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    一种PFG Emission Current检测电路
    1.
    发明公开
    一种PFG Emission Current检测电路 无效

    公开(公告)号：CN108732406A

    公开(公告)日：2018-11-02

    申请号：CN201710273839.6

    申请日：2017-04-25

    申请人： 北京中科信电子装备有限公司

    发明人： 王浩

    IPC分类号： G01R19/00

    CPC分类号： G01R19/0061

    摘要： 本发明公开了一种PFG Emission Current检测电路，属于半导体制造领域。PFG Emission Current检测电路包括：电路供电单元(1)、信号转换单元(2)、信号处理单元(3)。由于所选放大器均需求±15V供电，需由电路供电单元(1)将原先所有的24V直流电转化为所需的供电；由PFG检测到的信号为电流信号，需要由信号转换单元(2)将其转化为电压信号，再由放大器对信号进行处理；信号需要由信号处理单元(3)放大，仪表放大器接收到电压信号之后先将电压信号正向放大10倍，再由运算放大器正向放大5倍(或不放大)再由电压跟随器输出。得到的运算放大器输出的信号进入控制器并经过计算显示出来。

    间隙可调整的法拉第探针
    2.
    发明公开
    间隙可调整的法拉第探针 有权

    公开(公告)号：CN108318725A

    公开(公告)日：2018-07-24

    申请号：CN201810010601.9

    申请日：2018-01-05

    申请人： 北京航空航天大学

    发明人： 袁军娅 ,  杨祖仪 ,  刘立辉 ,  翁惠焱 ,  贺碧蛟

    IPC分类号： G01R15/24 ,  G01R19/00 ,  G01R19/08

    CPC分类号： G01R15/246 ,  G01R19/0061 ,  G01R19/08

    摘要： 本发明提供了一种间隙可调整的法拉第探针，属于电推进器等离子体测量设备领域，该间隙可调整的法拉第探针包括收集器、第一绝缘体、可调式间隙绝缘体、保护环和调节螺栓；收集器包括盘状的收集面以及与收集面相连接的导电杆，第一绝缘体套接在导电杆上，保护环与导电杆连接，收集面的外缘与保护环的内壁面具有间隙，可调式间隙绝缘体套设在收集器和第一绝缘体的外部，调节螺栓与可调式间隙绝缘体螺纹连接，通过旋转调节螺栓能够调整可调式间隙绝缘体伸入或者伸出收集面的外缘与保护环的内壁面的间隙。使法拉第探针有一般以及间隙填充两种工作状况，并且由其工作状况可调性，能够在同样尺寸参数下对间隙误差进行分析。

    用于监测等离子体处理部中的放电的装置和方法
    3.
    发明授权
    用于监测等离子体处理部中的放电的装置和方法 有权

    公开(公告)号：CN105637611B

    公开(公告)日：2017-10-24

    申请号：CN201480054484.6

    申请日：2014-09-30

    申请人： 通快许廷格两合公司

    发明人： D·莱波尔德 ,  U·里希特 ,  F·文恩

    IPC分类号： H01J37/32

    CPC分类号： H01J37/32009 ,  G01R19/0061 ,  G01R31/12 ,  H01J37/32917 ,  H01J37/32926 ,  H01J37/32935 ,  H01J37/32944

    摘要： 本发明涉及用于监测等离子体处理部中的放电的装置和方法，具体而言，涉及用于监测阴极溅射器件(13)的电极之间的放电的装置和方法，电力发生器利用电力发生器的周期性变化的输出信号向等离子体处理部供给功率，具有以下步骤：a.检测至少一个等离子体源信号(19)的在等离子体源信号的至少一个周期内的至少第一时间范围内的至少第一信号序列(2)，b.检测至少一个等离子体源信号(19)的在等离子体源信号的至少另外一个周期中的至少第二时间范围内的至少第二信号序列(6)，该第二时间范围位于与第一时间范围相对应的点处，c.如果第二信号序列偏离第一信号序列至少一距离，那么生成识别信号，其中，所述距离具有最小时间差(22)和最小信号振幅差(21)。特别地，由此可以以非常可靠和非常快速的方式识别电弧。

    一种直通光路线性光学电流传感器及电流检测方法
    4.
    发明公开
    一种直通光路线性光学电流传感器及电流检测方法 无效

    公开(公告)号：CN106597053A

    公开(公告)日：2017-04-26

    申请号：CN201710062869.2

    申请日：2017-01-24

    申请人： 福州大学

    发明人： 徐启峰 ,  黄奕钒 ,  项宇锴 ,  许志坤

    IPC分类号： G01R15/24 ,  G01R19/25 ,  G01R19/00

    CPC分类号： G01R15/246 ,  G01R19/0061 ,  G01R19/0092 ,  G01R19/25

    摘要： 本发明涉及一种直通光路线性光学电流传感器及电流检测方法，包括：依次设置于同一光路上的光源、准直器、起偏器、第一导磁板、磁光薄膜、第二导磁板以及径向检偏光栅；第一导磁板的设置于一开气隙的集磁环气隙开口的一侧，第二导磁板的设置于该集磁环气隙开口的另一侧；还包括一穿过所述集磁环的载流导线。该检测方法包括：光信号从光源经准直器、起偏器得、第一导磁板、磁光薄膜以及第二导磁板到达径向检偏光栅，经径向检偏后得到一个形状固定的光斑，通过测出该光斑的旋转角度即可得到载流导线中的待测电流值。本发明处的装置以及方法消除了反射相移，增加了测量灵敏度，检测模式与光功率无关，线性测量以及动态测量范围和灵敏度大大提高。

    一种调压式智能火焰离子电流检测电路
    7.
    发明公开
    一种调压式智能火焰离子电流检测电路 无效

    公开(公告)号：CN105842514A

    公开(公告)日：2016-08-10

    申请号：CN201510915097.3

    申请日：2015-12-14

    申请人： 湖南理工学院

    发明人： 郭洪澈 ,  游述怀 ,  罗映波 ,  周海明

    IPC分类号： G01R19/00

    CPC分类号： G01R19/0061

    摘要： 本发明涉及一种调压式智能火焰离子电流检测电路，主要用于工业燃烧器中长明灯火焰的检测。与现有技术相比，精化了电路处理方式。以单片机为核心，应用单片机内控反馈脉宽调制技术，通过调制加载在金属检测电极上的电压大小整定火焰电势场强的高低，稳定火焰离子电流信号的产生，同时，应用识别与数控增益电路使火焰离子电流信号适配单片机采集要求。因此，可有效地解决因火焰飘移导致火焰信号忽有忽无、或因环境污染、潮湿造成绝缘降低、漏电导致检测不到信号的问题。电路由单片机电路、振荡变压电路、金属检测电极、识别与程控增益电路、开关量及4—20mA信号对外输出电路、通讯电路、显示和键盘电路、电源电路等组成。具有信号采集自动增益控制、开关量输出自动阈值收索、设置功能，电路智能化、可靠性较高。

    用于温度补偿验证的高压离子室的自加热静电计
    10.
    发明公开
    用于温度补偿验证的高压离子室的自加热静电计 无效

    公开(公告)号：CN103364607A

    公开(公告)日：2013-10-23

    申请号：CN201310103394.9

    申请日：2013-03-28

    申请人： 通用电气公司

    发明人： D.J.麦科米克

    IPC分类号： G01R19/00 ,  G01R35/00

    CPC分类号： G01R19/0061 ,  G01R19/0023 ,  G01R19/32

    摘要： 提供用于验证静电计的温度补偿校正因数准确性的设备和方法。该静电计包括用于将电流信号转换成电压信号的电放大器。该静电计还包括用于修改电压信号用于温度补偿的补偿电路。该静电计进一步包括用于引发电放大器和补偿电路的温度改变的热产生装置。还提供环境辐射监测器。该环境辐射监测器包括电力供应、高压电离室和静电计。该方法包括提供环境辐射监测器、在第一时间测量电压信号、激活热产生装置、在第二时间测量电压信号和比较两个测量的电压信号的值。