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公开(公告)号：CN105225910B
公开(公告)日：2017-11-28
申请号：CN201510621517.7
申请日：2015-09-25
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的微操作系统，应用于扫描电子显微镜设备，该基于扫描电子显微镜的微操作系统包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，该基于扫描电子显微镜的微操作系统通过在基座上设置若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台，且将若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，从而实现对样件进行多轴联动，解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。
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公开(公告)号：CN103604390B
公开(公告)日：2017-01-04
申请号：CN201310596733.1
申请日：2013-11-21
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种干涉物镜驱动装置，其包括：本体，所述本体上形成有贯通的腔室；安装架和固定架；放大机构，其位于所述腔室中，所述放大机构包括相对设置的弧形金属框架、及与所述弧形金属框架一体成型且相对设置的金属板框架，且所述金属板框架设置于所述弧形金属框架之间，并与所述弧形金属框架相垂直；压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，所述压电陶瓷内接于所述金属板框架之间，所述预紧顶丝与所述本体相螺接，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且所述滚珠与所述压电陶瓷与所述金属板框架相内接一侧的壁面相抵靠。本发明的干涉物镜驱动装置通过放大机构将压电陶瓷的微小位移进行放大，从而使干涉物镜驱动装置获得了较大的位移范围。
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公开(公告)号：CN103618473B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201310617608.4
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括底盘、基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN103580532B
公开(公告)日：2016-05-25
申请号：CN201310617524.0
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块底部与所述的基座之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的V型弹簧和用于调整所述V型弹簧的调整螺钉，所述的V型弹簧通过所述调整螺钉压缩形变地安装在所述的基座上，所述的预紧力调整结构用于调整所述的预紧力大小，所述滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，所述滑块做跨尺度精密运动。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN104464838A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410784590.1
申请日：2014-12-16
Applicant: 苏州大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种Z轴负向放大一维精密定位平台，包括Z轴负向放大机构、用于保护Z轴负向放大机构的基座、位于Z轴负向放大机构上方的运动平台，所述Z轴负向放大机构包括若干柔性臂、固定在柔性臂两侧的平行板、连接柔性臂与运动平台的输出件、压电陶瓷安装件以及与基座连接固定的底盘，所述平行板通过柔性铰链与柔性臂柔性连接，位于所述平行板之间、所述Z轴负向放大机构下方、所述底盘上方的空间内设置有压电陶瓷，所述压电陶瓷通过设置在两侧的平行板上的压电陶瓷安装件固定。本发明相较于传统的放大定位平台具有行程范围大、精度高、结构简单、体积小、刚度大、灵敏度高、分辨率高、纳米级、适宜作微动平台等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103618473A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310617608.4
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种上下预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括底盘、基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块与所述的底盘之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的调整螺钉，所述调整螺钉贯穿所述滑块和所述基座并与所述底盘连接，通过调节所述调整螺钉与所述底盘的螺纹接合长度，可以调节所述预紧力大小。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN103615990A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310595937.3
申请日：2013-11-21
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种干涉物镜驱动装置，其包括：本体，所述本体上形成有贯通的腔室，腔室的一侧一体形成双平行板四杆机构，双平行板四杆机构由柔性铰链形成；安装架和固定架；压电陶瓷、预紧顶丝、滚珠，压电陶瓷、滚珠位于所述腔室中，预紧顶丝与所述本体相螺接，且与所述双平行板四杆机构相对设置，所述滚珠与所述预紧顶丝相配合，且与压电陶瓷相抵靠，所述压电陶瓷与所述滚珠相对的一端与所述双平行板四杆机构相抵靠。本发明的干涉物镜驱动装置采用了柔性铰链形成的双平行板四杆机构进行传动，其结构紧凑，当外形尺寸受限且驱动力确定的情况下，其能够获得最大的位移输出比。此外，其传动关系明确、无传动空程、无摩擦、精度高、强度好。
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公开(公告)号：CN103580532A
公开(公告)日：2014-02-12
申请号：CN201310617524.0
申请日：2013-11-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种底部预紧式粘滑驱动跨尺度精密运动平台，包括基座、摩擦振子、振子驱动源、滑块，所述的滑块底部与所述的基座之间设有提供预紧力的预紧力调整结构，所述的预紧力调整结构包括提供所述预紧力的V型弹簧和用于调整所述V型弹簧的调整螺钉，所述的V型弹簧通过所述调整螺钉压缩形变地安装在所述的基座上，所述的预紧力调整结构用于调整所述的预紧力大小，所述滑块与摩擦振子之间产生粘滑效应，所述滑块做跨尺度精密运动。本发明极大简化了运动平台预紧力的调整方式，便于加工和装配，进而有效提高了粘滑驱动跨尺度精密运动平台的输出性能，可简单有效确保粘滑驱动跨尺度精密运动平台的运动精度和一致性，适合批量生产化。
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公开(公告)号：CN105225910A
公开(公告)日：2016-01-06
申请号：CN201510621517.7
申请日：2015-09-25
Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院
Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的微操作系统，应用于扫描电子显微镜设备，该基于扫描电子显微镜的微操作系统包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，该基于扫描电子显微镜的微操作系统通过在基座上设置若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台，且将若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，从而实现对样件进行多轴联动，解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。
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公开(公告)号：CN104467526A
公开(公告)日：2015-03-25
申请号：CN201410719489.8
申请日：2014-12-01
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明提供一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台，以配重块、压电陶瓷致动器及主质量块间互相结合，当在压电陶瓷致动器正负极间施加正向或反向电压时，其在长度方向作微小的伸长或缩短并带动配重块及主质量块运动，从而实现毫米级行程、纳米级定位精度。相比其它运动平台，其具有结构简单、能够实现快速大行程的精密定位和容易实现多自由度驱动的优点，并且不需要专门的位置保持装置。
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