发明公开
CN1987490A 用于检测电弧的方法和设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 用于检测电弧的方法和设备
- 专利标题（英）： Method and device for detecting arcs
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申请号： CN200610171233.3申请日： 2006-12-21
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公开(公告)号： CN1987490A公开(公告)日： 2007-06-27
- 发明人: 斯文·阿克森贝克 , 马库斯·班瓦尔特 , 梅尔廷·施托伊贝尔 , 彼得·维德姆特 , 洛塔尔·沃尔夫
- 申请人： 许廷格电子有限及两合公司
- 申请人地址： 德国弗莱堡
- 专利权人： 许廷格电子有限及两合公司
- 当前专利权人： 许廷格电子有限及两合公司
- 当前专利权人地址： 德国弗莱堡
- 代理机构： 永新专利商标代理有限公司
- 代理商 林锦辉
- 优先权： 05028145.0 2005.12.22 EP
- 主分类号： G01R17/00
- IPC分类号： G01R17/00 ; G01R19/00 ; C23C14/34 ; C23C14/54 ; H01J37/34 ; H02H7/00 ; H05H1/46
摘要：
本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1)，包括至少一个比较器(ADC)，为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值(R1到R4)，其中，比较器(3到6)连接到逻辑器件(16)，所述逻辑器件(16)生成用于电弧抑制设备(23)的信号。
公开/授权文献
- CN1987490B 用于检测电弧的方法和设备 公开/授权日：2011-07-27
