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公开(公告)号：CN110079760B
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN201910355210.5
申请日：2019-04-29
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及金属软磁薄膜技术领域，尤其涉及一种具有周期性微纳米级凹凸结构的金属软磁薄膜及其制备方法。本发明的具有周期性微纳米级凹凸结构的金属软磁薄膜，包括自下而上依次设置在基底上方且与基底形配合的金属缓冲层、软磁层和非磁性的抗氧化保护膜层，基底具有周期性微纳米级凹凸结构，金属缓冲层的厚度为5‑50nm；软磁层的厚度为3‑1000nm；抗氧化保护膜层的厚度为5‑50nm。
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公开(公告)号：CN106431382B
公开(公告)日：2020-05-01
申请号：CN201610809230.1
申请日：2016-09-08
Applicant: 苏州大学
IPC: C04B35/40 , C04B35/622 , C23C14/08 , C23C14/28 , C23C14/58
Abstract: 本发明涉及一种制备具有室温宽频大磁电容效应的铁氧体外延薄膜的方法，包括步骤：(1)制备以AFe12‑xMxO19表示组成的铁氧体，其中A为Ba元素或Sr元素中的至少一种，M为Sc元素、Mg元素或Cr元素中的至少一种，x是M的含量：0＜x≤4；(2)在真空背景下，利用脉冲激光对铁氧体进行轰击，将轰击出来的铁氧体材料沉淀在基片上，在基片上生长铁氧体外延薄膜，其中，所述基片为单晶Si基片、Si/Pt基片、单晶Al2O3基片和单晶SrTiO3基片中的一种；(3)在铁氧体外延薄膜生长完后进行降温处理；(4)对铁氧体外延薄膜进行后退火处理。本发明制备的铁氧体外延薄膜具有室温宽频大磁电容效应，弥补了现有单相磁电容薄膜材料室温磁电容效应弱和频率范围窄的缺点。
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公开(公告)号：CN117926173A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311834873.8
申请日：2023-12-28
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于磁传感器制备领域，具体涉及一种柔性磁传感器及其制备方法。本发明中高平整度的超薄柔性耐温聚酰亚胺基片提高了柔性磁传感器中过渡层和磁性敏感层的均匀度，从而提高了器件的探测精度。同时，超薄金属过渡层和保护层的对称设计不仅保护了磁性敏感层的空气稳定性，也降低了弯曲应力对磁性敏感层性能的影响，从而增强了器件的弯曲稳定性。器件中惠斯通电桥的设计补偿了电流变化对磁场的依赖性，抑制了共模噪声，例如温度变化和电阻波动噪声。
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公开(公告)号：CN113990658B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN202111395507.8
申请日：2021-11-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种高剩磁比、低孔隙率六角铁氧体厚膜及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)将BaM粉末与有机载体混合、研磨，得到混合均匀的浆料；(2)将浆料通过丝网印刷法涂抹到Al2O3基片上，形成厚膜；(3)将上述厚膜与基片放置磁场中，进行加热充磁、排胶；(4)对充磁后的厚膜进行加压烧结，得到所述六角铁氧体厚膜。本发明通过优化有机载体、控制BaM粉末粒径、改进制膜工艺，制备得到高剩磁比、低孔隙率、高密度、高饱和磁化强度的六角铁氧体厚膜，可应用于自偏置环形器，且上述制备方法可实现低成本、大规模制备BaM厚膜，满足产业化需求。
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公开(公告)号：CN108823531B
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201810692387.X
申请日：2018-06-28
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法，所述制备方法包括：S1、采用六角铁氧体粉末制备六角铁氧体靶材；S2、提供单晶基片，所述单晶基片作为薄膜制备的基底；S3、使用真空镀膜设备在单晶基片上外延生长六角铁氧体薄膜；S4、采用机械剥离法将单晶基片剥离，得到柔性六角铁氧体薄膜。本发明采用真空镀膜的方法在耐高温的单晶基底上生长高度择优取向的六角铁氧体薄膜，再通过机械法剥离耐高温单晶基片的方法成功制备柔性薄膜；柔性六角铁氧体薄膜具有可弯曲性，弯曲后磁性能基本没有改变，因此对于柔性器件具有潜在价值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113990658A
公开(公告)日：2022-01-28
申请号：CN202111395507.8
申请日：2021-11-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种高剩磁比、低孔隙率六角铁氧体厚膜及其制备方法与应用，所述制备方法包括以下步骤：(1)将BaM粉末与有机载体混合、研磨，得到混合均匀的浆料；(2)将浆料通过丝网印刷法涂抹到Al2O3基片上，形成厚膜；(3)将上述厚膜与基片放置磁场中，进行加热充磁、排胶；(4)对充磁后的厚膜进行加压烧结，得到所述六角铁氧体厚膜。本发明通过优化有机载体、控制BaM粉末粒径、改进制膜工艺，制备得到高剩磁比、低孔隙率、高密度、高饱和磁化强度的六角铁氧体厚膜，可应用于自偏置环形器，且上述制备方法可实现低成本、大规模制备BaM厚膜，满足产业化需求。
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公开(公告)号：CN110764033A
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201911129394.X
申请日：2019-11-18
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种小型多功能三维磁电测试系统，包括霍姆赫兹电磁线圈，其绕自身轴线旋转；铝合金样品台单元，其置于霍姆赫兹电磁线圈中两个电磁线圈之间，铝合金样品台单元包括自顶部至底部依次设置的样品台接头、接线和样品台，样品台接头通过磁电信号引线连接外部的电荷和/或电压检测单元，接线连接有中间镂空的PCB板，PCB板的镂空处放置薄膜状的磁电样品，PCB板设有多个电极，电极与接线相连，样品台设有绝缘的基底，PCB板的镂空正对至少部分基底，基底用于隔绝磁电样品与样品台接触；样品台支架，其可拆卸的置于霍姆赫兹电磁线圈之间；样品台与样品台支架可拆卸连接；套筒，其用于提供静电屏蔽功能，套筒套设于样品台接头的外部。
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公开(公告)号：CN108823531A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810692387.X
申请日：2018-06-28
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种柔性六角铁氧体薄膜及其制备方法，所述制备方法包括：S1、采用六角铁氧体粉末制备六角铁氧体靶材；S2、提供单晶基片，所述单晶基片作为薄膜制备的基底；S3、使用真空镀膜设备在单晶基片上外延生长六角铁氧体薄膜；S4、采用机械剥离法将单晶基片剥离，得到柔性六角铁氧体薄膜。本发明采用真空镀膜的方法在耐高温的单晶基底上生长高度择优取向的六角铁氧体薄膜，再通过机械法剥离耐高温单晶基片的方法成功制备柔性薄膜；柔性六角铁氧体薄膜具有可弯曲性，弯曲后磁性能基本没有改变，因此对于柔性器件具有潜在价值。
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公开(公告)号：CN106316380A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610693559.6
申请日：2016-08-19
Applicant: 苏州大学
IPC: C04B35/26 , C04B35/40 , C04B35/622
Abstract: 本发明涉及一种具有室温宽频大磁电容效应的铁氧体材料及其制备方法，所述铁氧体材料具有分子式：AFe12-xMxO19，其中A为Ba元素或Sr元素中的至少一种，M为Sc元素、Mg元素或Cr元素中的至少一种，x是M的原子比含量，且0＜x≤4；通过将高纯BaCO3、SrCO3、Fe2O3，Sc2O3、MgO或Cr2O3粉末药品按铁氧体材料分子式中的原子摩尔比进行配比、混合、球磨、烘干、预烧、研磨、加压、烧结处理获得。本发明的铁氧体材料具有较高的纯度，电阻率较高，在20Hz至2MHz的频率范围内都呈现出显著的磁电容效应，磁电容效应在2MHz以上仍然呈现一定的增加趋势，弥补了现有单相磁电容材料室温磁电容效应弱且频率范围窄的缺点。
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公开(公告)号：CN118005386A
公开(公告)日：2024-05-10
申请号：CN202311834883.1
申请日：2023-12-28
Applicant: 苏州大学
IPC: C04B35/26 , C04B35/622 , C04B35/645 , H01F41/16 , H01F1/00 , H01F10/20
Abstract: 本发明属于铁氧体厚膜制备领域，具体涉及一种高取向度六角铁氧体厚膜及其热压制备方法。本发明针对六角铁氧体厚膜高取向度和高致密度难以同时实现的难题，提出两步热压烧结法来提高厚膜取向度。将低温热压磁场取向工艺和高温热压烧结工艺有机结合，形成两步热压烧结制备高取向且致密BaFe12O19厚膜。自主搭建的低温热压磁场取向设备中引入了与磁场方向平行的机械压力，有效地降低高温烧结前厚膜中的孔隙。这有利于厚膜密度的提高。低温热压磁场取向设备中的电磁铁和加热板，采用了分立组合的方式。该种方式有效地提高了磁场的稳定性。这有利于提高厚膜的取向度。
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