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公开(公告)号：CN119846853A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411943648.2
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
IPC: G02B27/62 , G02B7/00 , G02B21/06 , F21V14/08 , F21V17/02 , F21V11/08 , G01D11/00 , G01D5/26 , H01L21/66
Abstract: 本申请提供一种检测设备的调整方法，检测设备从物方到像方依次包括物镜、分光镜、筒镜和探测器，还包括科勒照明模组；照明光束从科勒照明模组出射，经过分光镜传输到物镜，待测物设置在物镜的远离分光镜的一侧时，用于对将物镜中出射的照明光束进行反射得到反射光束，反射光束依次经过物镜、分光镜和筒镜到达探测器。在科勒照明模组中插入孔径光阑及在筒镜和分光镜之间设置第一辅助透镜后，通过探测器获取孔径光阑在物镜的入瞳形成的光斑的第一光斑位置；在科勒照明模组不提供照明光束且将光源作为待测物的情况下，通过探测器获取物镜的入瞳的光斑的第二光斑位置；根据第一光斑位置和第二光斑位置调整孔径光阑的位置，对齐照明光轴和成像光轴。
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公开(公告)号：CN119355942B
公开(公告)日：2025-03-28
申请号：CN202411933031.2
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
Abstract: 本申请提供了一种光源耦合系统、方法、设备及存储介质，系统包括：第一透镜组合、衰减片、第二透镜组合、连续可调长通滤光片和连续可调短通滤光片。光源发射的光线经过第一透镜组合形成平行光，利用衰减片调整平行光的亮度，衰减片的透过率呈固定梯度变化；经过亮度调整的平行光通过第二透镜组合进行汇聚形成汇聚光线，利用连续可调长通滤光片和连续可调短通滤光片调整汇聚光线的光谱波段，二者分别放置于第二透镜组合对应的汇聚像面的两侧；二者之间的轴向距离固定，通过调整连续可调长通滤光片和汇聚像面之间的轴向距离调整汇聚光线的光谱波段，从而实现光谱波段的对称调整，提高光谱波段的调整效率，满足高效精准的调整需求。
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公开(公告)号：CN117705802A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202311629022.X
申请日：2023-11-30
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种芯片检测机构，包括支撑件、均光结构和反射结构，支撑件上设有用于安装芯片的检测工位。均光结构包括设置在芯片下侧的均光模组，均光模组包括第一反射镜、第一光源和第二光源，第一光源和第二光源分别设置在第一反射镜的上下两侧；第一光源具有第一出光光线，第一出光光线与第一反射镜的镜面呈第一钝角；第二光源具有第二出光光线，第二出光光线与第一反射镜的镜面呈第二钝角，以在支撑件的检测工位侧部形成均光光线。反射结构包括第二反射镜，第二反射镜位于检测工位上方，且第二反射镜的镜面朝下设置用于反射第一光源和第二光源的光线。在本申请提供的芯片检测机构提高了芯片成像效果。
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公开(公告)号：CN119394602A
公开(公告)日：2025-02-07
申请号：CN202411943059.4
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
Abstract: 本申请实施例提供了一种光功率测试系统、方法、设备及存储介质，系统包括：光源、衰减片、旋转电机、零位传感器、光功率计和控制装置；衰减片包括多个扇形区域，不同扇形区域具有不同的透过率，零位传感器安装于衰减片，通过利用零位传感器作为旋转电机的0脉冲以及作为衰减片旋转的起始位置，实现旋转电机的脉冲和衰减片不同扇形区域位置的关联，结合旋转电机在带动衰减片旋转时在不同脉冲对应的不同扇形区域位置采集得到的光功率，控制装置构建得到旋转电机的脉冲和不同扇形区域位置的光功率之间的对应关系，后续通过控制旋转电机的脉冲就能够实现对衰减片的透过率的精准确定，实现对衰减片不同位置的透过率的精准标定。
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公开(公告)号：CN119375150A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411933562.1
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
Abstract: 本申请提供一种晶圆检测方法及晶圆检测系统，获取通过探测器探测到的第一光斑位置以及第二光斑位置；基于第一光斑位置和第二光斑位置，调整辅助反射镜的第一倾斜度，以使第一光斑位置和第二光斑位置重合；通过探测器探测到的迈克尔逊干涉条纹，调整辅助反射镜的第一轴向距离；将参考物镜、测量物镜和第三透镜加入光路中，通过探测到的林尼克干涉条纹调整参考物镜的第二倾斜度和第一偏心距离；将辅助反射镜替换为参考反射镜，参考反射镜与参考物镜固定在同一机械件上。通过额外引入一个独立的辅助反射镜，辅助反射镜的调配自由度更高，不会被参考物镜所干扰，能够实现参考物镜和参考反射镜的装调维度的解耦，提高装调效率和准确度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119375160A
公开(公告)日：2025-01-28
申请号：CN202411933027.6
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
Abstract: 本申请提供一种样品检测方法及装置，在配置光源、偏振分光棱镜、分束器、物镜、筒镜和探测器位于光路中时，基于目标偏振态确定光源发出的光束的传播路径。在目标偏振态为p偏振态时，基于传播路径，使光束在偏振分光棱镜中发生透射得到透射光；透射光的偏振态为p偏振态；目标偏振态为s偏振态时，基于传播路径，使光束在偏振分光棱镜中发生反射得到反射光；反射光的偏振态为s偏振态。这样，在需要利用某种偏振态的光对待测样品进行照明和检测时，通过改变光束的传播路径即可实现，使光束在偏振分光棱镜中透射出射得到p偏振态的光，反射出射得到s偏振态的光，无需手动切换线偏振片，能够快速且准确的得到所需偏振态的光，提高样品检测精度。
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公开(公告)号：CN119846854A
公开(公告)日：2025-04-18
申请号：CN202411943705.7
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
IPC: G02B27/62 , G02B7/00 , G02B21/06 , F21V14/08 , F21V17/02 , F21V11/08 , G01D11/00 , G01D5/26 , H01L21/66
Abstract: 本申请提供一种检测设备的调整方法，检测设备从物方到像方依次包括物镜、分光镜、筒镜和探测器，还包括科勒照明模组；照明光束从科勒照明模组出射，经过分光镜传输到物镜，待测物设置在物镜的远离分光镜的一侧时，用于对将物镜中出射的照明光束进行反射得到反射光束，反射光束依次经过物镜、分光镜和筒镜到达探测器。在科勒照明模组中插入孔径光阑，以及在筒镜和探测器之间设置辅助透镜后，通过探测器获取孔径光阑在物镜的入瞳形成的光斑的第一光斑位置；在科勒照明模组不提供照明光束并且将光源作为待测物的情况下，通过探测器获取物镜的入瞳的光斑的第二光斑位置，根据第一光斑位置和第二光斑位置调整孔径光阑的位置，对齐照明光轴和成像光轴。
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公开(公告)号：CN119355942A
公开(公告)日：2025-01-24
申请号：CN202411933031.2
申请日：2024-12-26
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Inventor： 夏磊
Abstract: 本申请提供了一种光源耦合系统、方法、设备及存储介质，系统包括：第一透镜组合、衰减片、第二透镜组合、连续可调长通滤光片和连续可调短通滤光片。光源发射的光线经过第一透镜组合形成平行光，利用衰减片调整平行光的亮度，衰减片的透过率呈固定梯度变化；经过亮度调整的平行光通过第二透镜组合进行汇聚形成汇聚光线，利用连续可调长通滤光片和连续可调短通滤光片调整汇聚光线的光谱波段，二者分别放置于第二透镜组合对应的汇聚像面的两侧；二者之间的轴向距离固定，通过调整连续可调长通滤光片和汇聚像面之间的轴向距离调整汇聚光线的光谱波段，从而实现光谱波段的对称调整，提高光谱波段的调整效率，满足高效精准的调整需求。
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公开(公告)号：CN221101137U
公开(公告)日：2024-06-07
申请号：CN202323261292.8
申请日：2023-11-30
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
Abstract: 本申请提供了一种远心镜头、相机和检测设备，该远心镜头包括：第一透镜组、光阑、第二透镜组。第一透镜组呈正光焦度，且由呈正光焦度的第一透镜、呈负光焦度的第二透镜、呈正光焦度的第三透镜和呈负光焦度的第四透镜组成。第二透镜组呈正光焦度，且由呈正光焦度的第五透镜、呈正光焦度的第六透镜和呈负光焦度的第七透镜组成。由上述可知，该远心镜头的第一透镜组呈正光焦度，第二透镜组呈正光焦度，且还包括位于第一透镜组和第二透镜组之间的光阑，可以保证本申请提供的远心镜头具有较高的成像质量，进而有效改善了远心镜头的工作性能。
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公开(公告)号：CN221629621U
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202323262050.0
申请日：2023-11-30
Applicant: 苏州镁伽科技有限公司
IPC: F21V19/00 , F21V3/00 , F21V3/02 , F21S8/00 , F21Y113/00
Abstract: 本实用新型公开了一种照明结构，包括：灯罩，灯罩包括层叠设置的若干层照明层，照明层的内壁均为圆台侧平面结构且若干层照明层的内壁连续设置，若干层照明层的内壁由灯罩的开口端依次坡向灯罩的闭口端圆心位置；灯珠，任一照明层的内壁均垂直设置灯珠，且任一照明层的启闭动作独立控制。本实用新型公开的照明结构将灯罩设计为若干层照明层叠放的结构，以通过平面而非弧面结构的照明层内壁进行灯珠的安装，进而使得灯珠能够在不同照明层上以不同的方向进行照明效果，照明效果更好，且任一照明层的启闭动作独立控制以根据工况需求选择启动适量的灯珠进行照明。
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