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公开(公告)号：CN115580254A
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202211094115.2
申请日：2022-09-05
Abstract: 公开了一种射频等离子体中多频自动滤波装置，射频等离子体中多频自动滤波装置中，陶瓷护套探入射频等离子体中，所述陶瓷护套为密封的中空结构，其一端连接信号输入线和信号控制线，另一端连接信号输出线；多频滤波电路设于所述中空结构中，多频滤波电路连接所述信号输入线；选通开关设于所述中空结构中，选通开关一端连接所述多频率滤波电路，另一端连接所述信号输出线；开关控制器设于所述中空结构中，开关控制器一端连接所述信号控制线，另一端连接所述选通开关；信号输入及控制器设于所述陶瓷护套之外，信号输入及控制器连接所述信号控制线和信号输入线。
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公开(公告)号：CN120006263A
公开(公告)日：2025-05-16
申请号：CN202311527322.7
申请日：2023-11-15
Abstract: 公开了一种粉体表面元素掺杂类金刚石沉积装置，粉体表面元素掺杂类金刚石沉积装置中，振动台提供可调节振动，等离子体反应腔容纳粉体且在底部形成沉积区域，等离子体反应腔支承于振动台以振动分散粉体，靶材基座设于密封盖底部，靶材安装于靶材基座，脉冲功率源连接靶材基座以提供脉冲功率溅射靶材生成掺杂元素，电感线圈安装于等离子体反应腔外，电感线圈连接高频匹配电路以在等离子体反应腔中产生高密度等离子体，偏置电极设于等离子体反应腔的下部，偏置电极连接低频匹配电路以调节沉积区域离子能量。
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公开(公告)号：CN118920280A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410981391.3
申请日：2024-07-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种基于磁约束的气体火花开关绝缘保护装置，装置中，壳体两端设有绝缘密封盖板形成容纳开关绝缘气体的密封结构，地电极固定于一端的绝缘密封盖板中央且朝壳体内延伸；高压电极固定于另一端的绝缘密封盖板中央且朝壳体内延伸与地电极相对布置，高压电极的内部设有通孔；触发电极穿设于通孔以嵌于高压电极内部，气孔位于绝缘密封盖板上以通入与排出开关绝缘气体；线圈绕于绝缘密封盖板外部且与用于在线圈中产生交流信号的交流源相连以在壳体内部产生径向的磁场；触发源与触发电极相连，为触发电极施加触发电压，触发开关导通；重复频率控制器与交流源和触发源相连，控制触发源触发频率与交流源的输出频率。
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公开(公告)号：CN118920279A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202410981386.2
申请日：2024-07-22
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 公开了一种油冷式重复频率气体火花开关，开关中，绝缘壳为圆柱形壳体，一对放电腔盖板设于绝缘壳两端形成容纳开关绝缘气体的密封结构；一对冷却油腔分别固定于一对放电腔盖板中心且朝绝缘壳壳体内延伸以相对布置；一对开关电分别相连一对冷却油腔位于壳体内的端部以相对布置；气孔位于放电腔盖板上以通入与排出开关绝缘气体；一对进油口分别深入一对冷却油腔底部，一对出油口分别位于一对冷却油腔端部，制冷压缩机用于冷却绝缘油，油泵与制冷压缩机相连，用于驱动油冷循环，油箱储存冷却用绝缘油，油箱、油泵、制冷压缩机、进油口和出油口构成油冷循环油路。
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公开(公告)号：CN115261816A
公开(公告)日：2022-11-01
申请号：CN202211081272.X
申请日：2022-09-05
IPC: C23C16/26 , C23C16/44 , C23C16/442 , C23C16/507
Abstract: 公开了一种粉体表面类金刚石沉积的悬臂梁式振动等离子体流化床，粉体表面类金刚石沉积的悬臂梁式振动等离子体流化床中，等离子体反应腔布置成悬臂梁结构，所述等离子体反应腔一端连通进气管，另一端连通出气管；连杆电机驱动连接所述等离子体反应腔且使得所述等离子体反应腔往复振动；气体分布板设于所述等离子体反应腔中，气体分布板设有多个用于均匀导入来自进气管道的气体的通孔；外置电极设于所述等离子体反应腔侧壁以在其中放电产生等离子体，并调节所述等离子体的离子能量；电感线圈套接于等离子体反应腔外部以调节所述等离子体的密度。
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