公开(公告)号：CN105826168A

公开(公告)日：2016-08-03

申请号：CN201610046871.6

申请日：2016-01-25

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 高原龙平 ,  西部幸伸 ,  矶明典 ,  坂下健司 ,  松田大辉

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  B08B3/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  B08B3/02 ,  H01L21/67 ,  H01L21/67011

Abstract: 一种基板处理装置，能够抑制基板的抖动以及输送偏移。基板处理装置(1)具备：在处理室(2)内以夹着输送路(H)的方式在输送路的上下分别设置，分别朝输送路吹送气体的第1吹拂器(4a)以及第2吹拂器(4b)；以及设置在处理室内并对气体的流动进行整流的整流板(5)。第1吹拂器以及第2吹拂器设置成分别具有长条状的吹出口(13)，吹出口的长度方向在水平面内相对于基板(W)的输送方向(Ha)朝相同的方向倾斜，吹出口朝基板的输送方向的上游侧吹出气体。整流板设置成具有第1面(5a)以及其相反面即第2面(5b)，位于输送路的下方且朝基板的输送方向的下游侧倾倒，将气体的流动分成沿着第1面的流动和沿着第2面的流动。

公开(公告)号：CN105826168B

公开(公告)日：2018-10-26

申请号：CN201610046871.6

申请日：2016-01-25

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 高原龙平 ,  西部幸伸 ,  矶明典 ,  坂下健司 ,  松田大辉

IPC: H01L21/02 ,  H01L21/67 ,  B08B3/02

Abstract: 一种基板处理装置，能够抑制基板的抖动以及输送偏移。基板处理装置(1)具备：在处理室(2)内以夹着输送路(H)的方式在输送路的上下分别设置，分别朝输送路吹送气体的第1吹拂器(4a)以及第2吹拂器(4b)；以及设置在处理室内并对气体的流动进行整流的整流板(5)。第1吹拂器以及第2吹拂器设置成分别具有长条状的吹出口(13)，吹出口的长度方向在水平面内相对于基板(W)的输送方向(Ha)朝相同的方向倾斜，吹出口朝基板的输送方向的上游侧吹出气体。整流板设置成具有第1面(5a)以及其相反面即第2面(5b)，位于输送路的下方且朝基板的输送方向的下游侧倾倒，将气体的流动分成沿着第1面的流动和沿着第2面的流动。