热；以及控制装置(90)，其用于控制在合流部的上游侧安装于上述三个流路的可变阀门(79)的阀开度，而调整上述三个流路的流量分配比例。
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公开(公告)号：CN104620080A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201380047335.2
申请日：2013-09-27
Applicant: CKD株式会社
CPC classification number: G01B7/00 , G01B7/003 , G01D5/2412
Abstract: 一种静电电容式位移传感器，包括：柱状部件31，由绝缘材料形成；筒状部件33，由金属制成，其内部中插入预定范围的柱状部件31，并且随着阀芯22的位移而进行移动；一对固定电极40A、40B，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；补偿电极41、42，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上；静电屏蔽部件37，在与固定电极40A、40B、筒状部件33以及补偿电极41、42绝缘的状态下覆盖上述电极并接地；以及固定电极端子和补偿电极端子，薄膜状地形成在柱状部件31的外表面部上，与电极40A、40B、41、42分别连接，以及在与静电屏蔽部件37绝缘的状态下在长度方向延伸至静电屏蔽部件37的外部。
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公开(公告)号：CN103930843A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201280056275.6
申请日：2012-11-13
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , CKD株式会社
CPC classification number: H01L21/67103 , G05D23/1934 , H01L21/67109 , H01L21/67248
Abstract: 本发明提供一种温度控制系统(1)，其中，该温度控制系统(1)包括：第1调温单元，其用于贮藏第1温度的液体；第2调温单元，其用于贮藏比第1温度高的第2温度的液体；低温流路(76)，其供来自第1调温单元的流体流动；高温流路(77)，其供来自第2调温单元的流体流动；旁路流路(73)，其用于使流体循环；结合流路(71)，其供在合流部(PA)处使来自低温流路、高温流路以及旁路流路这三个流路的流体合流后的流体流动；调温部(70)，其供来自结合流路的流体流动，对在半导体制造装置(100)中使用的构件进行冷却或加热；以及控制装置(90)，其用于控制在合流部的上游侧安装于上述三个流路的可变阀门(79)的阀开度，而调整上述三个流路的流量分配比例。
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