公开(公告)号：CN1987490A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610171233.3

申请日：2006-12-21

申请人： 许廷格电子有限及两合公司

发明人： 斯文·阿克森贝克 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  梅尔廷·施托伊贝尔 ,  彼得·维德姆特 ,  洛塔尔·沃尔夫

IPC分类号： G01R17/00 ,  G01R19/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34 ,  H02H7/00 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01J37/3444 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/12 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/0206

摘要： 本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1)，包括至少一个比较器(ADC)，为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值(R1到R4)，其中，比较器(3到6)连接到逻辑器件(16)，所述逻辑器件(16)生成用于电弧抑制设备(23)的信号。

公开(公告)号：CN1863428A

公开(公告)日：2006-11-15

申请号：CN200510121692.6

申请日：2005-12-23

申请人： 许廷格电子有限及两合公司

发明人： 阿尔弗雷德·特鲁什 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  洛塔尔·沃尔夫 ,  马丁·施托伊贝尔 ,  斯文·阿克森贝克 ,  彼得·威德穆特

IPC分类号： H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01J37/3299 ,  H01J37/32018

摘要： 等离子体激发系统(1)，用于为等离子体处理提供功率，包括至少一个可连接于市电电源(3)的DC电流源(2、2’、2”、2”’)；至少一个连接于DC电流源(2、2’、2”、2”’)的中频(MF)单元(4，8)，用于在其输出端产生AC电压，其中MF单元(4，8)的输出端可连接于涂覆室(7)的电极(5、6、9、10)；以及调节和/或控制装置(11)，其被连接于该至少一个DC电流源(2、2’、2”、2”’)用于调节和/或控制DC电流源(2、2’、2”、2”’)的输出值，还被连接于该至少一个MF单元(4，8)用于调节和/或控制MF单元(4，8)的输出值，其中调节和/或控制装置(11)包括至少一个输入接口(11，11d)，用于提供描述该至少一个MF单元(4，8)的输出值的值；以及至少一个控制输出接口(11e，11f)，用于连接该至少一个MF单元(4，8)的控制输入端。从而能产生均匀的二维等离子体。

公开(公告)号：CN1987490B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200610171233.3

申请日：2006-12-21

申请人： 许廷格电子有限及两合公司

发明人： 斯文·阿克森贝克 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  梅尔廷·施托伊贝尔 ,  彼得·维德姆特 ,  洛塔尔·沃尔夫

IPC分类号： G01R17/00 ,  G01R19/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34 ,  H02H7/00 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01J37/3444 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/12 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/0206

摘要： 本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1)，包括至少一个比较器(ADC)，为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值(R1到R4)，其中，比较器(3到6)连接到逻辑器件(16)，所述逻辑器件(16)生成用于电弧抑制设备(23)的信号。

公开(公告)号：CN100441066C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200510121692.6

申请日：2005-12-23

申请人： 许廷格电子有限及两合公司 ,  株式会社爱发科

发明人： 阿尔弗雷德·特鲁什 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  洛塔尔·沃尔夫 ,  马丁·施托伊贝尔 ,  斯文·阿克森贝克 ,  彼得·威德穆特 ,  崛下芳邦

IPC分类号： H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01J37/3299 ,  H01J37/32018

摘要： 等离子体激发系统(1)，用于为等离子体处理提供功率，包括至少一个可连接于市电电源(3)的DC电流源(2、2’、2”、2”’)；至少一个连接于DC电流源(2、2’、2”、2”’)的中频(MF)单元(4，8)，用于在其输出端产生AC电压，其中MF单元(4，8)的输出端可连接于涂覆室(7)的电极(5、6、9、10)；以及调节和/或控制装置(11)，其被连接于该至少一个DC电流源(2、2’、2”、2”’)用于调节和/或控制DC电流源(2、2’、2”、2”’)的输出值，还被连接于该至少一个MF单元(4，8)用于调节和/或控制MF单元(4，8)的输出值，其中调节和/或控制装置(11)包括至少一个输入接口(11，11d)，用于提供描述该至少一个MF单元(4，8)的输出值的值；以及至少一个控制输出接口(11e，11f)，用于连接该至少一个MF单元(4，8)的控制输入端。从而能产生均匀的二维等离子体。