公开(公告)号：CN105225910A

公开(公告)日：2016-01-06

申请号：CN201510621517.7

申请日：2015-09-25

Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院

Inventor： 钟博文 ,  杨湛 ,  钱哲 ,  李宗伟 ,  王振华 ,  孙立宁

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/20

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/28

Abstract: 本发明涉及一种基于扫描电子显微镜的微操作系统，应用于扫描电子显微镜设备，该基于扫描电子显微镜的微操作系统包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，该基于扫描电子显微镜的微操作系统通过在基座上设置若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台，且将若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，从而实现对样件进行多轴联动，解决了现有技术中只能单一的对样件进行观察的问题。

公开(公告)号：CN205069577U

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201520753105.4

申请日：2015-09-25

Applicant: 苏州大学张家港工业技术研究院

Inventor： 钟博文 ,  杨湛 ,  钱哲 ,  李宗伟 ,  王振华 ,  孙立宁

IPC: H01J37/20

Abstract: 本实用新型涉及一种新型微操作平台，应用于扫描电子显微镜设备，该新型微操作平台包括基座、设置在基座上的若干三轴直线运动平台和五轴宏动平台、设置在五轴宏动平台上的样品操作台和对应每个三轴直线运动平台设置的碳纳米操作手，碳纳米操作手设置在三轴直线运动平台上，若干三轴直线运动平台沿样品操作台的周向设置在样品操作台的四周，三轴直线运动平台和五轴宏动平台均通过压电马达驱动，基座上贯通设置有用以容纳样品操作台的腔体，五轴宏动平台位于基座的下方。