公开(公告)号：CN109416513A

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201780040835.1

申请日：2017-06-12

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·M·J·詹森斯 ,  B·D·肖尔滕 ,  S·N·L·唐德斯 ,  T·范达姆 ,  P·奥韦尔谢伊 ,  T·M·斯帕恩-布尔克 ,  S·A·特罗普

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种用于定位的系统、工作台系统、光刻设备、用于定位的方法以及其中利用了工作台系统的用于制造器件的方法。根据本发明，提供了多个空气轴承装置。每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面；主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口；辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的多个排放开口。所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。

公开(公告)号：CN114080566A

公开(公告)日：2022-02-22

申请号：CN202080049944.1

申请日：2020-06-05

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： M·A·范德凯克霍夫 ,  S·阿坎塔 ,  J·H·J·穆尔斯 ,  V·Y·巴宁 ,  S·M·J·詹森斯 ,  A·尼基佩洛维

IPC: G03F1/82 ,  G03F7/16 ,  G03F7/20 ,  H01L21/687

Abstract: 一种光刻设备包括：用于支撑衬底的夹持表面，其中夹持表面的属性由至少一个夹持表面参数限定，并且其中夹持表面的属性已被选择为表现出低磨损；夹持设备，用于致动夹持表面与衬底之间的夹持操作，其中夹持操作至少部分地由夹持表面与衬底之间的至少一个界面特性限定；以及处理站，能够操作以根据夹持表面参数和限定衬底的第二属性的至少一个衬底表面参数，对衬底的第一属性施加调整，来优化特定夹持操作的至少一个界面特性。

公开(公告)号：CN113485074A

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN202110766480.2

申请日：2017-06-12

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·M·J·詹森斯 ,  B·D·肖尔滕 ,  S·N·L·唐德斯 ,  T·范达姆 ,  P·奥韦尔谢伊 ,  T·M·斯帕恩-布尔克 ,  S·A·特罗普

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/67 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种用于工作台系统的载物台。根据本发明，提供了多个空气轴承装置。每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面；主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口；辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的多个排放开口。所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。

公开(公告)号：CN109416513B

公开(公告)日：2021-07-16

申请号：CN201780040835.1

申请日：2017-06-12

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： S·M·J·詹森斯 ,  B·D·肖尔滕 ,  S·N·L·唐德斯 ,  T·范达姆 ,  P·奥韦尔谢伊 ,  T·M·斯帕恩-布尔克 ,  S·A·特罗普

IPC: G03F7/20 ,  H01L21/683

Abstract: 本发明涉及一种用于定位的系统、工作台系统、光刻设备、用于定位的方法以及其中利用了工作台系统的用于制造器件的方法。根据本发明，提供了多个空气轴承装置。每个空气轴承装置包括：空气轴承本体，所述空气轴承本体具有自由表面；主通道，所述主通道延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的入口开口；辅通道系统，所述辅通道系统延伸穿过所述空气轴承本体并且具有在所述自由表面中的多个排放开口。所述辅通道系统中的流阻高于所述主通道中的流阻。