公开(公告)号：CN119993876A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510202188.6

申请日：2025-02-24

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 陈磊 ,  徐可可 ,  缑洪遴 ,  雒春升 ,  肖晨 ,  钱林茂

IPC: H01L21/67 ,  B08B1/12 ,  B08B1/34 ,  B08B13/00 ,  B08B1/20

Abstract: 本发明公开了一种具有接触力测控的晶圆滚刷旋转刷洗装置，包括旋转平台电机、箱体、梁、滚刷电机、后压力传感器、微型模组、滚刷电机轴、滚刷和前压力传感器，所述旋转平台电机位于箱体的底部，梁的一端安装于箱体内，另一端穿过箱体与前压力传感器相连，所述后压力传感器与梁连接并位于箱体内。所述滚刷电机位于箱体内，滚刷电机的转轴端与滚刷电机轴的端部相连，滚刷电机轴与滚刷相连，滚刷的另一端与连接件相连。

公开(公告)号：CN117817533A

公开(公告)日：2024-04-05

申请号：CN202410112212.2

申请日：2024-01-26

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 陈磊 ,  吴庆果 ,  韩艳君 ,  党社会 ,  杨铸 ,  张海阳 ,  徐可可 ,  冀占宇 ,  钱林茂

IPC: B24B29/04 ,  B24B47/12 ,  B24B57/02 ,  B24B41/06

Abstract: 本发明公开了一种面向具有微细内孔零件的绳式抛光装置，包括机体模块，机体模块内设有抛光液循环模块、工件固定运动模块和抛光绳控制模块。待抛光工件安装在工件固定运动模块上，在抛光液循环模块提供抛光液的情况下，通过抛光绳控制模块完成工件的光整加工。本发明所提供的一种面向具有微细内孔零件的绳式抛光装置，通过带有抛光工作段的抛光绳穿过狭长内孔，利用其高速旋转对具有微细内孔零件内壁进行磨削抛光加工。同时工件进行多自由度运动，实现对具有狭长内孔特征零件内孔的随形抛光。该装置的抛光效率高，抛光质量、抛光均匀性较好。

公开(公告)号：CN118003223A

公开(公告)日：2024-05-10

申请号：CN202410116290.X

申请日：2024-01-26

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 陈磊 ,  党社会 ,  韩艳君 ,  吴庆果 ,  张海阳 ,  杨铸 ,  冀占宇 ,  徐可可 ,  钱林茂

IPC: B24B29/02 ,  B24B1/00 ,  B24B47/12 ,  B24B57/02 ,  B24B57/00 ,  B24B41/06 ,  B24B37/00 ,  B24B37/005 ,  B24B37/34

Abstract: 本发明公开了一种用于零件狭长内孔表面的绳式抛光方法，包括以下步骤：S1、获取待抛光件；S2、获取待抛光面/孔的尺寸及待抛光件的其它信息，制作抛光绳、设定抛光机参数和选择抛光液；S3、安装抛光绳、固定抛光件、写入抛光控制程序；S4、抛光机器根据控制程序进行抛光；S5、检查抛光是否达到应有效果，如果“是”就结束，否则重新进行抛光。本发明所提供的一种用于零件狭长内孔表面的绳式抛光方法，通过缠有抛光材料的抛光绳穿过狭长内孔，利用其高速旋转对工件内壁进行磨削抛光加工，同时工件运动，实现对工件的狭长内孔表面的随形抛光。