一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC-IGBT器件

    公开(公告)号:CN115621303B

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202211392381.3

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明涉及一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件集成的辅助耗尽栅由栅极氧化层、多晶硅栅极组成,其特点在于辅助耗尽栅与主栅短接在一起,对其施加电压可以耗尽漂移区P柱形成自适应的电阻。本发明的突出优势主要有两点。第一,正向导通功耗降相比于传统SJ‑IGBT器件低了21%。第二,关断损耗相比传统RC‑IGBT器件降低了53%,大幅改善了器件的关断损耗与通态压降之间的折中关系。

    一种集成双自偏置MOS低关断损耗的RC-LIGBT器件

    公开(公告)号:CN114937666B

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202210517761.9

    申请日:2022-05-12

    Abstract: 本发明涉及一种集成双自偏置MOS低关断损耗的RC‑LIGBT器件,属于半导体技术领域。本发明的LIGBT器件,具有以下结构及性能特征:(1)反向导通MOS与低关断损耗MOS均包含N‑base﹑P‑base和N+集电极,金属栅极通过多晶硅层分别与N‑base和N+集电极短接,无需额外栅信号控制。(2)正向导通时,无负阻效应;反向导通时,当VGS,RC>VTH,反向导通MOS自动开启,器件实现反向导通;在关断时刻,器件满足VGS,FC>VTH,低关断损耗MOS开启,电子可以通过低关断损耗MOS抽取,减小了关断时间,降低了关断损耗。

    一种集成自偏置PMOS的低功耗LIGBT器件

    公开(公告)号:CN115458593A

    公开(公告)日:2022-12-09

    申请号:CN202211318477.5

    申请日:2022-10-26

    Abstract: 本发明涉及一种集成自偏置PMOS的低功耗LIGBT器件,属于半导体技术领域。该器件包括衬底、埋氧层、漂移区、P型埋层、普通MOS区、自偏置PMOS区以及阳极区。衬底、埋氧层、漂移区自下而上依次设置,P型埋层设置在漂移区内,被漂移区完全包裹。普通MOS区与自偏置PMOS区相邻,阳极区位于器件的右上侧。本发明通过集成自偏置PMOS区域能够在阳极电压增加时,降低器件的饱和电流;在器件关断时降低器件的关断损耗;在短路工作时提高器件的短路工作特性。

    一种衬底集成反并联续流二极管的RC-LIGBT器件

    公开(公告)号:CN113782592B

    公开(公告)日:2023-08-29

    申请号:CN202111061265.9

    申请日:2021-09-10

    Abstract: 本发明涉及一种衬底集成反并联续流二极管的RC‑LIGBT器件,属于功率半导体技术领域。该器件包括由P+发射极、N+电子发射极、P‑body、N型漂移区、缓冲层和P型集电极形成的IGBT导电区域;由P+发射极、P型衬底和N型集电极形成的PIN续流二极管导电区域。正向导通时,IGBT导电区域工作,无负阻效应且导通压降低;反向导通时,PIN续流二极管导电区域工作,提供空穴电流路径实现二极管的集成。本发明消除了传统RC‑LIGBT的负阻Snapback效应,同时能够大大降低关断损耗。

    一种具有集电极多晶硅电子通道的RC-IGBT器件

    公开(公告)号:CN112466935B

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202011481591.0

    申请日:2020-12-15

    Abstract: 本发明涉及一种具有集电极多晶硅电子通道的RC‑IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件具有以下三个特点:(1)将传统RC‑IGBT的P集电极区分割成高浓度的P+空穴区和低浓度的P型电子阻挡层两段。(2)N+集电极设置在高浓度的P+空穴区内。(3)集电极底部引入N型多晶硅层。正向导通时,通过调整多晶硅层和P型电子阻挡层的掺杂,可以改变集电极短路电阻RCS,从而完全消除snapback效应;关断时,多晶硅层可以快速提取电子,有效降低关断损耗;仿真结果表明:与TRC RC‑IGBT相比,该器件正向导通时完全消除了snapback效应,且在同样正向导通压降为2.8V时,其关断损耗Eoff降低了59%。

    一种集成表面和体内反并联二极管的LIGBT器件

    公开(公告)号:CN114300537A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202111506390.6

    申请日:2021-12-10

    Abstract: 本发明提出一种集成表面和体内反并联二极管的LIGBT器件,属于功率半导体技术领域。本发明的LIGBT器件集成了表面和体内双二极管,其中P+表面层为阳极,P型浮空层为漂移区,N‑隔离区为漂移区,N+表面层为阴极,构成表面二极管结构;P+表面层为阳极,P‑top区域为漂移区,N型漂移区和N‑隔离区为漂移区,N+表面层为阴极,构成体内二极管结构。该器件正向导通时,空穴可以通过体内二极管抽取,降低了器件的饱和电流密度,增强了器件的短路安全工作特性;反向导通时,体内和表面二极管同时承担反向电流;在关断时刻,体内二极管抽取存储的载流子,减小关断时间和关断损耗。

    一种衬底集成反并联续流二极管的RC-LIGBT器件

    公开(公告)号:CN113782592A

    公开(公告)日:2021-12-10

    申请号:CN202111061265.9

    申请日:2021-09-10

    Abstract: 本发明涉及一种衬底集成反并联续流二极管的RC‑LIGBT器件,属于功率半导体技术领域。该器件包括由P+发射极、N+电子发射极、P‑body、N型漂移区、缓冲层和P型集电极形成的IGBT导电区域;由P+发射极、P型衬底和N型集电极形成的PIN续流二极管导电区域。正向导通时,IGBT导电区域工作,无负阻效应且导通压降低;反向导通时,PIN续流二极管导电区域工作,提供空穴电流路径实现二极管的集成。本发明消除了传统RC‑LIGBT的负阻Snapback效应,同时能够大大降低关断损耗。

    一种具有集电极多晶硅电子通道的RC-IGBT器件

    公开(公告)号:CN112466935A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:CN202011481591.0

    申请日:2020-12-15

    Abstract: 本发明涉及一种具有集电极多晶硅电子通道的RC‑IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件具有以下三个特点:(1)将传统RC‑IGBT的P集电极区分割成高浓度的P+空穴区和低浓度的P型电子阻挡层两段。(2)N+集电极设置在高浓度的P+空穴区内。(3)集电极底部引入N型多晶硅层。正向导通时,通过调整多晶硅层和P型电子阻挡层的掺杂,可以改变集电极短路电阻RCS,从而完全消除snapback效应;关断时,多晶硅层可以快速提取电子,有效降低关断损耗;仿真结果表明:与TRC RC‑IGBT相比,该器件正向导通时完全消除了snapback效应,且在同样正向导通压降为2.8V时,其关断损耗Eoff降低了59%。

    一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC-IGBT器件

    公开(公告)号:CN115621303A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211392381.3

    申请日:2022-11-08

    Abstract: 本发明涉及一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,属于半导体技术领域。该器件集成的辅助耗尽栅由栅极氧化层、多晶硅栅极组成,其特点在于辅助耗尽栅与主栅短接在一起,对其施加电压可以耗尽漂移区P柱形成自适应的电阻。本发明的突出优势主要有两点。第一,正向导通功耗降相比于传统SJ‑IGBT器件低了21%。第二,关断损耗相比传统RC‑IGBT器件降低了53%,大幅改善了器件的关断损耗与通态压降之间的折中关系。

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