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公开(公告)号：CN112513742B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN201980051246.2
申请日：2019-07-01
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： P·A·J·廷尼曼斯 , 帕特里克·华纳 , V·T·滕纳 , M·范德斯卡
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 披露了一种用于获得对由一对结构散射辐射进行描述的按计算方式确定的干涉电场的方法，所述一对结构包括位于衬底上的第一结构和第二结构，所述方法包括：确定与由所述第一结构散射的第一辐射相关的第一电场；确定与由所述第二结构散射的第二辐射相关的第二电场；和按计算方式确定所述第一电场和所述第二电场的干涉，以获得按计算方式确定的干涉电场。
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公开(公告)号：CN116758012A
公开(公告)日：2023-09-15
申请号：CN202310622332.2
申请日：2019-05-17
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： L·特里波迪 , 帕特里克·华纳 , G·格热拉 , M·哈伊赫曼达 , F·法哈德扎德 , P·A·J·廷尼曼斯 , S·A·米德尔布鲁克斯 , 安卓尼斯·科内利斯·马修斯·科普曼 , 弗兰克·斯塔尔斯 , 布伦南·彼得森 , A·B·范奥斯汀
摘要： 公开了一种确定与衬底上的结构相关的感兴趣的特性的方法、掩模版、衬底。方法包括：获得结构的输入图像；和使用训练后的神经网络以从所述输入图像确定感兴趣的特性。
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公开(公告)号：CN107850862B
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201680041723.3
申请日：2016-06-28
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： F·G·C·比恩 , A·J·登博夫 , R·J·F·范哈伦 , P·A·J·廷尼曼斯 , A·雅玛 , I·A·莱利娜 , E·M·休瑟博斯 , H·E·切克利 , 柳星兰 , L·J·P·维尔希斯 , V·E·卡拉多 , L·P·范迪克
摘要： 描述了一种表征多个衬底的形变的方法。该方法包括以下步骤：‑针对多个n个不同对准测量参数λ并且针对多个衬底测量对准标记的位置；‑将位置偏差确定为n个对准标记位置测量值与标称对准标记位置之间的差值；‑将位置偏差分组成数据集；‑确定平均数据集；‑从数据集中减去平均数据集以获取多个可变数据集；‑对可变数据集执行盲源分离方法，由此将可变数据集分解为表示可变数据集的主成分的特征晶片集合；‑将特征晶片集合细分成标记形变特征晶片集合和衬底形变特征晶片集合。
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公开(公告)号：CN107077079A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580058279.1
申请日：2015-08-20
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： M·博兹库尔特 , M·J·J·加克 , P·A·J·廷尼曼斯
IPC分类号： G03F7/20
CPC分类号： G06T7/0004 , G03F7/705 , G03F7/70591 , G03F7/70633 , G06T7/11 , G06T2207/10061 , G06T2207/20224 , G06T2207/30148
摘要： 基于目标的图像的强度测量目标结构的属性。方法包括(a)获得目标结构的图像；(b)限定(1204)多个候选感兴趣区域，各候选感兴趣区域包括在图像中的多个像素；(c)至少部分基于在感兴趣区域内的像素的信号值来限定(1208，1216)用于候选感兴趣区域的优化度量值；(d)限定(1208，1216)目标信号函数，目标信号函数限定了图像中的各像素对目标信号值的贡献。各像素的贡献取决于(i)哪个候选感兴趣区域包含该像素和(ii)那些候选感兴趣区域的优化度量值。
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公开(公告)号：CN108027571B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201680049908.9
申请日：2016-07-27
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： P·A·J·廷尼曼斯
摘要： 本发明描述了一种用于传感器的初始化方法，传感器被配置成使用相应的多个不同的测量参数来执行对象的属性的多个测量，该多个测量中的不同的测量使用不同的测量参数，方法包括：基于该多个测量估计属性的特性，特性包括由相应的加权系数加权的该多个测量的相应的测量的相应的结果的组合；使用该对象的多个模型，多个模型中的每个相应的模型被配置成使得能够执行该多个测量的相应的仿真；针对多个模型中的相应的模型中的每个执行相应的仿真，相应的仿真包括在相应的多个不同的仿真参数的控制下仿真该多个测量以获得该属性的相应的多个仿真的特性，多个不同的仿真参数指示该多个不同的测量参数；针对多个模型中的每个相应的模型确定相应的偏差，该相应的偏差表示根据相应的模型的该属性的相应的理论特性与相应的模型中的该属性的仿真的特性的相应的进一步组合之间的相应的差；仿真的特性的相应的进一步组合包括多个加权系数，多个加权系数中的每个特定加权系数与多个不同的仿真参数中的特定的一个相关联；使用被配置成优化该属性的仿真的特性与该属性的理论特性之间的对应性的成本函数；该成本函数是多个模型的相应的偏差的函数；优化该成本函数，由此从该成本函数导出多个加权系数；在与传感器相关联的控制器中使用该加权系数以及关联的仿真参数。
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公开(公告)号：CN111164515A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201880063422.X
申请日：2018-09-04
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： P·A·J·廷尼曼斯 , E·M·休瑟博斯 , H·J·L·梅根斯 , A·K·埃达玛 , L·J·P·维尔希斯 , W·S·C·罗洛夫斯 , W·J·M·范德文 , H·亚古毕扎德 , H·E·瑟克里 , R·布林克霍夫 , T·T·T·乌 , M·R·古森 , M·范特维斯泰德 , 寇伟田 , M·里杰普斯特拉 , M·科克斯 , F·G·C·比杰南
摘要： 公开了一种用于确定传感器系统的操作参数的一个或多个经优化的值的方法，该传感器系统被配置为测量衬底的性质，该方法包括：确定针对多个衬底的质量参数；针对操作参数的多个值，确定使用传感器系统而被获取的针对多个衬底的测量参数；将质量参数的衬底到衬底变化与测量参数的映射的衬底到衬底变化进行比较；以及基于该比较，确定操作参数的一个或多个经优化的值。
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公开(公告)号：CN105612460B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201480055807.3
申请日：2014-09-11
申请人： ASML荷兰有限公司 , ASML控股股份有限公司
发明人： P·A·J·廷尼曼斯 , A·J·登博夫 , J·L·克罗策 , S·G·J·马斯杰森
IPC分类号： G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7069 , G01B9/02011 , G01B9/02015 , G01B11/272 , G01B2290/70 , G03F9/7049 , G03F9/7088
摘要： 设备、系统和方法用于使用独立于偏振的干涉仪来检测衬底上的特征的对准。设备、系统和方法包括接收从衬底上的标记衍射或散射的光的光学元件。光学元件可以将衍射光分裂成由一个或多个检测器进行检测的多个子光束。衍射光可以可选地或者在检测之后的处理期间进行组合。系统可以基于具有任何偏振角度或状态的接收到的衍射光来确定对准和/或重叠。
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公开(公告)号：CN109478019A
公开(公告)日：2019-03-15
申请号：CN201780041741.6
申请日：2017-06-13
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： P·A·J·廷尼曼斯 , 林楠 , S·B·鲁博尔 , S·G·J·马斯杰森
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 公开了一种用于生成检查设备的测量辐射的照射源。源生成至少第一测量辐射和第二测量辐射，从而第一测量辐射和第二测量辐射干涉，以形成采用拍频分量调制的经组合的测量辐射。照射源可以是HHG源。也公开了一种包括该源的检查设备以及相关联的检查方法。
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公开(公告)号：CN105612460A
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201480055807.3
申请日：2014-09-11
申请人： ASML荷兰有限公司 , ASML控股股份有限公司
发明人： P·A·J·廷尼曼斯 , A·J·登博夫 , J·L·克罗策 , S·G·J·马斯杰森
IPC分类号： G03F9/00
CPC分类号： G03F9/7069 , G01B9/02011 , G01B9/02015 , G01B11/272 , G01B2290/70 , G03F9/7049 , G03F9/7088
摘要： 设备、系统和方法用于使用独立于偏振的干涉仪来检测衬底上的特征的对准。设备、系统和方法包括接收从衬底上的标记衍射或散射的光的光学元件。光学元件可以将衍射光分裂成由一个或多个检测器进行检测的多个子光束。衍射光可以可选地或者在检测之后的处理期间进行组合。系统可以基于具有任何偏振角度或状态的接收到的衍射光来确定对准和/或重叠。
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公开(公告)号：CN1945443B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200610151710.X
申请日：2006-08-29
申请人： ASML荷兰有限公司
发明人： L·G·M·凯塞尔斯 , P·A·J·廷尼曼斯 , R·J·范恩格伦
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/70508
摘要： 光刻设备包含调制辐射束的独立可控元件阵列、存储了由调制射束将要在衬底上形成的所需剂量的图案的压缩表示的压缩图案存储器和至少部分地对压缩表示进行解压缩的辞典解压缩器。辞典解压缩器包含外部辞典存储器、第一辞典解码器和第二辞典解码器，所述第一辞典解码器通过从外部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对外部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示，并且所述第二辞典解码器具有内部辞典存储器，第二辞典解码器通过从内部辞典存储器中提取与包含在压缩表示中的对内部辞典存储器的引用相对应的图案数据的若干部分至少部分地解压缩至少部分压缩表示。
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