本申请提供一种检测设备的调整方法，检测设备从物方到像方依次包括物镜、分光镜、筒镜和探测器，还包括科勒照明模组；照明光束从科勒照明模组出射，经过分光镜传输到物镜，待测物设置在物镜的远离分光镜的一侧时，用于对将物镜中出射的照明光束进行反射得到反射光束，反射光束依次经过物镜、分光镜和筒镜到达探测器。在科勒照明模组中插入孔径光阑及在筒镜和分光镜之间设置第一辅助透镜后，通过探测器获取孔径光阑在物镜的入瞳形成的光斑的第一光斑位置；在科勒照明模组不提供照明光束且将光源作为待测物的情况下，通过探测器获取物镜的入瞳的光斑的第二光斑位置；根据第一光斑位置和第二光斑位置调整孔径光阑的位置，对齐照明光轴和成像光轴。