公开(公告)号：CN117153723B

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202311113227.2

申请日：2023-08-31

Applicant: 重庆大学

Inventor： 刘丹 ,  方亮 ,  黄中浩 ,  陈国良 ,  管飞 ,  宋群梁 ,  陈渝 ,  吴芳 ,  张淑芳 ,  刘高斌 ,  罗旭 ,  熊永 ,  吴旭 ,  林鸿涛

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  B05D3/06

Abstract: 本发明公开了一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置；所述湿法刻蚀装置按照基板的传输方向依次设有干区间、刻蚀区间、缓冲区间、水洗区间和风干区间；所述刻蚀区间内设有第一磁铁装置，所述缓冲区间内还设有第二磁铁装置，所述湿法刻蚀装置还包括涡流管，所述缓冲区间内还设有热风口和第一排气口，所述缓冲风刀的外形设置成弧形，缓冲风刀的斜上方设有热气管，热气管的喷嘴正对缓冲风刀，所述涡流管的热气支管分别与热风口和热气管连通；所述湿法刻蚀装置还包括冷却装置，所述涡流管的冷气支管与冷却装置连通。本发明能够有效地避免Mo/Al、Mo/Al/Mo刻蚀制程中的顶Mo缩进问题，避免显示污渍等品质问题，确保产品品质和良率。

公开(公告)号：CN117153723A

公开(公告)日：2023-12-01

申请号：CN202311113227.2

申请日：2023-08-31

Applicant: 重庆大学

Inventor： 刘丹 ,  方亮 ,  黄中浩 ,  陈国良 ,  管飞 ,  宋群梁 ,  陈渝 ,  吴芳 ,  张淑芳 ,  刘高斌 ,  罗旭 ,  熊永 ,  吴旭 ,  林鸿涛

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/306 ,  B05D3/06

Abstract: 本发明公开了一种规避顶Mo缩进的湿法刻蚀装置；所述湿法刻蚀装置按照基板的传输方向依次设有干区间、刻蚀区间、缓冲区间、水洗区间和风干区间；所述刻蚀区间内设有第一磁铁装置，所述缓冲区间内还设有第二磁铁装置，所述湿法刻蚀装置还包括涡流管，所述缓冲区间内还设有热风口和第一排气口，所述缓冲风刀的外形设置成弧形，缓冲风刀的斜上方设有热气管，热气管的喷嘴正对缓冲风刀，所述涡流管的热气支管分别与热风口和热气管连通；所述湿法刻蚀装置还包括冷却装置，所述涡流管的冷气支管与冷却装置连通。本发明能够有效地避免Mo/Al、Mo/Al/Mo刻蚀制程中的顶Mo缩进问题，避免显示污渍等品质问题，确保产品品质和良率。