公开(公告)号：CN100441066C

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200510121692.6

申请日：2005-12-23

申请人： 许廷格电子有限及两合公司 ,  株式会社爱发科

发明人： 阿尔弗雷德·特鲁什 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  洛塔尔·沃尔夫 ,  马丁·施托伊贝尔 ,  斯文·阿克森贝克 ,  彼得·威德穆特 ,  崛下芳邦

IPC分类号： H05H1/46 ,  H01J37/32

CPC分类号： H01J37/3299 ,  H01J37/32018

摘要： 等离子体激发系统(1)，用于为等离子体处理提供功率，包括至少一个可连接于市电电源(3)的DC电流源(2、2’、2”、2”’)；至少一个连接于DC电流源(2、2’、2”、2”’)的中频(MF)单元(4，8)，用于在其输出端产生AC电压，其中MF单元(4，8)的输出端可连接于涂覆室(7)的电极(5、6、9、10)；以及调节和/或控制装置(11)，其被连接于该至少一个DC电流源(2、2’、2”、2”’)用于调节和/或控制DC电流源(2、2’、2”、2”’)的输出值，还被连接于该至少一个MF单元(4，8)用于调节和/或控制MF单元(4，8)的输出值，其中调节和/或控制装置(11)包括至少一个输入接口(11，11d)，用于提供描述该至少一个MF单元(4，8)的输出值的值；以及至少一个控制输出接口(11e，11f)，用于连接该至少一个MF单元(4，8)的控制输入端。从而能产生均匀的二维等离子体。