公开(公告)号：CN1987490B

公开(公告)日：2011-07-27

申请号：CN200610171233.3

申请日：2006-12-21

申请人： 许廷格电子有限及两合公司

发明人： 斯文·阿克森贝克 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  梅尔廷·施托伊贝尔 ,  彼得·维德姆特 ,  洛塔尔·沃尔夫

IPC分类号： G01R17/00 ,  G01R19/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34 ,  H02H7/00 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01J37/3444 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/12 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/0206

摘要： 本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1)，包括至少一个比较器(ADC)，为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值(R1到R4)，其中，比较器(3到6)连接到逻辑器件(16)，所述逻辑器件(16)生成用于电弧抑制设备(23)的信号。

公开(公告)号：CN1987490A

公开(公告)日：2007-06-27

申请号：CN200610171233.3

申请日：2006-12-21

申请人： 许廷格电子有限及两合公司

发明人： 斯文·阿克森贝克 ,  马库斯·班瓦尔特 ,  梅尔廷·施托伊贝尔 ,  彼得·维德姆特 ,  洛塔尔·沃尔夫

IPC分类号： G01R17/00 ,  G01R19/00 ,  C23C14/34 ,  C23C14/54 ,  H01J37/34 ,  H02H7/00 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01J37/3444 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/12 ,  H01J37/34 ,  H01J2237/0206

摘要： 本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1)，包括至少一个比较器(ADC)，为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号，还为所述比较器提供参考值(R1到R4)，其中，比较器(3到6)连接到逻辑器件(16)，所述逻辑器件(16)生成用于电弧抑制设备(23)的信号。