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公开(公告)号：CN117153723B
公开(公告)日：2024-05-03
申请号：CN202311113227.2
申请日：2023-08-31
Applicant: 重庆大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , B05D3/06
Abstract: 本发明公开了一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置；所述湿法刻蚀装置按照基板的传输方向依次设有干区间、刻蚀区间、缓冲区间、水洗区间和风干区间；所述刻蚀区间内设有第一磁铁装置，所述缓冲区间内还设有第二磁铁装置，所述湿法刻蚀装置还包括涡流管，所述缓冲区间内还设有热风口和第一排气口，所述缓冲风刀的外形设置成弧形，缓冲风刀的斜上方设有热气管，热气管的喷嘴正对缓冲风刀，所述涡流管的热气支管分别与热风口和热气管连通；所述湿法刻蚀装置还包括冷却装置，所述涡流管的冷气支管与冷却装置连通。本发明能够有效地避免Mo/Al、Mo/Al/Mo刻蚀制程中的顶Mo缩进问题，避免显示污渍等品质问题，确保产品品质和良率。
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公开(公告)号：CN110929925A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911122669.7
申请日：2019-11-15
Applicant: 国家电网有限公司 , 国网重庆市电力公司 , 国网重庆市电力公司经济技术研究院 , 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种基于环境温度与用户行为的电动汽车充电站规划方法，包括如下步骤：S1.构建电动汽车的电池剩余电量计算模型；S2.计算电动汽车的行驶速度；S3.获取电动汽车从初始位置到目的地的最短路径；S4.若电动汽车行驶一段时间后的剩余电量小于阈值，则需要充电；S5.统计充电站的充电需求数量；S6.配置充电站内充电桩数量；S7.构建充电站规划模型；S8.根据充电站规划模型，得到充电站的位置和容量。本发明的基于环境温度与用户行为的电动汽车充电站规划方法，能够合理地配置电动汽车充电站的位置和容量，避免了资源的浪费，使得充电站建设更加准确，进而满足电动汽车高速发展的需求，保证用户方便地获得充电服务。
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公开(公告)号：CN117153723A
公开(公告)日：2023-12-01
申请号：CN202311113227.2
申请日：2023-08-31
Applicant: 重庆大学
IPC: H01L21/67 , H01L21/306 , B05D3/06
Abstract: 本发明公开了一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置；所述湿法刻蚀装置按照基板的传输方向依次设有干区间、刻蚀区间、缓冲区间、水洗区间和风干区间；所述刻蚀区间内设有第一磁铁装置，所述缓冲区间内还设有第二磁铁装置，所述湿法刻蚀装置还包括涡流管，所述缓冲区间内还设有热风口和第一排气口，所述缓冲风刀的外形设置成弧形，缓冲风刀的斜上方设有热气管，热气管的喷嘴正对缓冲风刀，所述涡流管的热气支管分别与热风口和热气管连通；所述湿法刻蚀装置还包括冷却装置，所述涡流管的冷气支管与冷却装置连通。本发明能够有效地避免Mo/Al、Mo/Al/Mo刻蚀制程中的顶Mo缩进问题，避免显示污渍等品质问题，确保产品品质和良率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117130235A
公开(公告)日：2023-11-28
申请号：CN202311113226.8
申请日：2023-08-31
Applicant: 重庆大学
IPC: G03F7/42
Abstract: 本发明公开了一种避免寄生栅极效应和斜纹Mura的光刻胶剥离装置；所述光刻胶剥离装置按照基板的传输方向依次设有干区间、剥离区间、热水洗区间、过冷水洗区间和风干区间；所述剥离区间的出口处设有用于向基板表面吹热风的热风刀，所述热水洗区间内设有用于向基板表面喷淋热水的第二喷淋管；所述过冷水洗区间的入口处设有用于向基板表面吹冷风的冷风刀，所述过冷水洗区间内设有用于向基板表面喷淋过冷水的第三喷淋管；所述光刻胶剥离装置还包括涡流管、加热装置和冷却装置。本发明规避了寄生栅极效应、斜纹Mura造成的产品良率和品质风险；并保证了光刻胶剥离设备的通用性，有益于产线物流优化和产能提升。
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公开(公告)号：CN114552622A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210188429.2
申请日：2022-02-28
Applicant: 国家电网有限公司 , 国网重庆市电力公司经济技术研究院 , 重庆大学
Abstract: 本发明具体涉及基于数据驱动的交直流混联电网动态无功储备评估方法，包括：基于同步调相机的原理和调节特性分析多馈入高压直流输电系统的电压稳定性，生成对应的暂态电压曲线；通过数据驱动的方式对暂态电压曲线进行平滑处理，生成对应的预处理电压曲线；通过增加同步调相机的无功输出，计算对应的轨迹灵敏度系数；对多馈入高压直流输电系统故障的严重程度进行定量分析；然后将预处理电压曲线与对应的轨迹灵敏度系数相结合；最后通过步进搜索算法计算满足电压安全约束的动态无功储备容量。本发明的动态无功储备评估方法能够兼顾提高动态无功储备评估的计算精度和求解效率，从而能够辅助提高电力系统运行控制的稳定性。
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公开(公告)号：CN115564489A
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN202211274436.0
申请日：2022-10-18
Applicant: 国家电网有限公司 , 国网重庆市电力公司经济技术研究院 , 国网重庆市电力公司 , 重庆大学
Abstract: 本发明提供了一种电网投资成本与负荷曲线特征关联性分析方法，首先，以电网输电线路投资成本及发电机组运行成本为目标函数，考虑功率平衡及支路功率上下限等约束，建立电网投资模型；其次，提出一种基于拉丁超立方抽样的蒙特卡洛模拟方法，实现对负荷曲线的生成，并提取负荷曲线特征，完成对数据集的构建，为分析电网投资成本与负荷特征的关联关系提供数据支撑；随后，构建模型的训练集输入和训练集输出，并对XGBoost模型进行训练，构建负荷曲线特征与电网投资成本的非线性映射关系；最后，通过对已训练好的XGBoost模型，计算出每个负荷曲线特征的权重，并对权重的大小进行排序，通过比较权重大小分析各负荷曲线特征对电网投资成本的影响程度。
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公开(公告)号：CN115630984A
公开(公告)日：2023-01-20
申请号：CN202210995896.6
申请日：2022-08-18
Applicant: 国家电网有限公司 , 国网重庆市电力公司经济技术研究院 , 国网重庆市电力公司 , 重庆大学
IPC: G06Q30/0202 , G06Q10/04 , G06Q50/06 , H02J3/00 , H02J3/38
Abstract: 本发明提供了一种考虑投资节支分享的峰谷分时电价优化方法，基于已有的峰谷时段划分进行电价优化设计，将负荷削峰填谷后电网投资成本节支内嵌至分时电价决策模型之中，实现电网和用户的节支效益共享，针对内嵌投资成本节支带来的计算复杂性，本发明提出最优性条件的模型转化求解方法，包括步骤：S1.建立考虑投资节支分享的分时电价优化模型；S2.基于最优性条件对建立的电网投资节支的分时电价优化模型进行转化；S3.根据转化后的考虑投资节支分享的峰谷分时电价模型计算出投资节支分享之后的成本，再根据节支分享后的成本对已有的峰谷分时电价重新定价。
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公开(公告)号：CN110929925B
公开(公告)日：2022-11-29
申请号：CN201911122669.7
申请日：2019-11-15
Applicant: 国家电网有限公司 , 国网重庆市电力公司 , 国网重庆市电力公司经济技术研究院 , 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种基于环境温度与用户行为的电动汽车充电站规划方法，包括如下步骤：S1.构建电动汽车的电池剩余电量计算模型；S2.计算电动汽车的行驶速度；S3.获取电动汽车从初始位置到目的地的最短路径；S4.若电动汽车行驶一段时间后的剩余电量小于阈值，则需要充电；S5.统计充电站的充电需求数量；S6.配置充电站内充电桩数量；S7.构建充电站规划模型；S8.根据充电站规划模型，得到充电站的位置和容量。本发明的基于环境温度与用户行为的电动汽车充电站规划方法，能够合理地配置电动汽车充电站的位置和容量，避免了资源的浪费，使得充电站建设更加准确，进而满足电动汽车高速发展的需求，保证用户方便地获得充电服务。
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