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公开(公告)号：CN219586239U
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN202320810497.8
申请日：2023-04-13
Applicant: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种单晶炉水冷导流罩，包括外罩体和内罩体，外罩体和内罩体之间装配有固定螺栓，固定螺栓的顶部螺接有螺母，内罩体与外罩体之间装配有冷却层，冷却层内装配有冷却管路，内罩体的顶部固定装配有进水管连接头和出水管连接头。在使用的过程中通过冷却层内所设置的冷却管路中冷却水的循环完成对内罩体和外罩体的整体降温，采用呈螺旋分布的冷却管路使其对内罩体和外罩体具有更好的冷却效果，当冷却管路内产生堵塞使其冷却水循环不畅时，可以单独对冷却层进行拆分更换，拆卸维护过程简单、方便，同时又节约了成本，避免了对导流罩的整体更换，避免了资源的浪费。
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