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公开(公告)号：CN119179354B
公开(公告)日：2025-02-25
申请号：CN202411659313.8
申请日：2024-11-20
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本申请涉及温度控制技术领域，具体涉及一种应用于光电半导体硅片的退火温度控制方法。所述方法包括：对所述光电半导体硅片在退火过程中的温度数据进行预处理，获取温度预处理数据集；根据所述温度预处理数据集，获取温度隶属度函数；根据所述温度隶属度函数，对所述光电半导体硅片的退火温度进行模糊控制。本申请利用模糊PID控制算法能够克服调节信号非线性波动的问题，提高光电半导体硅片退火温度控制的精确度和实时性，从而提高半导体器件的性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN118759050B
公开(公告)日：2024-12-10
申请号：CN202411245894.0
申请日：2024-09-06
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本申请涉及硅棒缺陷检测技术领域，具体涉及一种单晶硅棒的缺陷检测方法及系统，具体包括：根据反射回波及透射回波中波峰的高度变化，分析同一高度处反射回波和透射回波之间的联系，确定两类回波的始波及底波，以及反射回波中的缺陷波；基于各个波的积分面积及出现时间的差异构建单晶硅棒各个高度处的位错横向指数，分析位错缺陷分布的横向特征；根据单晶硅棒各高度处位错横向指数的变化趋势计算单晶硅棒的位错纵向指数，分析位错缺陷的纵向分布特征；基于位错纵向指数进行位错缺陷检测，提高了对于位错缺陷特征的识别能力，提高了对单晶硅棒的位错缺陷检测的准确性。
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公开(公告)号：CN118759050A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202411245894.0
申请日：2024-09-06
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本申请涉及硅棒缺陷检测技术领域，具体涉及一种单晶硅棒的缺陷检测方法及系统，具体包括：根据反射回波及透射回波中波峰的高度变化，分析同一高度处反射回波和透射回波之间的联系，确定两类回波的始波及底波，以及反射回波中的缺陷波；基于各个波的积分面积及出现时间的差异构建单晶硅棒各个高度处的位错横向指数，分析位错缺陷分布的横向特征；根据单晶硅棒各高度处位错横向指数的变化趋势计算单晶硅棒的位错纵向指数，分析位错缺陷的纵向分布特征；基于位错纵向指数进行位错缺陷检测，提高了对于位错缺陷特征的识别能力，提高了对单晶硅棒的位错缺陷检测的准确性。
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公开(公告)号：CN119179354A
公开(公告)日：2024-12-24
申请号：CN202411659313.8
申请日：2024-11-20
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本申请涉及温度控制技术领域，具体涉及一种应用于光电半导体硅片的退火温度控制方法。所述方法包括：对所述光电半导体硅片在退火过程中的温度数据进行预处理，获取温度预处理数据集；根据所述温度预处理数据集，获取温度隶属度函数；根据所述温度隶属度函数，对所述光电半导体硅片的退火温度进行模糊控制。本申请利用模糊PID控制算法能够克服调节信号非线性波动的问题，提高光电半导体硅片退火温度控制的精确度和实时性，从而提高半导体器件的性能和可靠性。
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公开(公告)号：CN219583285U
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202320655646.8
申请日：2023-03-29
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种单晶硅棒取棒器，包括移动小车，移动小车的表面固定连接有把手架和固定架，固定架的侧壁从下至上依次装配有底部定位架、第一辅助定位架和第二辅助定位架，底部定位架与固定架之间装配有连接组件，固定架的顶部装配有剪切机构。在单晶硅棒生产完成后使单晶炉内出炉的单晶硅棒进入到底部定位架、第一辅助定位架和第二辅助定位架内，然后通过顶部的剪切机构对单晶硅棒顶部的引线进行剪切操作，不再需要传统的人工剪切，使对单晶硅棒的取棒与转运更加方便。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN217438344U
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202220596538.3
申请日：2022-03-18
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
IPC: C30B35/00
Abstract: 本实用新型公开了一种单晶炉排气管道的清理装置，包括管体，管体的内腔固定装配有隔板，管体的中心处贯穿有伸缩轴，伸缩轴的左端一体成型有清理架，开口槽的中心处装配有辅助清理机构，开口槽内开设有贯穿清理架的通孔，伸缩轴的中心处装配有与辅助清理机构传动连接的驱动组件。在清理架向左运动时，辅助清理机构的辅助清理板保持水平，排气管道内的杂质可以通过通孔进入到清理架的右侧，然后在伸缩轴带动清理架进行复位时，通过驱动组件使辅助清理机构的辅助清理板保持垂直，保证杂质可以进入到第一内腔中进行后续的集中处理，通过在清理架侧壁所设置的清洁棉块可以进一步加强对排气管道内腔侧壁的清理。
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公开(公告)号：CN221021806U
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202322483808.7
申请日：2023-09-13
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种硅棒加工线截断机，包括线截断机主体，线截断机主体的底部设置有底部架，底部架内装配有转运机构。可以根据所需要转运的单晶硅圆棒的尺寸对成左右对称设置的转运架进行位置的调节，从而使单晶硅圆棒在沿着转运架进行运动的过程中更加稳定，设置有辅助支撑块，通过辅助支撑块可以使转运架在进行托举的过程中更加稳定，在转运架的内侧壁设置有加强筋，通过加强筋增加转运架的稳定性，避免在对单晶硅圆棒进行转运的过程中转运架发生形变，导致线截断机主体对单晶硅圆棒的截断位置不准确。
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公开(公告)号：CN219603758U
公开(公告)日：2023-08-29
申请号：CN202320867415.3
申请日：2023-04-18
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
IPC: C30B15/02
Abstract: 本实用新型公开了一种单晶炉硅料复投装置，包括底座，底座的表面通过支撑架固定装配有底板，底板的顶部固定装配有储料桶，储料桶的内腔开设有储料腔和装配腔，储料腔的底部开设有贯穿至装配腔内的连接孔，装配腔的侧壁开设有贯穿储料桶的开口槽，储料腔内装配有储料架，装配腔内固定装配有与储料架相传动连接的传动机构，装配腔内固定装配有连接组件，装配腔内通过连接组件固定装配有贯穿开口槽的加料。对不同尺寸大小的硅料进行储存，通过传动机构带动储料架的转动，可以使第一料仓、第二料仓或第三料仓分别与加料管进行连通，通过加料管向单晶炉内完成硅料的复投，从而满足对单晶硅棒的不同加工时间硅料复投的生产需求。
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公开(公告)号：CN219586239U
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202320810497.8
申请日：2023-04-13
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种单晶炉水冷导流罩，包括外罩体和内罩体，外罩体和内罩体之间装配有固定螺栓，固定螺栓的顶部螺接有螺母，内罩体与外罩体之间装配有冷却层，冷却层内装配有冷却管路，内罩体的顶部固定装配有进水管连接头和出水管连接头。在使用的过程中通过冷却层内所设置的冷却管路中冷却水的循环完成对内罩体和外罩体的整体降温，采用呈螺旋分布的冷却管路使其对内罩体和外罩体具有更好的冷却效果，当冷却管路内产生堵塞使其冷却水循环不畅时，可以单独对冷却层进行拆分更换，拆卸维护过程简单、方便，同时又节约了成本，避免了对导流罩的整体更换，避免了资源的浪费。
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公开(公告)号：CN217437134U
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN202220903518.6
申请日：2022-04-19
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种单晶硅棒截断传送运输装置，包括底座，底座的底部四角处均固定安装有滑轮，底座的表面固定装配有支撑机构，底座通过支撑机构装配有硅棒放置架，放置槽内装配有硅棒辅助移动机构。通过支撑机构对硅棒放置架的高度进行调节，使硅棒存放架与存放架的存放处的位置相匹配，然后通过硅棒辅助移动机构将硅棒移入到存放架的存放槽内，通过本装置可以一次完成对多个硅棒的同时转运，不再需要多次将硅棒搬运至存放架内，简化转运的过程，节约搬运的时间，并降低搬运工人的劳动强度。
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